自動レジスト現像装置（枚葉式） デベロッパー Developer

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…

枚葉式フォトレジスト現像装置です。 パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。 薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！ また、厚膜レジスト現像～微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。 当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載（オプション：全面露光ユニット） マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたライ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

薬液供給・回収装置

薬液供給装置・薬液回収装置

少量から大容量、及び各種薬液により設計製作いたします。詳しくはお問い合わせ下さい。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...●薬液供給装置 N2圧送式、ポンプ圧送式から選択でき、液管理、pH 管理、自動濃度管理機能付もできます。お客様の安全を第一に考えた製品をご提供致します。 ●薬液回収装置 ポリタンク回収や大型タンク回収も設計・製作し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

電子部品生産/自動車部品/クーラント関連機械　総合カタログ

電子部品生産システム、冷間鍛造自動車部品、クーラント関連機械の総合カタ…

自動省力機器設計・製作および販売を行っている、マトヤ技研工業株式会社の「電子部品生産システム関連機械/自動車部品（冷間鍛造）関連機械/クーラント関連機械　総合カタログ」です。 マトヤ技研工業は自動生産システムメーカーとして、作業・労働環境の改善、ワーク意欲の向上および生産性の効率化はもとより、清潔・安全な衛生環境への提案、さらに自然環境に優しい電子部品生産システムや自動車部品（冷間鍛造）・クーラ...

メーカー・取り扱い企業： マトヤ技研工業株式会社

多目的全自動スクリーン印刷機

多目的全自動スクリーン印刷機

様々な印刷対象に対応出来るという、スクリーン印刷の特徴を最大限に活かす為に開発された、多目的全自動スクリーン印刷機です。 印刷対象を問わない自由度を持つと同時に、しっかりと支持される印刷ヘッド部と、自動位置決め装置が、正確な位置への印刷を可能にしています。 印刷対象の搬入から印刷、排出までを全自動で行う事が可能ですが、印刷対象の性質に合わせ、手差しによる供給への切り替えを行う事も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミノグループ 本社/機械事業部

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡ 特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

高精度スプレーコーター API-300OGS

カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター

セル方式のOGS量産用スプレーコーター。　ガラスキャリアに化学強化済みのガラス基板（個片）を張り合わせ、複数個取りの状態でOC1などのレジストコーティングを自動で行う量産用装置。 レジスト膜厚２um前後で±5%(個片）のユニフォーミティを実現し、OGS量産プロセスの歩留まり向上に貢献しています。 ガラス基板（キャリア）サイズ 550 X 650 (mm）まで対応した全自動スプレーシステム。基板...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像…

N2と現像液を混合して吐出する2流体スプレー方式の現像装置です。 N2の圧力を変更することで、スプレーの吐出圧力を変更することができます。 液の圧力を高め、高圧で吐出す方法や、液量を少なくして霧状にして柔らかく吐出する方法など幅広くスプレーの吐出パターンを選べます。 スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。 マニュアル機～フルオート...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

静止現像式（パドル）自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

枚葉式でウエハ上に現像液を液盛りして現像を行います。 ディップ方式と違い、1枚1枚現像を行うので、プロセスの再現性が非常に高いです。 薬液使用量を最適化することにより、現像液使用量の削減に繋がります。 液盛り方法もシャワータイプからストレートノズルなどご要望にお応えできます。 静止現像中の揺動機能も搭載！ （低回転と停止を繰り返して液を動かします） 枚葉式で現像、、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり

生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…

自動酸・アルカリ洗浄装置。 対応ワークサイズ　φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能。 【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能。 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン