• フッ素樹脂PFA・静電気防止タイプ熱収縮チューブ GRC-PB 製品画像

    フッ素樹脂PFA・静電気防止タイプ熱収縮チューブ GRC-PB

    PR静電気を帯びにくくなると同時に帯電量を軽減させる効果も期待出来ます

    ・静電防止の特性 静電気を帯びやすいフッ素樹脂PFAカーボンを添加する事により、静電気が問題になる用途にもお使い頂けます。静電気を帯びにくくなると同時にロールに接触する製品(例えば紙・フィルム等)の帯電量を軽減させる効果も期待出来ます。 ≪特長≫ フッ素樹脂PFAのもつ非粘着特性を損なうことなく、静電気防止効果を付与しました。 1. 静電防止特性 2. 非粘着性(汚れがつきに...

    メーカー・取り扱い企業: グンゼ株式会社 エンプラ事業部

  • 静電気除去装置 ※設置例付き 製品画像

    静電気除去装置 ※設置例付き

    PRクリーン環境の除電に好適!印刷等のラインスピード300~500m/分の…

    当社で取り扱う、電気力線方式の「静電気除去装置」をご紹介いたします。 放射電極より電気力線を放射し、この電気力線により帯電体より放射している静電力線を消滅し除電する構造。 帯電している極と反対の電気力線が引きつけあい、電気力線自体の回り込む性質上、品物の裏まで除電出来ます。 また、高真空層内の除電ができ、使用電力は2~5W前後の省エネタイプです。 【特長】 ■メンテナンスが簡単 ■送風の必要が...

    メーカー・取り扱い企業: クリーンテクノス株式会社

  • Crガラスマスクの『静電破壊』にお困りではありませんか? 製品画像

    Crガラスマスクの『静電破壊』にお困りではありませんか?

    [技術資料を無料公開中!]導電層が静電破壊を抑制!高い歩留まり率で、安…

    当社の『静電破壊対策用Crガラスマスク』は、帯電物が接近してもパターン破壊が起こりにくいフォトマスクです。 大量の露光回数に対しても、破損することなく1枚で対応可能です。 マスクの取り替えにかかっていた...

    メーカー・取り扱い企業: 竹田東京プロセスサービス株式会社

  • 高分解能 静電容量センサ 製品画像

    高分解能 静電容量センサ

    高分解能 静電容量センサ

    標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応!測定する材質を選びません!非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています!!...標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応!測定する材質を選びません!非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます...

    メーカー・取り扱い企業: 翔栄システム株式会社

  • 半導体製造装置用セラミック静電チャックの世界市場シェア2023 製品画像

    半導体製造装置用セラミック静電チャックの世界市場シェア2023

    『無料サンプル』を入手可能! 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

    YH Research株式会社(本社:東京都中央区)は調査レポート「グローバル半導体製造装置用セラミック静電チャックのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を12月14日に発行しました。本レポートでは、半導体製造装置用セラミック静電チャック市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関...

    メーカー・取り扱い企業: YH Research株式会社

  • ハンディタイプ静電チャック「ソフトパーム」 製品画像

    ハンディタイプ静電チャック「ソフトパーム」

    薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適!従来…

    『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動(充電可)のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます...

    メーカー・取り扱い企業: 筑波精工株式会社

  • SiC半導体製造用機能部品 製品画像

    SiC半導体製造用機能部品

    2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品…

    Momentiveの『タンタルカーバイドコーティング』は、SiC単結晶成長炉、エピタキシャル装置の部品として多くの実績を有しており、『静電チャック』はSiやSiC半導体プロセスの高温イオン注入、スパッタリング工程で使用されています。 【特長】 ■タンタルカーバイド ・超高温(2000℃以上)での使用が可能 ・複雑な形状にも...

    • スクリーンショット 2021-08-23 095945.png

    メーカー・取り扱い企業: モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

  • 【成膜加工】静電対策/静電防止にお困りの方必見! 製品画像

    【成膜加工】静電対策/静電防止にお困りの方必見!

    各種材料、基材の加工実績が豊富!基材×薄膜=光学調整・導電・抗菌/ウイ…

    積水ナノコートテクノロジーの『スパッタリング技術』をご紹介します。 多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。 化学繊維、炭素繊維など、繊維へのスパッタ加工に対応しています。 また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有。 薄膜製品開発/販売、成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■3つの技術軸:光学調整・導電・抗菌/...

