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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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コンパクトな設計を実現!有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置
『KVD-OLED Evo.6』は、有機EL材料の塗布材料を目的とした OPV(有機薄膜太陽電池)用蒸着装置です。 有機材料の塗布工程は接続されているグローブボックス(MBRAUN)の中で 行い、搬送機構を用いて蒸着室内に基板を搬送し、電極を蒸着させる 一貫した装置となります。 グローブ...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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改善成功事例 事例3 有機材料開発用蒸着装置 KVD-OLED Evo…
◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の大型のクラスター型蒸着装置を使用していた。 しかしながら、大型の為、巨大なスペースを使用してしまい、 問題が多々発生している。(搬送トラブル・蒸着セルの材料枯渇スピードが 早い・蒸着レートコントロールが困難など)そこ...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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コンパクトなサイズ(1インチ〜2インチ)対応のMBE装置です。
●特徴 本装置は10-8Pa以下の超高真空中に置いた基板を加熱し、基板上に堆積させたい原料を独立に供給して基板上に結晶を成長させる真空蒸着法で、蒸発原料に固体を使用して分子線蒸着源(クヌーセン・セル)により原料の蒸発を行う固体ソースMBE装置と、原料に気体や有機金属を使用するガスソースMBE装置などがございます。...蒸着源には、弊社製金属蒸着セル(KMD-Cell)を搭載しております。また、他...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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改善成功事例 事例4 有機EL成膜装置改造
◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。 しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。 ◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、 その都度、大気開放する必要がある。その為、試料にダメージが生じてしまう。 また、一貫した真空環境ではない為、無駄な時間を費やしてしまう。 ◆有機蒸着室において、現状が最大6源の蒸着セルが付いて...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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メンテナンスフリー!ボートタイプで取扱容易なフリーマウント式金属蒸着源
『KFMD-1』は、ボートに材料を充填し、通電加熱により蒸着をする 簡易蒸着源です。 ボート(蒸着)向きの調整が可能なため、取付方向を選ばず、 既存の装置への増設に対応可能です。 熱輻射シールドなどを設置することで、基板や真空槽内部への ダメージを軽減することができます。 小型で簡易な設計の為、研究開発用途におすすめです。 【特長】 ■コンパクトな取り付けフランジI...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数…
ただいま、高精度・高再現性を実現する、多種多様な“真空機用導入機”を 収録した『総合カタログ』を進呈中です。 真空装置内にX,Y,Z,θ軸の動作を与える各種導入機や シャッター機構付きにもかかわらず、ICF-70接続を実現し 高分解能で膜厚制御可能な有機蒸着セルなど、多数ラインアップしています。 【主な掲載内容】 ■1軸・直線運動(Z軸) ■1軸・回転運動(φ軸) ■多軸...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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取り扱いが簡単!小型で簡易設計のフリーマウント式金属蒸着源
『KFOD-1』は、るつぼに材料を充填し、フィラメントヒーターにより 加熱をする低温蒸発材料用の簡易蒸着源です。 るつぼ(蒸着)向きの調整が可能なため、取付方向を選びません。 既存装置でも試料に向けて取付でき、ねじ1本で蒸着方向を固定/解除できます。 短時間での加熱、温度安定性にすぐれ、お手持ちの直流安定化電源で 簡単に動作できます。 小型で簡易設計の為、研究開発用途におす...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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