【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

新規次世代パワー半導体の研究開発拠点を開所

PR低損失化、高耐圧化、小型化の面で優位性を持つ、GeO2半導体の製膜事業…

株式会社クオルテック(本社：大阪府堺市、以下「クオルテック」)は、 「滋賀県立テクノファクトリー」内に、新規半導体材料を使用した パワー半導体の製膜における研究開発拠点を開所しました。 開所式にはクオルテックが本研究開発に関して資本業務提携し、 「琵琶湖半導体構想(案)」を推進する立命館大学発ベンチャー、 Patentix株式会社(本社：滋賀県草津市)も出席し、開所式を行いました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クオルテック

薄膜＆高機能フィルム用レーザー

微細加工やパターニングに適した、薄膜＆高機能フィルム用レーザーのご紹介

日立ハイテクでは『薄膜＆高機能フィルム用レーザー』を取り扱っております。 パターニングをはじめ、切断加工や穴あけ、異形加工、 ハーフカット等に対応。 マルチ波長対応による高いプロセス適応能力をもつ「TLSP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立ハイテク

水晶振動子『薄膜蒸着用周波数モニター水晶』

低価格・高信頼性・安定供給を実現する水晶製品！

『薄膜蒸着用周波数モニター水晶』は、水晶振動子の安定した周波数を 取出し、膜重量の変化を正確に検出することができる水晶です。 主に、薄膜蒸着の蒸着量を膜重量の変化として捉えるセンサーへの利用に ...

メーカー・取り扱い企業： シャロム電子株式会社

精密機器用薄膜シートから砕石現場向け大型品まで幅広くご提供

伸び縮みするエラストマー素材は、軟らかいもの～硬いものまで、弾力性も様…

薄膜品の一例として、極薄シート製品がございます。 極薄シート製品は、厚さ50～300μmと薄く、その精度は±10％以内と高精度のシートです。 透明性のあるものや、導電性、表面に印刷特性を備えた製品、環境に配慮した製品などを取り揃えています。 大型品の一例として、マイニング製品がございます。 マイニング製品は、鉄鋼、鉱山、砕石現場での比較的大粒の粉体の破砕、分級（粒径篩分け）、 搬送装置（ホ...

メーカー・取り扱い企業： マクセル株式会社 / マクセルクレハ株式会社 / マクセルフロンティア株式会社

薄膜作成コンポーネント

単品試作から用途に合わせて製作可能！「EBガン」や「Kセル」などをライ…

当社の取り扱う『薄膜作成コンポーネント』をご紹介します。 世界最小クラスのUHV対応「マグネトロンスパッタカソード」をはじめ、 ICF70よりマウント可能な「EBガン」やルツボ最小2cc～100cc対応の 「...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

エアフィルター『全熱交換紙製エレメント』（全熱交換素子）

製紙技術を活かした特殊薄膜紙で換気と省エネを両立！

『全熱交換紙製エレメント』は、当社独自の薄葉紙製造技術を活用した 特殊薄膜紙を全熱（温度・湿度）交換用紙に用いたエレメントです。 特殊薄膜紙の特性（気体バリア性、透湿性、薄膜）により、給気と排気が 混ざり合うことなく排気中の室内空気エネルギー（温度・湿度）を給気側...

メーカー・取り扱い企業： 三菱製紙株式会社 機能商品事業部 機能商品営業部

2流体 ミニアトマイズノズル ON/OFFバルブ付 MOV型

0.5mL/分～の流量微調整＆間欠噴霧が可能なスプレーノズル。流量調節…

精密な流量コントロール（0.5～100 mL/分）とON/OFF制御が可能な、2流体スプレーノズルです。 薄膜コーティングや、離型剤の噴霧、薬液の塗布、精密洗浄、食品業界のペースト状の微細噴霧、高粘度流体の塗布などにご使用いただけます。省スペースに対応したMOVタイプと、噴霧流量を精密に調整できるMOV-M...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社共立合金製作所　/　総代理店　エバーロイ商事株式会社

【フッ素×金属】TOHFLON-ELT積層フィルム　薄膜・高密着

薄膜金属材料にフッ素の特性を付与《耐食性/耐薬品性/離型性/摺動性/電…

フッ素と金属の接着技術は非常に高難度を極めますが、ダイキンファインテックの積層技術でこれを実現。 フッ素フィルムの基本特性を活かしたまま金属材料をフッ素フィルムでラミネートさせた積層材。 東邦化成の積層技術を活かし、フッ素フィルムの特性を維持した状態で、平滑性、密着強度を保持。 後加工形状に合わせたフィルムの追従が可能。 【特長】 ◇金属板にフッ素特性を付与します。 　耐食性 ...

