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【FOOMA2024出展決定】クリーン環境対応の天井搬送システム
PR納入事例動画あり！工程間搬送で実績多数のワーク形状を問わない高速搬送シ…
■FOOMA JAPAN2024に出展決定■ 会場 ：東京ビックサイト 東１～８ホール 会期 ：2024年6月4日(火)～7日(金) 4日間 ブース番号：東7 P-15 ぜひ実機をご覧ください！ 「オートランバンガードMark2」は、モノレール式の高速自動搬送システムです。天井を走行し、人やコンベヤや加工機などの地上導線に囚われない最短ルートでの工程間搬送を実現します。ハンガ部分はお...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社椿本チエイン マテハン事業部
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高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…
高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ源3源+3系統（MFC制御）、RF/DC PSUの増設（最大2電源まで）...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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連結時の自動昇降も可能！サンディングベルトの着脱、張りが簡単な特殊エア…
イムで表示 ・加工中でも材料寸法を直読できる ・希望設定値を入力すればワンタッチで位置決めが可能 ■エアー圧力の低下、サンディングベルトの破損時に自動的に作動し、数秒で走行を停止させる ■自動昇降装置（連結時の自動昇降も可能） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アミテック株式会社
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コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…
Φ2inchカソード x 4基搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置
限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…
OLED, OPV, OTFT等の有機材料用・温度応答性/安定性に優れた高性能有機ソースLTE（最大4源）、交換・メンテナンスが容易に行える金属蒸着ソースTE（最大2源）を採用、手動運転モードから、自動連続多層膜、同時成膜の自動モードでの運転も可能です。 コンパクトサイズにも関わらず、基本性能・膜質・均一性・操作性の全てを犠牲にせず、スタンドアローン大型機と同様の性能を実現しました。 更に...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…
コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2） ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペース】 ・デュア...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）
グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…
80ℓ大容積MiniLab-080チャンバーをグローブボックスベンチ内に収納可能な構造にしたMiniLab-080のグローブボックスモデル。作業ベンチを最大限活用できるスライド開閉式チャンバー、メンテナンス性を考慮した背面開閉ドアを採用。プロセス処理後の試料を大気・水分に露出せずグローブボックス内の管理された環境内で一貫した処理ができます。GB, ガス精製機はGBモデルの仕様を参照下さい。 ◉ ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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冷却装置および注水ノズル付属！ABS樹脂一体成型の筐体なので錆びず、低…
『OSK 97XJ 2/2S』は、自動試料研磨装置の標準機です。 研磨台が1基と2基の二機種を揃え、視認性の良い表示 画面を採用、ノブを回して数値設定できる使いやすさ。 自動研磨装置には最多で4個までの試料を取り付ける ことができます。 【特長】 ■安定した回転軸と高い平坦度の研磨用ホイールで高精度の試料研磨が可能 ■研磨用ホイール、自動研磨装置の速度、圧力、時間設定を無...
メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社
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スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】
スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…
抵抗加熱蒸着源（金属蒸着）、有機蒸着源（有機材料）、マグネトロンスパッタ（金属・絶縁材）、3種類の成膜コンポーネントをチャンバー内に設置、様々な薄膜実験装置に1チャンバーで対応が可能です。 ◉組み合わせは3種類 1. スパッタカソード + 抵抗加熱蒸着源x2 2. スパッタカソード + 有機蒸着源x2 3. スパッタカソード + 抵抗加熱源x1 + 有機蒸着源x1（*DCスパッタのみ） ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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お客様毎のカスタマイズに対応！装置を収めた後でも、拡張機能が追加ができ…
る事により、荒仕上げ～中仕上げ～超鏡面仕上げが行える製品です。 回転可変用ボリューム摘みにてラップ加工中でもそれぞれの回転数を可変することが可能。 被加工物への荷重にはデッドウェイトを自動昇降させる昇降ユニットが 備えられており、オペレーターへの負荷を軽減させています。 制御にはPLCシーケンサーを使用して、お客様毎のカスタマイズに対応しております。 【特長】 ■オペレータ...
メーカー・取り扱い企業： ラップジャパン株式会社
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小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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家具部材から建具などの木地研磨に好適！カラーグラフィック操作パネルで簡…
ョン）：3～20m/sec（インバータ変速） ■送材速度：4～14m/min（インバータ変速） ■サンディングモータ：11kW4P ■送材モータ：0.75kW4P（増馬力不可） ■テーブル自動昇降モータ：0.1kW4P ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アミテック株式会社
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化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…
Ｓｉプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。 ＧａＡｓ用のホットプレートタイプに比べ高温（９００～１０００℃）まで対応。 窒化膜半導体の電極の合金化に実績。 急速昇降温型の加熱炉を装備し、均一な加熱と最適な温度プロファイルで電極膜のアニールを制御。 生産量・プロセスにあわせて最適な装置構成を提案可能な実績豊富なウェハプロセス用熱処理装置。 ...横型石英管...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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CO2ガスによる自動消火システムを装備
基板が収納されたカセットをエレベータにて自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。凝結したIPAは回収タンクへ回収します。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場
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ラインすべての自動化を一貫体制でご提案します
当社は、材料投入、加工、組立、検査、梱包までのラインすべての 全自動化に対応し、適した生産設備を設計・製作まで一環体制でご提案いたします。 昇降装置(シザーリフト 他)・搬送・移載装置(コンベアシステム)などの マテリアルハンドシステム(マテハン)による、工程管理の最適化により、 ムダの最小化、コストの削減に貢献。 また、液晶ガラス基盤(LCD)、半導体ウエハの製造工程における ...
メーカー・取り扱い企業： レック株式会社
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SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコスト…
『A6300S』は、毎時120枚のスループットを擁する小口径ウェハ対応 大量生産用連続式常圧CVD装置です。 自動トレー交換装置、ヘッド昇降機構を備え、メンテナンス時間を短縮し 生産可能時間を延伸するとともに、お客様の大量生産のニーズとオペレータの 安全にも配慮しました。 【特長】 ■高い生産性：毎時120枚の処理が可能 ■重金属汚染対策：ウェハ裏面からの金属汚染を防止 ■...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所
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