Φ4対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システムRTP-100

GaNの結晶成長をはじめ、急速・均一な熱処理を必要とする幅広いアプリケ…

『RTP-100』は、業界最小クラス、研究開発及び試作開発に好適な、 卓上型真空プロセス高速加熱炉です。 Φ4インチ対応、専用サセプタにより小片サンプルのプロセスも可能です。 最大到達温度1200℃で多彩なガスパージ環境に対応。 GaNやSiCなどの新材料の結晶成長やペースト材料の焼結など、 多目的にお使い頂けます。 【特長】 ■窒素ガス、酸素ガス、フォーミングガス（...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

アニール炉『ANNEALウエハーアニール装置』

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…

高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

水素アニール装置（電子デバイス用、サンプルテスト対応中）

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…

水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現 デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理（べーく・アニール）に最適。 実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保 電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理に、特殊用途の熱処理に多くの実績を元に...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

化合物半導体用電極膜アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…

Ｓｉプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。 ＧａＡｓ用のホットプレートタイプに比べ高温（９００～１０００℃）まで対応。 窒化膜半導体の電極の合金化に実績。 急速昇降温型の加熱炉を装備し、均...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

アニール装置『可変雰囲気熱処理装置』

ウェハやガラス等の多種基板の処理可能　幅広い用途対応した可変雰囲気熱処…

当社では、真空・酸素雰囲気(常圧)・還元雰囲気(常圧)の雰囲気での 処理が選択できる急昇降温型の「横型アニール装置」を取り扱っています。 6インチまでの各種基板(ウェハ、セラミック、ガラス、実装基板)の処理に 対応しており、薄膜やウェハのアニール、ナノ金属ペーストの焼成、 有機材のキュアなど多く...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

大面積で一括照射・高照度での照射が可能！複数パルスの照射もできる加熱装…

『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を アニールする光応用加熱装置です。 UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの 光により、0.1～60msecの範囲を任意に可...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

フラッシュランプアニール装置『SUS980シリーズ』

ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置！大面積で一括照射、…

『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける フラッシュランプアニール装置です。 ランプに流れる電流を半導体スイッチでON／OFF制御することで、 ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1～60msec)。 ワークサイズに応じて、...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

遠赤外線アニール炉

遠赤外線ヒーターの放射熱を有効利用してアニール時間を大幅に短縮

遠赤外線ヒーターの放射熱を有効利用してアニール時間を大幅に短縮します。 樹脂成形品のアニール処理を画期的に変えるシステムです。 ●処理時間の大幅短縮 　遠赤外線の放射加熱及び熱風拡散を併用する事により処理時間を大幅に短縮できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部　東京営業所

第三の光加熱源！LEDアニール装置

加熱効率向上で省エネルギー化！高速応答性でサーマルバジェット低減を実現

『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

【遠赤の話】プラスチック製品のアニール処理について

プラスチック製品のアニール処理による、遠赤外線加熱の効果について解説

際、金型内部の位置によりプラスチックに温度差が生じるので歪みとなります。 　　 これが寸法の変化、結晶化、耐候性劣化等さまざまな物性低下の原因となって います。そこで再加熱し歪みをとることをアニール処理といいます。 この処理には精密な温度分布と正確な温度制御が必要になり遠赤外線加熱の 得意とする分野となります。　　　　　　　　 従来は熱風式の固定炉で時間をかけて処理していました...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社AMK

連続アニール炉

遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉

当社製の遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉です。 処理時間の大幅短縮、コストダウン、インライン化に最適です。 （特長） ●早い加熱処理 　例その１：自動車ヘッドランプ　溶着後の歪除去　６０分⇒５分 　例その２：ＩＣトレー　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部　東京営業所

各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8インチウェ…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

大型真空オーブン

　高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱　乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…

空ガスフロー処理、複数の処理モードを１台で実現。 高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。 低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空乾燥。 真空置換後の不活性雰囲気で部品・成形品　高速加熱アニール 実績豊富な標準タイプから各種カスタマイズで個別対応 目的に合わせて小型からラインナップ。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

CFRTP（熱可塑性炭素繊維）予備加熱 　※テスト動画公開中！

CFRTPシート、焦がしていませんか？高制御予備加熱による高品質化のご…

よるシート温度コントロール ■多点出力ユニットにより、ヒーター1個ずつ調整可 【用途】 ■炭素繊維強化複合材（CFRP）やガラス繊維強化複合材（GFRP）の予備加熱 ■発泡シート成形用アニール炉 ■光学系シート成形用アニール装置 ■塗装乾燥炉　など ※詳しくはPDF資料をダウンロードしたいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社浅野研究所