    メーカー・取り扱い企業: 積水ナノコートテクノロジー株式会社

  • セトラ社 ウルトラクリーン圧力センサ モデル225シリーズ 製品画像

    セトラ社 ウルトラクリーン圧力センサ モデル225シリーズ

    特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ

    セトラ社のモデル225は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。...

    メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部

  • 高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ 製品画像

    高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

    高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

    静電容量: 500〜4000pF ○静電容量誤差: ±20%以内(高精度モデル有) ○許容温度範囲: -30℃〜+50℃ ○エネルギー散逸: 最大0.5% (@1kHz) ○絶縁試験: ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社コムクラフト

  • 真空センサ『730シリーズ』 製品画像

    真空センサ『730シリーズ』

    コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

    『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御...

    メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部

  • 【アオイ電子】ナノピンセット 製品画像

    【アオイ電子】ナノピンセット

    マイクロ・ナノサイズの試料の把持が可能な高性能ピンセットです。真空環境…

    イズの物体の把持が可能です。ナノピンセットを用いることで、TEM試料(幅3~5μm)、細菌・細胞(φ1~20μm)、シリコンウェハやガラス上の異物・ゴミのサンプルピックアップの実績もございます。 静電アクチュエータによる精密制御、平行開閉による良好な把持性能、高把持力を実現するロック機能等に加え、SEM・FIB等の電子ビーム環境下(真空環境下)における試料の把持に対応可能です。 詳しくはお...

    メーカー・取り扱い企業: アオイ電子株式会社

  • イレイザーディスク(eRaser Disk) 製品画像

    イレイザーディスク(eRaser Disk)

    ステージ上のパーティクルをインラインクリーニング ウェハ型ステージクリ…

     半導体製造装置内、処理ステージとなるピンチャックや静電チャック上にパーティクルが存在する場合、プロセスエラーや装置停止の原因となります。一般的にはダミーウェハーを使用したインラインクリーニング(ダミーラン)によるパーティクルの除去がおこなわれていますが...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブテクノロジー

  • エレクトロニクス・半導体業界向け硬さ・弾性率・粘弾性評価 製品画像

    エレクトロニクス・半導体業界向け硬さ・弾性率・粘弾性評価

    セミコンダクタ・スマートフォンなどの研究開発のためのナノインデンテーシ…

    下。 - 大理石台(プラットフォーム)、及び特許取得済みのアクティブトップリファレンスの採用により、高荷重に耐えるフレーム剛性を実現。 -独立した押し込み深さセンサーと荷重センサー: 超高分解能静電容量センサーにより、「真の押し込み深さ」と「荷重制御」モードが可能。 -超高分解能と超低ノイズフロア。 -高品質光学ビデオマイクロスコープやオプションの原子間力顕微鏡(AFM)により位置を完全に...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アントンパール・ジャパン

  • ナノ・マイクロサイズの試料把持用 ロングアームナノピンセット 製品画像

    ナノ・マイクロサイズの試料把持用 ロングアームナノピンセット

    アームの長さが従来の5倍長くなり、今まで届かなかった液中深くにあるサン…

    対応できます。 アームの長さが従来の5倍(3mm)で、今まで届かなかった液中深くにあるサンプルへアプローチできるようになりました。市販の電源(最大電圧150V以上)を用いて開閉操作が可能で、櫛歯型静電アクチュエータによりアームを駆動します。先端最大開き幅100μmです。 顕微鏡に取り付けたマニピュレータにセットすることで、マイクロサイズのサンプルを観察しながら操作することができます。 詳...

    メーカー・取り扱い企業: アオイ電子株式会社

  • SMIF POD(マルチ/シングルタイプ)「SEMI規格準拠」 製品画像

    SMIF POD(マルチ/シングルタイプ)「SEMI規格準拠」

    徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取…

    基本構成部品は金属となっており、樹脂製SMIF PODと比べ非常に高い耐久性を有します。 金属製マルチレチクルカセットは、徹底した静電対策と併せて、レチクルを強固に保護することに配慮して設計されています。 事前調整されたハンドリングシステムでレチクルを安全に取り扱うためにはその剛性と耐久性は必要不可欠です。 クロム磨耗とレチ...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行

  • イオンビームトリミング装置『scia Trim 200』 製品画像

    イオンビームトリミング装置『scia Trim 200』

    メカニカルクランプ又は静電チャック対応!サブナノメーターエッチング機構

    ております。 ご用命の際は、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大200mmウエハ基板対応 ■歩留改善 ■高精度・高スループットによる膜厚エッチング制御 ■メカニカルクランプ又は静電チャック対応 ■サブナノメーターエッチング機構 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ

