冷媒ガス『R32』

PR無色透明で無臭！純度99.8%、水分20ppm、蒸発残分100ppmの…

『R32』は、通常の温度、気圧下では安定した冷媒ガスです。 比重は0.960g/cm3(25℃)で、沸点は-51.7℃となっており、 通常の条件では有害な反応は起こりません。 また、不凝縮ガスは1.5%で、酸分はNDの製品です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【物理的及び化学的性質】 ■物理的状態：液化ガス ■色：無色透明 ■沸点：-51.7℃ ■引火点...

メーカー・取り扱い企業： アオホンケミカルジャパン株式会社

『次亜塩素酸水のJSA規格準拠』認定マークの付与規定

PR【紹介資料進呈中】会員数の増加とJSAマーク普及など各種情報発信のため…

当工業会は、一般市販の次亜塩素酸水に関するJSA規格準拠の 認定マークの付与に関する規定を2024年4月1日より改定いたします。 この改定による当工業会の目指す新たな方向性は、会員数の増加と JSAマーク普及など各種情報発信のための基盤の強化です。 これらの改定により、より多くの企業が次亜塩素酸水の"JSA規格準拠"の 認定マークを取得し、その信頼性を証明できることを期待しています。 【改定...

メーカー・取り扱い企業： 一般社団法人 次亜塩素酸化学工業会 本部事務局

回路形成材料　電子部品、ウェハーレベルパッケージ工程エッチング液

ウェハーレベルＣＳＰや精密電子部品をはじめとするあらゆる分野で

ック　ＷＴＩ／ＶＶシリーズ →用途：チタンバリア層エッチング液 ○アデカケルミカ　ＷＮＦ－７０３０ →用途：磁性体膜エッチング液 ○アデカケルミカ　ＷＰＺ－２０２９ →用途：ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）膜エッチング液 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。 【特長】 ・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。 ・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。 ・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。 【仕様】 ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200まで クリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター 洗浄方式：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。 半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大きなカギを握っています。エッ...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。 ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

バルクエッチング装置『BEM-301』

エッチング量（深さ）とウェーハの材質を指定するだけで何方でも容易に使用…

様】 ■エッチングレート：2μm/H以上 ■平坦度：10%以内 ■エッチング量（深さ）の精度：±5%以内 ■ユーティリティ：O2、N2、HF、DIW、冷却水、AC-100V、AC-200V、酸排気、酸排水 ■外形寸法：1,000W×1,300D×2,000H（mm） ■重量：約300Kg ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社NAS技研

エッチングマシン『YCE-500WA』

当社独自のノズル配置とオシレーション機構により高精度にムラなくエッチン…

『YCE-500WA』は、ボタンひとつで高精度なエッチングが可能な エッチングマシンです。 本体およびその他の箇所も酸、アルカリの両エッチャントに対応できる 完全耐蝕性材料を採用しております。 また、作業の安全性を保証する大きな点検窓や丈夫な圧力バルブ類を 使用しています。 【特長】 ■ボタンひと...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山縣機械 ＦＴＰ事業部

排ガス処理セット　ES-F1

エッチング中に発生するガスや蒸気を除去

塩化第2鉄エッチング液用活性炭が異臭や酸を吸着する、排ガス処理セット...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

【エージング時間が大幅短縮！】耐プラズマ耐食性YOF保護膜

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、…

イオンアシスト蒸着法によるYOF膜（酸フッ化イットリウム膜）は、ドライエッチング装置部品の保護膜としてパーティクル低減、装置稼働時間を大幅にアップさせるだけでなく、これまで要したエージング時間を大幅に短縮させることができます。半導体不足...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

ガラス基板のケミカルエッチング加工サービス

エッチング液は全て、ノウハウによる社内ブレンド！

当社では、耐HF性能を持つ液体レジストを有する為 ガラスを酸で溶かして、様々な形状に加工可能な ガラス基板のケミカルエッチング加工を行っております。 仕上り面は滑らかで機械加工で発生する「マイクロクラック」等の 欠陥は発生し難く、高い強度が得られま...

メーカー・取り扱い企業： 武蔵野ファインガラス株式会社

半導体産業工程用フィルタ　有機溶剤用金属不純物除去フィルタ

一般的なイオン交換型金属除去膜から半導体アプリケーションに特化した金属…

Iongard SL purifier 　イオン交換型有機溶剤向け金属除去 Nylonpolar Purifier 　Cobetterオリジナルの金属除去膜。表面修飾型ナイロン基膜を使用。酸を発生させないため、Lithography用材料に最適 Iongard Polar Purifier 　極性有機溶剤に有効な金属除去 Cemdeion Purifier 　表面修飾型テフロン...

メーカー・取り扱い企業： 日本コベッタ株式会社

石英ナイトライドバス　　QNシリーズ

ご希望通りのプロセスコントロールをお約束でき、安全・確実・合理的で濃リ…

◆純水コントローラー、石英槽、コンデンサ、確実にシールされた蓋の組合せ等により手動／自動運転時に正確なフローコントロールと安定した定量作動。 ◆コンスタントなボイリングポイント(酸濃度)、次工程への安定性と円滑な供給。 ◆Si3N4エッチ(ナイトライドエッチ)の最も有効、信頼性と安定性に富んだシステム。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒロテック 東京営業所

【半導体・プリント基板水平製造装置】酸処理・ソフトエッチング

好適ノズル設計によりムラの無い処理が可能！液シミやムラ・サビの無い仕上…

株式会社フジ機工の取り扱う、表面処理用の酸処理・ソフトエッチングを ご紹介します。 好適ノズル設計によりムラの無い処理が可能。 また、水洗・乾燥を最適化することにより、液シミやムラ・サビの無い 仕上がりになります。 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジ機工

サファイア製部品　Scube（エスキューブ）

広い透過特性、硬い、化学的に安定、熱に強い、熱伝導が良い サファイア製…

サファイアは、 　・広い透過特性（UV～近赤外(約5μm)） 　・硬い　(ビッカース硬度：1750（a面）) 　・化学的に安定　(酸・アルカリにほとんど不溶、失透しない) 　・熱に強い　(融点：2040℃) 　・熱伝導が良い　(42W/mK, 25℃) 　といった特長があります。 　過酷な環境でも耐える強さと良好な光学特...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信光社