『縦型真空炉』

真空炉内部品の脱気処理や大口径配管（容器）の真空熱処理に最適な縦型真空…

『縦型真空炉』は、加速器の能力増強・付帯設備として製作された装置です。 縦型真空炉で、超大型真空ユニットの空焼処理（アニール・ブレージング）が可能。 本体側の内部に設けたステージですべての作業・処理ができるため、振動を 与えることなく真空熱処理をします。 真空炉内部品の脱気処理や大口径配管（容器）の真空熱処理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐鉄工所

工業用加熱炉

熱利用技術に精通した強みを生かし、各種工業炉に対応いたします。

器部品の熱処理炉です。 基板加熱炉（連続式窒素雰囲気炉） 【説明】電子機器の基板を無酸素の状態で加熱する連続炉です。 ガラス管熱処理装置（電気式赤外線加熱方式） 【説明】ガラス管のアニール装置です。 鋼板熱処理炉（ガス式赤外線加熱方式） 【説明】バッチ式鋼板加熱炉です。 ガラス基板加熱炉（電気式熱風循環方式） 【説明】バッチ式および連続式ガラス基板加熱炉です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社正英製作所

電熱ヒーター　その他用途別ヒーター

厨房設備、合成樹脂製品、化学薬品製造ライン等、用途に応じて製作いたしま…

成樹脂製品のための工業用ヒーター］ ○電流値を低く抑えるために、電源導入部である端子と 　抵抗体の接続方法にいくつかの工夫をおこなっている ○断線対策として使用温度を考慮したうえ、抵抗体へのアニール処理なども実施 ［環境試験のための工業用ヒーター］ ○ごみ焼却時に発生するガスを熱処理して無害化する 　その熱源の設計・製作に独自の技術が活かされている →ダイオキシン類やCO2､NOx､...

メーカー・取り扱い企業： 新日電熱工業株式会社

『マントルヒーター』

設備の小型化、省エネに貢献！線材等の加熱に適した小型の雰囲気炉

【使用例】 ■金属線の熱処理=アニール ・採用例:ガイドワイヤー(医療用) ■細線のクセ取り除き その他 ・採用例:ガイドワイヤー、ワイヤーボンダー用金線、銀線 ■コーティング乾燥 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイベック

真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）

急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングな…

な真空半田付装置の基本構成を応用。半田付用の熱板加熱で高速熱処理。 高密度実装基板・プリント板の成膜前の脱ガス・乾燥。セラミックス材料の乾燥など多用途に最適。 太陽電池セルの低温べ―クや薄膜のアニールにも有効でインライン化にも対応。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ハイブリッド熱処理炉『EC Hybrid II』

電気とガスの最適化とモジュール化で省エネ・省スペースを実現したハイブリ…

【その他の特長】 ■アルミ製品の溶体化、時効硬化処理 ■ガラス製品のアニール処理 ■塗装乾燥・焼き付け ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エコム 本社 「ヒートスクエア」

集光照射式赤外線真空炉（IVF298W)

真空・各種ガス雰囲気での高温アニール装置で、赤外線加熱による急速昇温、…

・円筒上真空チャンバー外周には、８個の真空ポートがついた拡張性の高い真空チャンバーを採用。 ・上面が大きく開き、試料の設置・取出し作業が容易にできる。 ...最高昇温速度 150℃/sec、加熱時間 1500℃まで約1min 熱源からの放出ガスや電磁誘導の影響を与えないクリーン加熱 高温の試料を観察できるオプションも用意しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーモ理工

真空精密熱処理サービス

熱処理のことならなんでもお気軽にご相談ください！

【設備】 ■テンパー炉 ■ロックウェル硬度計 ■アニール炉 ■雰囲気炉 ■真空熱処理炉1室型 ■ショア硬度計　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社PG熱処理研究所

【○加熱方式（電気）と遠赤外線加熱○～豆知識NO.3】

赤外加熱の中でも遠赤外加熱は効率の良い熱源として幅広く利用されています…

度分布（品質の向上）・ 　容易な温度制御（自動化）・クリーン加熱等により幅広い範囲で用途が広がっている →金属やプラスチックの器具・部品などの塗装乾燥硬化、プラスチック製品の 　予熱・加工・アニール、基板加熱、食品加熱等様々な分野で利用ができる ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社AMK

