【加工事例】白色干渉顕微鏡による加工面の測定

PRmm単位を超える広い面内測定範囲！多結晶セラミックスとSiC単結晶の測…

当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。 白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する 顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。 多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、 スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面 Sa 0....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社新興製作所

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

クリスタル光学　鏡面研磨加工技術

材料を問わない鏡面研磨加工をご提供。 単結晶から金属・セラミック・樹…

○鏡面の粗さはナノレベル。 ＊光学式表面粗さ測定による実績（一例） ・銅　Ｃｕ（９９．９９％）　０．４ｎｍ ・ステンレス　ＳＵＳ４３０　０．３ｎｍ ・樹脂材　ＰＭＭＰ　３ｎｍ ・単結晶材　シリコン（１００面）　０．４ｎｍ ・光学単結晶材　ＮａＣｌ（１００面）　２．８ｎｍ ○素材を選ばない鏡面研磨 ＊取り扱い材質（実績一例） ●金属 　ステンレス 　アルミニウム 　銅 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリスタル光学