メーカー・取り扱い企業： ダイキンファインテック株式会社

薄膜SOIウエハーソリューション

十分に競争できるコスト！広い範囲で光工学表面弾性波フィルターなどの分野…

アイスモス・テクノロジーは薄膜のSOIウエハーを<1um以下の デバイスレイヤーにて供給いたします。 20年以上のSOI製造の経験により、アイスモスはRFアプリケーションに 使われる厚膜SOIと同様の高い品質の製品をご...

メーカー・取り扱い企業： アイスモス・テクノロジー・ジャパン株式会社

自己締め付けローラーグリップ『2713-007』

最小限のメンテナンスで済む頑丈な設計！エラストマー、柔軟なプラスチック…

しております。 【特長】 ■試験片を素早く挿入でき、試験処理能力が上がり試験数の増加が見込める ■正確な結果を得るための機能的なノンスリップグリップ ■エラストマー、柔軟なプラスチック、薄膜の試験に好適 ■最小限のメンテナンスで済む頑丈な設計 ■温度範囲 ・2713-002, 004：－70℃～315℃ ・2713-007：-70℃～+150℃ ※詳しくはPDF資料をご覧...

メーカー・取り扱い企業： インストロンジャパンカンパニイリミテッド 日本支社

高速コンパクト精密ボールねじ『SDA-VZ』：THK株式会社

セミオーダー&短納期だから、各工程の作業を効率化できます。新たにねじ軸…

●高速 最高5000min-1（従来のTHK精密ボールねじに比べ約1.4倍）の高速回転運動が可能です。 ●防塵 SDA-VZでは防塵用シール（薄膜シール）を標準装備しています。 薄膜シールは接触式で異物の流入と潤滑剤の流出を防ぎます。 さらに低摺動であるため発熱しにくいシールです。 ●外径比最大30%コンパクト化。（THK従来品との...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

乾燥システム『ダイレクト・サイクロン・ドライヤー』

全自動運転で無人運転が可能な乾燥システム！

『ダイレクト・サイクロン・ドライヤー』は、縦型薄膜直接熱風乾燥機と 高温酸化分解脱臭装置とのクローズドシステムで構成される 縦型薄膜熱風乾燥システムです。 廃蒸気は、高温酸化分解脱臭装置により無害化。 高い省エネ効果が得られ、廃水・悪臭...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オカドラ

1流体ノズル(スリット)「スリットラミナーノズル SLNH-H」

ボタ落ちしにくい構造！幅方向に均等に噴霧するラミナーノズル

「スリットラミナーノズル SLNH-H」は、スリット幅に対して均等なスプレーパターンで幅方向に均等に噴霧するラミナーノズルです。 薄膜状に噴霧可能、薬液や純水にかかるコストを削減可能。装置の小型化に対応できます。 厚さ約20mm(PVC製は30mm)のコンパクト設計、ボタ落ちしにくい構造です。 水切り乾燥、洗浄、現像、エッチン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社いけうち

鏡面加工スチールベルト

薄膜フィルムの製造ラインに適した鏡面加工スチールベルト

LCDディスプレイやプリント配線基板など、最先端の電子機器の分野では、絶縁性、耐熱性、機械性能に優れた、高性能なプラスチックフィルムが用いられています。これらの薄膜フィルムの製造ラインではきわめて表面平滑性の高いスチールベルトが要求されています。 IPCOでは長年のスチールベルトの研究開発の経験を生かし、フィルムキャスティング用鏡面加工スチールベルトを供...

メーカー・取り扱い企業： IPCO株式会社

フッ素樹脂並みの撥水・撥油性を実現する高機能水溶性塗膜クアトロン

ワンコートで非常に高い金属密着性が得られます。被膜は厚くつきにくく、適…

並みの撥水・撥油性を実現します。 ※接触角の比較資料はPDFをダウンロードください。 またクアトロンは、ワンコートで非常に高い金属密着性が得られます。 被膜は厚くつきにくく、適正２０μｍと薄膜であるため、 厳しい寸法公差の製品にも施工が可能です。 ★クアトロンコーティング断面図 金属基材＞ブラスト処理＞クアトロン 【特徴】 ■水溶性　　■耐熱性　　■高接着性　　■撥水・...