『加熱応用装置の設計・製作』のご案内

機械の試作・開発のパートナー！お客様のイメージを具現化します

【製品ラインアップ】 ■熱処理装置 　・ゴム熱処理装置：バッチ式加硫炉、コンベアー式加硫炉、焼成炉、 　　　　　　　　　　アニール炉、高低温、真空、熱風式各種 　・電気炉：亜鉛、アルミ、鉛、錫溶解炉 　・乾燥装置：真空乾燥機、熱風乾燥機、遠赤外線コンベアー乾燥装置、 　　　　　　　プリント基板各種熱処理装置、クリーンオ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電熱計装株式会社 本社・工場

株式会社ヒートテック　総合カタログ

「水切り・乾燥・温風吹きつけノズル」や「赤外線ヒーター各種」などを掲載…

・炉内寸法：幅3000mm X 奥行き1500mm X 高さ1800mm ■乾燥炉（熱風循環） ・ワークの熱風吹きつけゾーンへタクト送り機構付き ■各種電気炉の修理、メンテナンス、乾燥炉、アニール炉やベル型炉など ■加熱成形機 ・ガラス成形、シート状素材の成形 ■水切り乾燥 ・洗浄後や、生産工程での水分除去などに使用可能なエアーノズルや温風吹きつけ ■技術開発に必要な試験機の設計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒートテック

電気炉・加熱装置事業

1250℃で使用可能なパネルヒーターの製作など、当社の電気炉・加熱装置…

250℃まで対応可能です。また、セラミックファイバーの製品を中心に熱処理関連の応用製品を手掛けております。 【取扱内容】 ■パネルヒーター・モールドヒーターを使用した加熱炉、焼成炉、 　アニール炉及び制御装置の設計・製作 ■生体溶解性セラミックファイバータイプのパネルヒーター製作 ■炉内パーティクル対策用高温クリーンヒーター・クリーンボードの製作 ■セラミックファイバーボードの成形...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMGe

マガジン加熱装置

昇温時の温度分布が極めて安定し、昇温時間が短い！コンパクトな設計を実現

『マガジン加熱装置』とは、半導体製造工程にて使用するマガジンを そのままアニールやキュアできるように開発された装置です。 非常にコンパクトで状況に応じて複数台使用することも容易な大きさ。 ブログラム可能な温度調節器を使用することにより、ステップキュアも 可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社九州日昌

『高周波誘導電線加熱装置』

高周波誘導加熱電源を使用し非接触で加熱が可能！押出し後のアニール処理等…

『高周波誘導電線加熱装置』は、非接触で電線が加熱できる装置です。 従来の誘導加熱とは異なりプーリ等に接触せず、ワークコイルの中に電線を 通す事により、電線がワークコイルに流れる高周波電流で誘導加熱されます。 周波数を可変する事により、電線の表面から深部までの加熱深さが選定できます。 また、お使いの電線加熱装置のメンテナンス・修理にも対応しております。 お気軽にお問い合わせく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社第一機電

【横250×高さ100×長さ15mも対応可】ステンレス熱処理加工

ステンレスの特性を知り尽くしたプロの熱処理加工！

有限会社阪和熱工では、大気中の酸素の無い状態で光輝焼鈍炉および 真空炉にて熱処理を行い、酸化皮膜をつけずにステンレスの光沢を 維持した熱処理ができます。 長年の経験と知識をベースに、ステンレスの特性を知り尽くしたプロの 熱処理加工集団として、環境にも優しく後処理が必要にならない 熱処理を提供しています。 【特長】 ■ステンレスを酸化させずに熱処理を実施 ■ステンレスを着色さ...

メーカー・取り扱い企業： Bright Anneal株式会社

遠赤外線コンベア炉

遠赤外線コンベア炉！遠赤外線セラミックヒーターを使用した連続方式の加熱…

ーターを使用した連続方式の加熱炉です。 　自動化ラインに組み込むことにより、生産性の向上・コスト低減・高品質の製品製造がご提案できます。 ●処理時間の短縮：熱風バッチ処理１〜８時間⇒２〜７分（アニール処理の場合） ●品質向上：遠赤外線ヒーターをゾーン分割制御することにより、高精度な温度分布を実現し、製品の品質向上をいたします。 ●クリーン加熱：テフロンベルト、ＨＥＰＡフィルターを採用するこ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部　東京営業所