  • 表面処理 製品画像

    表面処理

    研磨から塗装まで!板金を主体にして羽布・塗装・メッキ等、様々な処理に対…

    当社では、粉体・溶剤・静電塗装・メッキなどの『表面処理』を 行なっております。 前身が羽布研磨工場だった事の強みとして、自社内での 羽布研磨加工を実施。 鏡面羽布研磨では、市販にはない#1600鏡面仕上げが可...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社イズミ

  • ナノフォーカスX線管用高圧電源 XE303XP 製品画像

    ナノフォーカスX線管用高圧電源 XE303XP

    サーマルFEエミッタを使用した軟X線管専用の駆動電源「XE303XP」…

    本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源、静電レンズ電源で構成されており、コントローラを標準搭載しています。 ●より詳細な仕様については、カタログをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: フューテックス株式会社

  • 電磁界解析ソフト 【μ-BEAM 3次元軌道解析ソフト】 製品画像

    電磁界解析ソフト 【μ-BEAM 3次元軌道解析ソフト】

    静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…

    μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の3次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-MFの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の初期位置、初期速度、担当電流量の入力機能 ・Excelからの条件設定csvファイル読込機能 ・計算範囲の指定と、自動計算...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ミューテック

  • 半導体チップのキズと不良チップを解消する革新的な性能評価手法 製品画像

    半導体チップのキズと不良チップを解消する革新的な性能評価手法

    未来を切り拓く、革新的な半導体製造技術!キズと不良をゼロにする究極の性…

    す。この革新的な手法は、主に故障解析に活用されています。トランジスタの微細な部分に生じる不具合やキズを高精度に検出することで、製造プロセスの改善に繋げることができるでしょう。 電子線技術による静電容量測定 電子線技術を用いることで、試料の表面電荷を求めることが可能です。この手法を用いて等価回路の抵抗値や容量値を推定することで、欠陥箇所の特定が行われます。特に、微細な回路の欠陥を見逃さずに発...

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    メーカー・取り扱い企業: 有限会社オルテコーポレーション 本社

  • アルミナ溶射材『SURPREX AW・AHP』 製品画像

    アルミナ溶射材『SURPREX AW・AHP』

    耐摩耗性、化学的安定性、絶縁性など優れた皮膜特性が得られるアルミナ溶射…

    を活かし、耐摩耗、絶縁部品などに使用されています。 AHPは半導体、FPD製造装置などに使用されています。 アプリケーション例 ・耐摩耗部品(製紙用ロール・繊維用部品など) ・絶縁部品  ・静電チャック ・半導体、FPD(OLED、LCD)製造装置 など 【メッセージ】 フジミではお客様のご要望に応じた純度、粒度に調整した粉末の試作も可能です。 セラミックス溶射材料に関してご質問...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社フジミインコーポレーテッド

  • 高純度イットリア溶射材 製品画像

    高純度イットリア溶射材

    耐プラズマエロ―ジョン性に優れた溶射皮膜が得られる高純度イットリア粉末…

    トリアではその化学的安定性、耐プラズマエロ―ジョン特性を活かし、半導体、FPD(OLED、LCD)製造装置などに使用されています。 アプリケーション例 ・プラズマエッチング装置 ・CVD装置 ・静電チャック ・焼成トレイ など 【メッセージ】 フジミではお客様のご要望に応じた純度、粒度に調整した粉末の試作も可能です。 セラミックス溶射材料に関してご質問やご要望等ございましたらお気軽に...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社フジミインコーポレーテッド

  • セトラ社 ウルトラクリーン圧力センサ モデル224シリーズ 製品画像

    セトラ社 ウルトラクリーン圧力センサ モデル224シリーズ

    特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

    センサチャンバは316L(VAR材)を0.18Raに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。 オプションで多様なチューブ内径と面シール継手が用意されています。 堅牢な構造で配管のねじれ、溶接時の熱衝撃など組み付け時のトラブルを減...

    メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部

  • 半導体製造装置用部品に特化! 海外製セラミックのご紹介 製品画像

    半導体製造装置用部品に特化! 海外製セラミックのご紹介

    静電チャック、ピンチャック等の調達にお困り事があった方は必見! 海外…

    当社の海外サプライヤーでの生産により、お客様の部品調達のご不安を解致します! 高精度/高品質の半導体製造装置用のセラミック部品を材料込みでご提案致します。 ☆8インチ、12インチサイズ対応可能です。 ☆国内装置メーカー様への納入実績は豊富に御座います。...【対応領域】 材料提案から対応可能。 ※ESCはパターン製作も対応可能です! 【対応材質】 アルミナ(Al2O3) ジル...