メーカー・取り扱い企業： 関西ポリマー株式会社

ナノやサブミクロンに対応！精密微細ノズル技術ハンドブック

「合成繊維紡糸用ノズル」「ディスペンサーノズル」「インクジェットノズル…

に渡り製造 ◆ディスペンサーノズル 紡糸ノズル製造の高度な技術が高精度・高品位なノズルのニーズに対応 ◆ファインパーティクルスプレーヤー 精密コーティング、動物実験の経肺投与、微小エリアへの薄膜塗布に最適 ◆インクジェットノズル 要望に応じたノズル孔形状に対応し課題解決に向けたインクジェットノズルの製作に貢献 ◆オリフィス・アパーチャー 孔の品位、帯電によるビームの乱れが発生しない...

メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社

AGRO社製『結露防止用均圧エレメント』

圧力差・温度差をなくし、結露を防ぐ！特殊構造の均圧エレメント

【仕様】 ■材質 　・ニッケルメッキ真鍮 ■Oリング 　・NBR（ニトリルゴム） ■フィルターエレメント 　・薄膜：PES（ポリエーテルスルホン） 　・フィルターディスク：焼結青銅（濾過系40μm） 　・排水エレメント：ステンレス（1.4301） ■動作温度 　・薄膜：-40℃/+110℃ 　・フィル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パーツサプライセンター

研究・試作用テストに『FEコーター』

VETAPHONE社の高性能処理機器を標準搭載！高度で繊細な薄膜塗工を…

本装置は、液晶・光学用フィルム・LIB/LIC・FCなどの二次電池開発に 必要な高度かつ繊細な薄膜塗工を実現するためのコーターです。 美しいサインカーブを描く非接触乾燥を実現。 3つの塗工ヘッドをコンパクトにまとめました。 COAST CONTROLS社のEPCでキレイな巻き上がり...

メーカー・取り扱い企業： イーアールエス株式会社

USTRON株式会社　会社案内

自社生産ならではのスピーディかつ正確な情報を提供可能！各バッチに於いて…

USTRON株式会社は、薄膜材料、石英製品、及びその付属部品について 20数年間の生産経験を持っており、中国にある21,000m2余りの生産工場にて 各種高純度蒸着材料及びスパッタリングターゲット材料等の生産をしています。...

メーカー・取り扱い企業： USTRON株式会社

クリーニング部品　クリーニングウェブ

液晶ポリマー不織布採用！ローラーなどの汚れをクリーニングします。

機またはプリンターの定着ローラーなどの汚れをクリーニングする部品です。 クリーニングする相手材は、定着ローラ・加圧ローラ・加熱ローラーなどが対象となります。 従来のアラミド＋PET不織布と比べて薄膜の不織布を使用。 薄膜の不織布を使用することでアラミド＋PETと同じ巻き長としたときにはロール径は小さくなりますのでプリンタや複写機の省スペース化に寄与できます。 【特徴】 ○定着ローラー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社立花商店 湘南支店

新対向ターゲットスパッタリング（NFTS）装置

超伝導薄膜応用分野やMEMS応用分野などに！低ダメージ・低温成膜で有機…

（反跳粒子、イオン、電子）の衝撃によるダメージを抑制できる原理・構造を 特長とする成膜技術です。 NFTS技術により、これまでのスパッタ技術では困難とされていた低温・低ダメージで 高品質な薄膜を形成することができ、かつ高い生産を有する成膜技術となっています。 【特長】 ■対向ターゲット構造 ・対向ターゲット間におけるプラズマ拘束 　→基板への高エネルギー粒子の抑制→低ダメージ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トヤマ

【超微細かつ均一な格子】マイクロハニカム

10,000cells/in2を超える微細格子を実現したハニカム構造体…

も成形できるほか、 黒色材、静電対策材料など素材による機能付与も可能です。 吸着ヘッドにマイクロハニカムを装着することで、フィルターとしての役割を果たすため、 微細な部品や形状が崩れやすい薄膜フィルム・繊維等を形状を保持したまま運搬することができます。 1cm角のカットフィルムを運ぶことも可能です。 【吸着ヘッドとしての用途】 ■形状の崩れやすい薄膜フィルムの運搬 ■皺の寄り...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社長峰製作所 営業部

ベアリング　コンプレッサインペラ

表裏のバランスをとる二面修正は偏芯許容量0.5ミクロンの高精度を要求

芯許容量0.5ミクロンの高精度が要求されます。軸受は英語ではベアリングと総称され、すべり軸受やボールベアリング、静圧軸受などが用途によって使い分けられます。このうち「すべり軸受」は潤滑油などでつくる薄膜を介して相対すべりをするもので、自動車用クランクワッシャは村上製作所が業界最大規模の生産量を誇っています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社村上製作所 株式会社村上製作所