Φ12対応　高速アニール加熱システム VPO-1000-300

GaNの結晶成長をはじめ、急速・均一な熱処理を必要とする幅広いアプリケ…

『VPO-1000-300』は、業界最小クラス、研究開発及び試作開発に好適な、 卓上型真空プロセス高速加熱炉です。 Φ12インチ・Φ6インチ・4インチ対応、専用サセプタにより小片サンプルの プロセスも可能。 最大到達温度1000℃で多彩なガスパージ環境に対応。GaNやSiCなどの 新材料の結晶成長やペースト材料の焼結など、多目的にお使い頂けます。 【特長】 ■窒素ガス、酸...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

Φ6対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システムRTP-150

GaNの結晶成長をはじめ、急速・均一な熱処理を必要とする幅広いアプリケ…

『RTP-150』は、業界最小クラス、研究開発及び試作開発に好適な、 卓上型真空プロセス高速加熱炉です。 最大到達温度1000℃で多彩なガスパージ環境に対応。 GaNやSiCなどの新材料の結晶成長やペースト材料の焼結など、 多目的にお使い頂けます。 【特長】 ■窒素ガス、酸素ガス、フォーミングガス（水素＋窒素）パージの他、 　高濃度水素ガスパージにも対応 ■上下24本の...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』

SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応…

安全性・操作性を重視した、『ウエハー焼成』専用超高温ウエハーアニール炉。 ◆主な特徴◆ ・セミオート：真空・パージ（3 cycle）〜 ベントまでを自動シーケンス制御（標準） ・手動プロセス圧力制御（標準）：手動ベローズバルブ調整 ・有効加熱範囲：φ4...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

アニール炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、…

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール 卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種 「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保 冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製 堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【小ロット対応可】ステンレス熱処理加工のご紹介　

ステンレスの特性を知り尽くしたプロの熱処理加工！

有限会社阪和熱工では、大気中の酸素の無い状態で光輝焼鈍炉および 真空炉にて熱処理を行い、酸化皮膜をつけずにステンレスの光沢を 維持した熱処理ができます。 長年の経験と知識をベースに、ステンレスの特性を知り尽くしたプロの 熱処理加工集団として、環境にも優しく後処理が必要にならない 熱処理を提供しています。 【特長】 ■ステンレスを酸化させずに熱処理を実施 ■ステンレスを着色さ...

メーカー・取り扱い企業： Bright Anneal株式会社

有限会社阪和熱工　ステンレス熱処理加工のご紹介

ステンレスの特性を知り尽くしたプロの熱処理加工！

有限会社阪和熱工では、大気中の酸素の無い状態で光輝焼鈍炉および 真空炉にて熱処理を行い、酸化皮膜をつけずにステンレスの光沢を 維持した熱処理ができます。 長年の経験と知識をベースに、ステンレスの特性を知り尽くしたプロの 熱処理加工集団として、環境にも優しく後処理が必要にならない 熱処理を提供しています。 【特長】 ■ステンレスを酸化させずに熱処理を実施 ■ステンレスを着色さ...

メーカー・取り扱い企業： Bright Anneal株式会社

【インコネルの熱処理対応可】ステンレス熱処理加工のご紹介

ステンレスの特性を知り尽くしたプロの熱処理加工！

有限会社阪和熱工では、大気中の酸素の無い状態で光輝焼鈍炉および 真空炉にて熱処理を行い、酸化皮膜をつけずにステンレスの光沢を 維持した熱処理ができます。 長年の経験と知識をベースに、ステンレスの特性を知り尽くしたプロの 熱処理加工集団として、環境にも優しく後処理が必要にならない 熱処理を提供しています。 【特長】 ■ステンレスを酸化させずに熱処理を実施 ■ステンレスを着色さ...

メーカー・取り扱い企業： Bright Anneal株式会社

【全国対応可】ステンレス熱処理加工のご紹介　有限会社阪和熱工　

ステンレスの特性を知り尽くしたプロの熱処理加工！

有限会社阪和熱工では、大気中の酸素の無い状態で光輝焼鈍炉および 真空炉にて熱処理を行い、酸化皮膜をつけずにステンレスの光沢を 維持した熱処理ができます。 長年の経験と知識をベースに、ステンレスの特性を知り尽くしたプロの 熱処理加工集団として、環境にも優しく後処理が必要にならない 熱処理を提供しています。 【特長】 ■ステンレスを酸化させずに熱処理を実施 ■ステンレスを着色さ...

メーカー・取り扱い企業： Bright Anneal株式会社