新規次世代パワー半導体の研究開発拠点を開所

PR低損失化、高耐圧化、小型化の面で優位性を持つ、GeO2半導体の製膜事業…

株式会社クオルテック(本社：大阪府堺市、以下「クオルテック」)は、 「滋賀県立テクノファクトリー」内に、新規半導体材料を使用した パワー半導体の製膜における研究開発拠点を開所しました。 開所式にはクオルテックが本研究開発に関して資本業務提携し、 「琵琶湖半導体構想(案)」を推進する立命館大学発ベンチャー、 Patentix株式会社(本社：滋賀県草津市)も出席し、開所式を行いました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クオルテック

【テストカット受付中】生産性UPや新用途開発に！切断試験サービス

PR刃物＆機械メーカーだからできる！テストカットで分かる各素材の新たな活か…

「今の工法では生産速度を上げられない」「生産速度を上げると切れなくなる」など カット工程におけるお困りごとはございませんか？ 当社では、そんな生産現場の課題に立ち向かうため、 このたび『テストカットサービス』を始めました。 刃物メーカーでもあり機械メーカーでもある当社の特長を生かし、 刃物と機械のいずれも自社製のテストカット機を新設。 紙やフィルムのほか、金属箔や複合シート...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三條機械製作所

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

ズマ源HCｄ（ホローカソード放電）型電極搭載。無磁場・無アンテナのシンプルなk構造で従来型電極より一桁高いプラズマを密度を実現。 独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくＣｕ薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。 新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。 ３００ｍｍウェハや積層基板、最大１ｍ□までの基板のメタルエッチ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

従来型の容量結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP型）とのハード上の互換性も高く低コスト・高い信頼、稼働率の実現に寄与。 ウェハレベルの基板だけでなく大型基板のエッチングにも対応可能 基板の大型化にスムースに対応可能な新型高密度プラズマエッチング...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマクリーナー(大型)

小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社　…

良く導入可能」 ■□■アプリケーション■□■ ■光学材料/プラスチック/金属/セラミックス/PDMSなど、あらゆる材料の表面汚染物質の除去、表面改質 ■ポリマーの改質、ポリマー表面への薄膜形成 ■高温/化学的処理に不適な歯科・医学材料(器具)の滅菌 ■表面エネルギーの増加による生体材料の表面接着力強化 ■潤滑性向上のためのコーティング ■液体/気体に対するバリアコーティングの...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッ…

FA-1は、ICチップ上の各種不良解析のためのパッシベ-ション膜の剥離や各種シリコン薄膜のエッチング、フォトレジストのアッシングなどを効率よく、かつ低損傷で行うドライエッチング装置です。操作方法は簡単で、試料をセットしてボタンを押すだけで使用できます。また、省スペースで場所を選ばず、床...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

プラズマクリーナー（小型）

業界最小サイズ！小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置

スを再現良く導入可能」 【アプリケーション】 ■光学材料/プラスチック/金属/セラミックス/PDMSなど、あらゆる材料の表面汚染物質の除去、表面改質 ■ポリマーの改質、ポリマー表面への薄膜形成 ■高温/化学的処理に不適な歯科・医学材料(器具)の滅菌 ■表面エネルギーの増加による生体材料の表面接着力強化 ■潤滑性向上のためのコーティング ■液体/気体に対するバリアコーティングの...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部