静電気除去装置　※設置例付き

PRクリーン環境の除電に好適！印刷等のラインスピード300～500m/分の…

当社で取り扱う、電気力線方式の「静電気除去装置」をご紹介いたします。 放射電極より電気力線を放射し、この電気力線により帯電体より放射している静電力線を消滅し除電する構造。 帯電している極と反対の電気力線が引きつけあい、電気力線自体の回り込む性質上、品物の裏まで除電出来ます。 また、高真空層内の除電ができ、使用電力は2～5W前後の省エネタイプです。 【特長】 ■メンテナンスが簡単 ■送風の必要が...

メーカー・取り扱い企業： クリーンテクノス株式会社

超低湿度用防湿庫『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』

PR新型デジコンと高精度湿度センサー採用！ドライユニット内の特殊乾燥剤は半…

『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』は、新型デジコンにより庫内の湿度を 正確にコントロールできる超低湿度用防湿庫です。 高精度湿度センサーの採用により正確に表示することが難しかった5％RH以下の 湿度を正確に表示。超高速除湿のHYP・DUSに湿度設定と自動省エネの機能が 付いて高性能化しました。 使い易い全面ワイドドア（マグネットパッキン式）で、中央支柱がないので、 横長のもの...

メーカー・取り扱い企業： トーリ・ハン株式会社

高分解能　静電容量センサ

高分解能　静電容量センサ

標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応！測定する材質を選びません！非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています！！...標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応！測定する材質を選びません！非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社

半導体製造装置用セラミック静電チャックの世界市場シェア2023

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル半導体製造装置用セラミック静電チャックのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を12月14日に発行しました。本レポートでは、半導体製造装置用セラミック静電チャック市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

ハンディタイプ静電チャック「ソフトパーム」

薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来…

『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます...

メーカー・取り扱い企業： 筑波精工株式会社

【アオイ電子】ナノピンセット

マイクロ・ナノサイズの試料の把持が可能な高性能ピンセットです。真空環境…

イズの物体の把持が可能です。ナノピンセットを用いることで、TEM試料（幅3～5μm）、細菌・細胞（φ1～20μm）、シリコンウェハやガラス上の異物・ゴミのサンプルピックアップの実績もございます。 静電アクチュエータによる精密制御、平行開閉による良好な把持性能、高把持力を実現するロック機能等に加え、SEM・FIB等の電子ビーム環境下（真空環境下）における試料の把持に対応可能です。 詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

イレイザーディスク（eRaser Disk）

ステージ上のパーティクルをインラインクリーニング　ウェハ型ステージクリ…

　半導体製造装置内、処理ステージとなるピンチャックや静電チャック上にパーティクルが存在する場合、プロセスエラーや装置停止の原因となります。一般的にはダミーウェハーを使用したインラインクリーニング（ダミーラン）によるパーティクルの除去がおこなわれていますが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー

ナノ・マイクロサイズの試料把持用　ロングアームナノピンセット

アームの長さが従来の５倍長くなり、今まで届かなかった液中深くにあるサン…

対応できます。 アームの長さが従来の５倍（3mm）で、今まで届かなかった液中深くにあるサンプルへアプローチできるようになりました。市販の電源（最大電圧150V以上）を用いて開閉操作が可能で、櫛歯型静電アクチュエータによりアームを駆動します。先端最大開き幅100μmです。 顕微鏡に取り付けたマニピュレータにセットすることで、マイクロサイズのサンプルを観察しながら操作することができます。 詳...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」

徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取…

基本構成部品は金属となっており、樹脂製SMIF PODと比べ非常に高い耐久性を有します。 金属製マルチレチクルカセットは、徹底した静電対策と併せて、レチクルを強固に保護することに配慮して設計されています。 事前調整されたハンドリングシステムでレチクルを安全に取り扱うためにはその剛性と耐久性は必要不可欠です。 クロム磨耗とレチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

半導体チップのキズと不良チップを解消する革新的な性能評価手法

未来を切り拓く、革新的な半導体製造技術！キズと不良をゼロにする究極の性…

す。この革新的な手法は、主に故障解析に活用されています。トランジスタの微細な部分に生じる不具合やキズを高精度に検出することで、製造プロセスの改善に繋げることができるでしょう。 電子線技術による静電容量測定 電子線技術を用いることで、試料の表面電荷を求めることが可能です。この手法を用いて等価回路の抵抗値や容量値を推定することで、欠陥箇所の特定が行われます。特に、微細な回路の欠陥を見逃さずに発...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

スーパーバブラーWAC

先進の電気抵抗率制御技術で超純水の静電気を抑制！！

【特徴】 ・半導体製造やFPD製造、ダイシング工程での洗浄水の電気抵抗率を最適 　化。 ・静電破壊や微粒子の再付着を防ぎ、歩留まり向上。 ・全機種電気抵抗率センサーが内蔵されているので据付・配管が容易で 　す。 ・最大通水量：3,000L/h、圧力損失：0.06MPa at 3,000...

メーカー・取り扱い企業： 日東機器ファインテック株式会社

多段式HP-CP装置

【高精度な温度精度を実現】同一フレーム内で複数の基板を同時に加熱/冷却…

0±3.0℃、ゴールドプレートは23±1.0℃の制御が可能です。 ■プロキシミリティピン（近接ピン）は取り外しや、交換が可能です。 ■ホットプレート、コールドプレートは弊社独自の表面処理により、静電除去が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： クリーン・テクノロジー株式会社

防振導電　ステンレス台車

静電や衝撃を嫌う精密機器などの搬送に１

振動・衝撃を吸収するαGELのインシュレーターとステンレス金具のクッションキャスターを装着したＳＵＳ３０４製台車です。キャスター車輪は静電気障害を防止する導電ウレタンです。天板部は平板仕様とパンチング仕様がございます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クラフトワーク

ウェーハ厚さ測定機 (TME-07型)

シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定したポイントの厚さを計…

・静電容量センサーにより非接触にて、ウェーハ厚さ測定を行います。 ・レシピ設定によりウェーハサイズ変更が可能で、段取り替え作業は不要です。 ・測定ポイントは中心1点、十字測定をレシピにて設定します。十...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

外観検査装置（SWL-05）

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査と厚さ測定を行う装置です

・JOGスティック操作により目視検査が簡単に行えます。 ・ノッチ位置によるアライメントを行い静電容量センサを用いて挟み込み測定を行います。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム