フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高真空、耐高温、高電圧、高密度！「半導体製造装置用コネクタ」

ワンタッチでの簡単操作の嵌合・脱着が可能な小型コネクタ！ 振動、ねじ…

着脱に捻り等の動作を必要としないため、狭ピッチでの実装が可能です。 金メッキのモデルは、非磁性を要求されるアプリケーションに対応出来ます。 上記のような特徴を活かし、数多くのモデルを半導体製造装置でご使用いただいております。 ※詳細は資料請求していただくか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。 弊社HP▶https://www.lemo.co.jp/...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

【資料】『半導体製造装置における 現状の課題と対策』※実例掲載

半導体製造装置開発におけるそのお困りごと、コネクタで解決できるかもしれ…

本資料では、半導体製造装置の開発におけるよくある課題を、コネクタによって解決した事例をご紹介しています。 【このような問題に直面していませんか？】 装置の有効スペース減少による耐熱性能の確保 市場において、こ...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

【LEMO】計測機器/医療機器/半導体製造装置向けコネクタ特集！

ご採用事例とともに、各アプリケーションに好適なLEMOコネクティングソ…

ボット 医療機器 ■インタークロス株式会社様　小型無線生体モニター ■泉工医科工業株式会社様　ECMOシステム、人工心肺装置 ■株式会社メディカロイド様　手術支援ロボット 半導体製造装置 ■株式会社堀場エステック様　液体材料気化システム ■アズビル株式会社様　サファイア隔膜真空計...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧…

の半導体を必要とする分野が急速に拡大することに伴って、現在半導体製造におけるプロセス装置は今まで以上に高電圧化が進みながら、装置自体の小型化が強く求められています。 レモコネクタは、今後の半導体製造装置の進化に対してプッシュプル・小型高電圧製品で「お客様の電圧増加・省スペース化の課題を解決」いたします。 ●高電圧： 最大50kVDCまで対応可。単極・多極・複合・気密等豊富なラインナップ ...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

【資料】『「働き方改革」で装置立ち上げリードタイム圧縮が課題に』

働き方改革で大きく変わる作業時間。時間短縮のポイントは？

【このような問題に直面していませんか？】 『働き方改革』により、半導体製造装置の設計コンセプトの見直しが迫られる 半導体の技術革新は日進月歩でありムーアの法則に基づいて飛躍的に進んでます。その技術を支えているのが、超精密機械である半導体製造装置です。 昨今の『働き方...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

高電圧コネクタ&高電圧編組シールド付きケーブル

小型！ワンタッチで抜き差し可能！最大50kVDC対応のプッシュプルコネ…

レモ『高電圧コネクタ』は、最大50kVDC対応の小型・高品質・高信頼性の製品です。 半導体製造装置のプラズマ電源や、PZTドライバーでも多数のコネクタをご使用いただいております。 当社特有のプッシュプル構造により抜き差しが簡単、SHV型やMHV型 コネクタより小型で省スペースでの設置が...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

LEMOバーチャルブースOPEN！半導体製造装置向けWEB展示会

LEMOコネクタ製品説明・情報交換から、オンライン商談予約まで、空間を…

例年であれば、この時期はセミコンが開催され、日本のみならず海外からもたくさんの来訪者が期待できるはずでしたが、今年はコロナ感染拡大に伴いフィジカルとしての展示会は中止となり、当社も出展を見送りました。 そのセミコンに代わる情報提供の場として、微力ながらこの時期に合わせて盛り上げたく、当社独自で『LEMO Semiconductor Solution on-line Exhibition』としてバ...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

新製品！強化型PTFEフッ素樹脂耐熱ケーブル NORTHWIRE

NORTHWIRE Inc.の新製品「PTFEケーブル 」は、使用環境…

【主なアプリケーション】 医療機器 ・電気外科療法（手動・ロボット） 交通・輸送 ・燃焼機関センサとの接続 ・排気経路とシャーシ 製造業 ・材料加工と半導体製造装置 ・発泡成形・射出成型 【NORTHWIRE Inc.について】 レモグループの一員であるNORTHWIRE Inc.は、以下を提供しています。 ・カスタムケーブル設計 ・ラピッ...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

医療機器用ケーブル『BioCompatic』

NORTHWIRE Inc.の「BioCompatic」は、USP C…

Northwire Inc.の革新的な素材を使用したBioCompaticはシリコン製ケーブルと同等以上の屈曲・ 捻転性能があり、また、シリコン特有の表面粘着が無く、ごみが付着しにくいのが特徴。シリコン製ケーブルと比較し費用対効果が高いため、BioCompatic を採用することでコストを抑えることができます。 【特徴】 ・USP Class VI対応 ・ISO 10993-5、ISO ...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

【資料】小型・高密度コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の進化に対して小型高密度製品で「お客様のダウ…

レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。 レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいておりま...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

【資料】真空コネクタソリューション

今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な…

レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。 レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいておりま...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社