ピュアスチームジェネレーター『Finn-Aqua』

蒸発缶は蒸留器同様、薄膜流下方式を採用！高品質ピュアスチーム(PS)を…

無菌で、パイロジェンフリーである注射用水(WFI)を製造 ■凝縮水の水質はJP、USPおよびEPの新しいWFI基準に適合 ■欧州規格(EN285,HTM2010)に適合 ■蒸発缶は蒸留器同様、薄膜流下方式を採用 ■比例制御システムによりPS圧力の安定化と速やかな立ち上がりが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： サンタサーロ&ステリ‐プロ ソリューション株式会社

DLCコーティング

WPC処理との複合処理で、密着性や潤滑性、オイル保持力アップ

DLCは薄膜（数ミクロン）であり、低摩耗抵抗性（高硬度）、低摩耗係数耐凝着性、赤外線透過性、デザイン性、生体親和性、ガスバリア性、耐腐食性など、様々な機能を持つため、多くの分野で注目されています。しかし一方でD...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社不二ＷＰＣ

サンラインベルト『ミスターウルトラミラー SL-S8135』

ベルトに付着する製品ロスの改善に！フッ素樹脂フィルムを用いてφ27を実…

『ミスターウルトラミラー SL-S8135』は、小プーリで使えて高性能な サンラインベルトです。 表面は、フッ素樹脂フィルムの薄膜化による剛性低減。裏面は、抗菌、 防カビ両面カバー構造により油や液体の潜り込み収縮を防止します。 従来品の屈曲疲労や搬送物の引っ掛かりで表面のフッ素樹脂フィルムが 剥離する弱点を克服しまし...

メーカー・取り扱い企業： 宮岸株式会社 富山支店

金属の薄板加工でお困りの方必見！『エッチング加工の基礎知識』

金属の薄板加工の比較表やエッチングの加工技術などがまとまった資料！エッ…

精密ハイブリッドエッチング（ニッケルクラッド材をエッチング＋電鋳加工） 3. 特殊材のエッチング（モリブデン・チタン・アルミニウム等） 4. 3Dエッチング（立体・曲面へのエッチング） 5. 薄膜エッチング（多種基材に金属薄膜を蒸着し、化学的にエッチング＆パターン形成） エッチング+2次加工 表面処理各種：黒処理/電解研磨/無光沢ニッケル/アルマイト等 複合加工各種：曲げ・丸め加工...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メルテック 本社工場

金属表面処理技術『LAFRE(ラフレ)』

超薄膜と高耐食の両立により高い防錆性能を実現する金属表面処理技術！

度と優れた密着性により、ボルトの締め付けや ビスのねじ込み時の塗膜の損傷・損失を抑制。 また、酸洗いや電解工程が無いため、水素脆性の心配もありません。 【特長】 ■環境対応型 ■超薄膜・高耐食性 ■低温処理 ■無水素脆性 ■塗膜物性 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クロイワ

フリー・スライドシャフト

高精度な冷間鍛造技術と薄膜樹脂コーティング技術！ユニバーサルジョイント…

リー・スライドシャフト』をご紹介いたします。 ステアリングジョイントに求められる「小型軽量化」、「高耐久性」と 「高機能化」などを同時に実現。 独自設計のスプライン軸に200μm以下の薄膜樹脂コーティングを施したもので、 高性能且つコストパフォーマンスの高い機能により、お客様の課題を 解決いたします。 【特長】 ■小型軽量化 ■振動吸収性UP ■伝達精度UP ■強度...

メーカー・取り扱い企業： 協和工業株式会社

注ぎ口ノズル『SN型シリーズ』

液の飛散を防止して注ぎ出し易く！簡単にしっかりと取付が可能です

『SN型シリーズ』は、一斗缶の注ぎ口に取り付け、液の飛散を防止して注ぎ 出し易くする、注ぎ口ノズルです。 薄膜成形品なので軽く、一斗缶に簡単にしっかりと取付が可能。エアー抜き 機構がついていますので流れ出る液は、無脈動です。 一斗缶の口外径に合わせ40ミリ用(SN-40型)と50ミリ用(SN-50型...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メイセイ

電子ビーム蒸着『EFMシリーズ』

豊富なラインアップをご用意！有機分子の蒸着への応用が可能な電子ビーム蒸…

トヤマが取り扱う電子ビーム蒸着『EFMシリーズ』をご紹介します。 UHV条件での超高純度サブモノレーヤーから多層薄膜の成膜に特化。 多くの実績のある「EFM 3」の他、イオンビームアシストタイプの「EFM 3i」 大型サンプル用の「EFM 4」など、豊富なラインアップがございます。 ご用命の際はお気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トヤマ