独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

真空蒸着システム　UBM Sputter

合金、化合物、絶縁膜の蒸着が可能

内部磁石と外部磁石の磁場の強さを異なるように設計し、 スパッタの効率を増大させた、真空蒸着システム...内部磁石と外部磁石の磁場の強さを異なるように設計し、スパッタの 効率を増大させた装置です。 ■□■メリット■□■ ■合金、化合物、絶縁膜の蒸着が可能 ■多様な反応性ガスによる反応性スパッタリングが可能 ■蒸着膜の厚さの均一性 ■広い面積のターゲット利用が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所

真空蒸着システム　FCVA

アーク放電を利用して陰極部の物質を蒸発させ、それを表面に蒸着することが…

アーク蒸着で最も問題になるのは、イオンと一緒に発生されるμmの大きさの dropletです。 ...このdropletは薄膜の物性、特に表面の粗度を低下させるようになります。 このシステムはmacro-particleと中性粒子を取り除き、硬度、粗度などの物性を 向上させるものです。 ■□■メリット■□■ ■Dual bent duct のフィルタリングを通じてのDropl...

メーカー・取り扱い企業： パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所