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    メーカー・取り扱い企業: ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課

  • スーパーバブラーWAC 製品画像

    スーパーバブラーWAC

    先進の電気抵抗率制御技術で超純水の静電気を抑制!!

    【特徴】 ・半導体製造やFPD製造、ダイシング工程での洗浄水の電気抵抗率を最適  化。 ・静電破壊や微粒子の再付着を防ぎ、歩留まり向上。 ・全機種電気抵抗率センサーが内蔵されているので据付・配管が容易で  す。 ・最大通水量:3,000L/h、圧力損失:0.06MPa at 3,000...

    メーカー・取り扱い企業: 日東機器ファインテック株式会社

  • KM型集塵機『KM-2・KM-3・KM-5・KM-7』 製品画像

    KM型集塵機『KM-2・KM-3・KM-5・KM-7』

    サイクロンとフィルターを1つの機体に!フィルターの粉塵負荷が少ない集塵…

    少なくなります。 フィルターは工具を使用しないで取替えが可能です。 【特長】 ■サイクロンで粗塵を、フィルターで微塵を捕集 ■フィルターに対する粉塵負荷が少ない ■逆止弁・爆気口・静電防止バグ(オプション) ■粗い粉塵と細かい粉塵が混在する研磨作業に適している ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社野水機械製作所 本社

  • 製品カタログ 半導体製造装置用セラミックス製品 製品画像

    製品カタログ 半導体製造装置用セラミックス製品

    ウェハ製造プロセス・デバイス製造プロセスで用いられるセラミックス製品を…

    ・ウェハポリシングプレート  ・SiC製ウェハポリッシングプレート  ・ドレッシングプレート 他 ■デバイス製造プロセス  ・プラズマプルーフ ドーム  ・プラズマプルーフ リング  ・静電チャック 他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: 橋本理研工業株式会社

  • テープラミネーター『フルオートBGテープラミネーター』 製品画像

    テープラミネーター『フルオートBGテープラミネーター』

    裏面研削後の薄ウエハの反り軽減に!テープ貼り付け後外周カットが可能な自…

    【その他の特長】 ■300mm/200mm ウエハ対応 ■静電対策 ■SECS通信対応(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 大宮工業株式会社 営業本部営業課

  • 『薄膜スプレー技術資料』抜粋 製品画像

    『薄膜スプレー技術資料』抜粋

    霧化方法・薄膜形成方法など、当社の最新ノウハウを初心者の方にも分かりや…

    ■霧化について ■各種スプレーの薄膜形成方法 (遠心力霧化等1流体スプレーの場合/2流体スプレーの応用/  2流体スプレー応用の集大成…新型FS式マイクロスプレーシステム/  断続スプレー/静電印加+マイクロスプレー/薄膜スプレーシステム装置本体)/セレクトスプレーについて  ■薄膜スプレーの比較 ※尚詳細については下記にお問合せ頂ければ『薄膜スプレーに関する技術資料』の詳細資料を...

    メーカー・取り扱い企業: Shimada Appli合同会社 コーティング開発部

  • フッ素樹脂(テフロン)コーティングの工程 製品画像

    フッ素樹脂(テフロン)コーティングの工程

    グレードによっては、プライマーとトップコートの間にミドルコートがありま…

    自己接着性のあるフッ素樹脂塗料の場合は必要としません。 ○5.乾燥  120℃前後で乾燥します。プライマーによっては、高温焼成になります。 ○6.トップコート(上塗り)  スプレーガン、静電粉体塗装機にてコーティングします。 ○7.焼成  所定の焼成温度と時間にて、フッ素樹脂を硬化(溶融)します。 ○8.検査  外観検査、膜厚検査、ピンホール検査を行います。検査成績書が必...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社YMM コーティング事業部

  • 多段式HP-CP装置 製品画像

    多段式HP-CP装置

    【高精度な温度精度を実現】同一フレーム内で複数の基板を同時に加熱/冷却…

    0±3.0℃、ゴールドプレートは23±1.0℃の制御が可能です。 ■プロキシミリティピン(近接ピン)は取り外しや、交換が可能です。 ■ホットプレート、コールドプレートは弊社独自の表面処理により、静電除去が可能です。...

    メーカー・取り扱い企業: クリーン・テクノロジー株式会社

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