79GHzミリ波レーダー方式 非接触型振動センサー

PR悪環境(高温等)でも影響なし！40KHzまでの広帯域・高振動周波数の計…

当製品は、79GHzミリ波レーダー技術を応用した レーダー信号処理プロセッサー内蔵の振動センサーです。 内蔵レンズ付きアンテナにより狭範囲の測定が可能。 40KHzまでの広帯域・高振動周波数の計測ができます。 0.03μm(pk-pk)程度の極微小変位計測能力があります。 また、非接触計測なので機械共振の心配がありません。 【特長】 ■0.03μm(pk-pk)程度の極微...

メーカー・取り扱い企業： サクラテック株式会社

近赤外線ヒーター（ヒートビームシリーズ）

PRハロゲンランプヒーターより放射される光（近赤外線）を照射し、高温・急速…

近赤外線ヒーター　ヒートビームシリーズは、特殊高効率ハロゲンランプから照射される近赤外線を利用し、ライン状やスポット状または、面状の熱源が得られるヒーターユニットです。 反射鏡は特殊金メッキを施し、熱効率が高くコンパクトな設計。 熱源にはハロゲンランプを使用する事により、最大1200℃までの加熱と2mm～3mm程度の集光が可能です。 ハロゲンランプから照射される輻射熱を利用しているので、非接...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイベック

高速・高精度な厚み測定！プレシテック社　非接触センサ

従来の色収差共焦点法・分光干渉法に加え、レーザー加熱を利用した厚み測定…

プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した光学式センサの開発・製造をしています。 2022年末にフランスのEnovasense社を買収し、不透明体の厚みを測定できるレーザー加熱を利...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高速・高精度な厚み測定、形状測定に！プレシテック社　非接触センサ

色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・…

プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した 光学式センサの開発・製造をしています。 高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、 平...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

非接触厚み測定　光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」

薄膜（数um)～厚膜(780um)まで高精度に測定できる幅広いプローブ…

『CHRocodile 2シリーズ』は、サブミクロン分解能でウエハ厚のインプロセス測定が可能な非接触センサーです。 抜き取りでの品質管理にも使われています。半導体業界の他、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野で採用されており、透明体厚み、コーティング厚み測定、複数層の同時測定（最...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

【資料】非接触厚み及び形状計測センサー

測定例を多数掲載！CHRocodileの半導体向けアプリケーションをご…

当資料は、非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています。 「CHROMATIC VISION CAMERAの原理」をはじめ、「測定例」や 「CHRocodileの特長と優位性」などについてご紹介。...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

半導体業界のCMP工程および研削工程の制御

「CHRocodile 2 ITセンサー」は、ワーク処理中にウエハーの…

接触、表面の損傷、厚さ測定にチャック テーブルからの参照値が必要という大きなデメリットがあり、損耗もするので 頻繁な交換も必要です。 当社の「CHRocodile 2 ITセンサー」は、非接触·非破壊の光学測定技術 により、ワーク処理中にウエハーの厚さを計測可能です。 【特長】 ■光学センサーで、一般的な接触式測定器より正確な結果を取得可能 ■直接フィードバックでウエハー厚...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

ウエハーステップハイトのインプロセス測定

「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2…

研削作業では、加工中にウエハーの厚さを調整する必要があります。 非接触・非破壊の光学測定法であれば、ワークにストレスを加えたり ワークを破壊したりすることなく加工中のウエハーの厚みがモニター されるため、ソリューションとして好適です。 当社の「CHRoco...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

測定技術を次のレベルへ

ハイエンド色収差共焦点センサーによる工程と品質保証の改善

生産工程の高速化ニーズに応えるには、超高速のインライン測定による データが不可欠です。 そのような技術には非接触、高精度のほか、堅牢性、高信頼性、高分解能の 3Dイメージングが求められます。 当社の「色収差共焦点センサー」なら、こうした要件を満たすことが可能です。 高性能な光学レンズを採用した...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

新色収差共焦点センサー『CHRocodile MPS 2L』

サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無！ホットエンド工程にも対…

PS)です。 波長差は一定の厚さに対応。 複数ポイントを1つのプローブヘッドで対応可能です。 サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響はありません。 【特長】 ■光学式で非接触 ■消耗品使用無 ■サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無 ■傾斜のあるワークにも測定可能 ■ホットエンド工程にも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

【資料】CHRocodileシリーズのご紹介

非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています！

当資料は、CHRocodileシリーズをご紹介しています。 「CHRocodileの測定原理」をはじめ、「干渉センサー」や 「CHROMATIC VISION CAMERA」などについて掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■CHRocodileの測定原理について ■原理1：共焦点位置測定モード(表面形状・粗さ測定) ■CLS外観 ■CLS用プローブ ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

ガラス産業向けの品質検査と連続補正

生産工程でのバルク材料のさまざまな欠陥を可視化することが可能です

ガラス製品の光学特性を測定する専用機器では、表面およびバルク材料に ダメージがないようにするため、非接触式の測定技術が使用されます。 当社の「CHRomatic Vision Camera（CVC）」を品質検査に使用すれば、 ガラス計測に関する情報を即座に入手し、生産工程でのバルク材料の ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

プレシテック社　非接触センサメーカーのご紹介

色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・…

プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、 ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、平坦度の測定・検査などに使用されています。 幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社