テルモセラ・ジャパン株式会社 ◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新の真空蒸着技術の全てを収納しました。

OLED, OPV, OTFT等の有機薄膜蒸着用途に好適。温度応答性/安定性に優れた低温有機蒸着源、金属膜用高温蒸着源を採用。

コンパクトサイズにも関わらず、基本性能・膜質・均一性・操作性の全てを犠牲にせず、スタンドアローン大型機と同様の性能を実現しました。
更に簡単タッチパネル操作でPLC全自動制御。
難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。
USBケーブルでWindows PCに接続し、ログを保存、自動成膜レシピを作成保存。
限られた開発現場・ラボスペースを最大限有効活用ができる省スペース設計・メンテナンス性にも優れた小型真空蒸着装置です。

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基本情報◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

◉コンパクトサイズ:804(W) x 530(D) x 600(H)mm
◉重量:40kg〜70kg(装置構成による)
◉優れた基本性能
・到達真空度 5x10-5Pascal
・高性能ターボ分子ポンプ搭載
・Φ2inchもしくはΦ4inch基板
◉蒸着源
・金属蒸着源 TE x 最大2基
・有機蒸着源 LTE x 最大4基(抵抗加熱TEと混在の場合、2基まで)
◉7"タッチパネル
◉連続成膜
・成膜プログラム自動制御
・30種類のレシピ登録
・高精度ワイドレンジ真空ゲージ
◉豊富なオプション
・基板回転
・上下昇降 300mmストローク
・基板シャッター
・ドライポンプ(RP標準)
・USBでWindows PCに接続、ログの保存管理

価格情報 当社までお問い合わせ下さい。
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 nanoPVD-T15A
用途/実績例 ・OLED, OPV, OTFT等の液晶 有機物薄膜開発
・光学薄膜、装飾膜等の産業用途
・電子基板、半導体基板等の薄膜開発
・コーティング材料、薄膜材料の開発

カタログ◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

取扱企業◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

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テルモセラ・ジャパン株式会社

【営業品目】 1. CVD・PVD真空薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター 2. 真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空コンポーネント 6. カスタムメイド装置

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