高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

カーボンPEEK配管用継手「アントロック」　

PR耐熱、耐薬品、軽量、強度、そして経済性の両立を実現した配管用継手

アントロックは、耐熱、強度、耐薬品性と経済性の両立を目指し、スーパー・エンジニアリング・プラスチック「PEEK」をベースに製作された配管用継手です。 このアントロックでは、PEEK樹脂の特徴である耐熱、耐薬品性を活かしつつ、カーボンを含有させることで更なる強度の向上を可能にしました。 チューブとの接続には簡便かつ実績あるフェルール・レス構造を採用し、確実でスピーディーな作業を実現します。 従...

メーカー・取り扱い企業： サンワ・エンタープライズ株式会社

薬液供給・回収装置

薬液供給装置・薬液回収装置

少量から大容量、及び各種薬液により設計製作いたします。詳しくはお問い合わせ下さい。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

ットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。 【特長】 ■省フットプリント　60...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

自動レジスト現像装置（枚葉式） デベロッパー Developer

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…

機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 TMAH（水酸化テトラメチルアンモニウム）、炭酸ナトリウム、コリン水溶液など多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■安定した現像プロセス！ ■低価格 ■自動サイズウエハ認識 ■多彩な薬液に実績あり ■仕様に合わせたコンパクト設計！ ■生産量に合わせた装置ラインアッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off

短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…

セトンや専用剥離液で一晩浸漬した後に超音波やスプレーでリフトオフをするような長時間工程を短くできます。 当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高剥離力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 さらに、弊社独自の温調膨潤と高圧ジェットの組み合わせで処理時間を24時間→3minに減らした事例もあります！ メタルや酸化膜剥離の他にレジスト、ポリマー、 マス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動リフトオフ装置（セミオートリフトオフ機）Lift-off

自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフト…

カセット（キャリア）でセットをすることはできませんが、マニュアルと違いウェハ1枚1枚を自動搬送するので、偏心や位置ズレの心配がありません！ ドライイン・ドライアウトで処理に関して作業者に薬液の付着の心配がありません。 リフトオフの最大のメリットである厚膜メタルのリフトオフも高圧ジェットであれば一瞬で吹き飛ばし、リフトオフ可能！ 弊社の最大のメリットである温調した剥離液と高圧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動フォトレジスト現像装置（セミオートデベロッパー）

自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様…

の問題で導入できない等でお悩みのお客様におススメです！ 御社のニーズに合わせた半自動機を設計・製造いたしますので 新規装置の導入でお困りのお客様はぜひご検討ください！ TMAH等多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■自動搬送機能 ■低価格を実現 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コンパクト！手動フォトレジスト現像装置（マニュアルデベロッパー）

少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式の…

当製品は、枚葉式のマニュアル現像機です。 薬液BOXと処理カップ部分の本体が一緒になったコンパクト仕様です。 マニュアル機をお客様のニーズに合わせて設計から製造・販売しています。 研究開発目的としてだけでなく少量多品種の製品を扱うお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半導体関連装置 「レジスト液加温塗布装置」

純水1/4RC　圧縮空気1/4RC！薬液をスプレー塗布する装置

「レジスト液加温塗布装置」は、半導体関連で使用されるシリコンウェハー・ガラス基盤等のワークを、任意のスピードで回転させながら、常温または加温した薬液をスプレー塗布する装置です。 お客様のご要望に、技術ノウハウと創造力で、機能性、操作性、安全性を追及した、価値のある製品をご提案いたします。 【材質】 ○本体　：鋼板製 ○塗布部：塩ビ製...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社

段取り替えなし！インチ兼用自動リフトオフ装置

【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウ…

【主な仕様】 ■ウェハサイズ：φ2"～φ8"まで対応可能 ■膨潤機能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ：1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…

ます。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 TMAH、コリン水溶液、Na2CO3等多彩な薬液に実績があります。 また、薄いウエハでの実績も多数あります（ウエハ厚さ150umなど）のでご相談ください。 【特長】 ■PEBによる逆テーパー角の安定 ■自動ウエハサイズ認識機能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ドラフトチャンバー（機器組込み型）

ワークや用途に応じた仕様にカスタマイズが可能です。

薬液によって、SUS仕様、塩ビ仕様にも対応し、お客様の操作性と安全性を両立したドラフトチャンバーです。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

ルカリなどのガスを適切に処理。 スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。 また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 スクラバー：薬液槽等から発生する揮発性ガスをスクラバーで中和処理し排出します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

高精度スプレーコーター API-300OGS

カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター

ノズル（外部混合型２流体ノズル） 基板固定：リフトアップピンによるロボットとの受け渡し/真空吸着 霧化圧：最大800kPa (元圧が800kPa以上必要となります） その他機能　 自動脱泡、薬液自動供給、自動洗浄、各種アラーム、防爆、 レシピ登録（最大100個）、データログ、塗布状態のグラフ表示 10インチカラータッチパネル、非常停止ボタン、HEPAフィルター ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

スプレー/パドル兼用 小型スピン現像装置（デベロッパー)

高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両…

マルチステッププログラムは99ステップ×50パターン保存可能。 薬液系統増設や薬液温調システム等のオプションもご用意しています。 他サイズ、特注仕様もご相談下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

テムです。 洗浄・コーター・現像・剥離・エッチングなどの生産設備および 研究開発向けの設備を提供します。 「全自動スピンエッチング装置」は、ウエハを1枚ずつ取り出し、 自転させながら薬液を吹き付け、エッチングから乾燥までを 自動処理する装置です。 【特長】 ■薄膜電子部品工程の一連のプロセスを提供 ■様々な装置で対応 ■全自動スピンエッチング装置もラインアップ ...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社