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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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無料ウェビナー 超純水・純水の最新技術と超純水の使い方のポイント
PR5月29日(水)無料ウェビナー開催!最新技術と使い方について詳しくお伝…
各種試験、研究、各種分析において再現性のある精度の高い結果を得るためには、結果に影響を与える要素が取り除かれていて、且つ一定の水質を保っている純水・超純水を用いることが必要です。 本ウェビナーでは、純水・超純水の精製方法による水質の違いと結果への影響を示し、目的に応じた最適な水について紹介します。 また、水質を保つために必要な超純水の使い方のポイントにいたるまで、純水・超純水を利用する方が...
メーカー・取り扱い企業: メルク株式会社ライフサイエンス(シグマ アルドリッチ ジャパン合同会社)
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連続コーチ「KOACH R 1050-F」(FERENA搭載)
クリーン空間を必要な分だけ広げることが可能!超高性能フィルタ搭載コーチ
『KOACH R 1050-F』は、横に並べることで、限りなくクリーン空間を横に広げることが可能な連続コーチです。 囲いがないにもかかわらず広い範囲の清浄空間を形成することができます。 清浄度はISO クラス1、全換気時間は130秒となっています。 【こんな方にオススメ!】 ■機器が大きくてクリーンベンチの中では扱えない ■製造ラインの一部分だけクリーン化したい ■将来必要にな...
メーカー・取り扱い企業: 関東化学株式会社 電子材料事業本部
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ガイドスクリーンを使用することで、より広い空間をスーパークリーン化!
『KOACH Ex-F』は、ガイドスクリーンを使用することで、より広い空間をスーパークリーン化できるフロアーコーチです。 フード前方にトンネル型のガイドスクリーンを設置することにより、大空間のスーパークリーンルームが誕生しました。 清浄度はISO クラス1、施工完了時は0.1 μm(10個/m³)、全換気時間は360秒(3段×10列、設定風速:0.3 m/sec時)となっています。 ...
メーカー・取り扱い企業: 関東化学株式会社 電子材料事業本部
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スタンドコーチ「KOACH C 900-F」(FERENA搭載)
局所クリーンの決定版!超高性能フィルタ搭載オープンクリーンベンチ
『KOACH C 900-F』は、テーブル上の作業エリアをクリーン化したい場合に適しており、並び作業、対面作業も可能なオープンクリーンベンチです。 囲いがないにもかかわらず広い範囲の清浄空間を形成することができます。 清浄度はISO クラス1、全換気時間は105秒となっています。 【こんな方にオススメ!】 ■クリーンベンチは顕微鏡などの大きな機器が入らないから使えない ■囲われて...
メーカー・取り扱い企業: 関東化学株式会社 電子材料事業本部
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テーブルコーチ「KOACH T 500-F」(FERENA搭載)
卓上作業に最適なコンパクトタイプ!超高性能フィルタ搭載テーブルコーチ
『KOACH T 500-F』は、手軽に持ち運んで設置できるコンパクトなサイズで、テーブル上を清浄化するスーパークリーンゾーン生成装置です。 囲いがないにもかかわらず広い範囲の清浄空間を形成することができます。 清浄度はISO クラス1、全換気時間は110秒(風速 0.4m/sec時)となっています。 【こんな方にオススメ!】 ■クリーンベンチを置くスペースがない ■クリーン環境...
メーカー・取り扱い企業: 関東化学株式会社 電子材料事業本部
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フロアーコーチ KOACH F 1050-F(FERENA搭載)
積み木方式で臨機応変に対応が可能!超高性能フィルタ搭載フロアーコーチ
『KOACH F 1050-F』は、連続タイプ「KOACH」の技術を応用し、かつ送風機を背面に移動することにより、床からの全域をクリーン化できるフロアーコーチです。 複数台を組み合わせて対向させれば、小さいながらクリーンルームの誕生です。 清浄度はISO クラス1、全換気時間は130秒となっています。 【こんな方にオススメ!】 ■既存の部屋をクリーンルーム化したい ■クリーンルー...
メーカー・取り扱い企業: 関東化学株式会社 電子材料事業本部
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