オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

2線式レーダーレベル計 Pulsar『REFLECT』

PR上下水・河川のレベル計測、及び潮位計測に好適。 ※御手頃価格です。

■電波計(マイクロ波式、技適認証番号：209-J00487) ■計測レンジ：8m、20mの2機種 ■周波数：63GHz ■ビーム角度：6° ■外径寸法：135mm(高さ) x 102mm(直径) ■重量(センサ本体)：1kg ■精度：2mm ■起動時間：ウォームブート5秒、コールドブート10秒 ■IOT接続に好適(河川レベル計測等) ■大気圧稼働温度：-40 °C ～ +80 ...

メーカー・取り扱い企業： デレーコ・ジャパン株式会社

油回転真空ポンプPVD シリーズ

到達圧力に優れた真空ポンプとなっており、幅広い用途でご使用いただけます…

PVD シリーズは、信頼性・使いやすさから、長年主力ポンプとして、多くのお客様にご利用いただいている小型油回転真空ポンプです。 2段式回転翼型ポンプで到達圧力に優れた真空ポンプとなっており、幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○ベルト駆動型の小型油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ） ○排気特性が非常に優れている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

超音速フリージェットPVDの開発・製造【導入事例配布中】

薄膜の厚みを調整することができる超音速フリージェットPVDの開発と製造…

芝浦工業大学で薄膜の研究をする湯本淳史准教授。薄膜の厚みを調整することができる超音速フリージェットPVDの開発と製造をアトーテックに発注。希少な装置を使いながら実用化の方向を探る芝浦工業大学湯本准教授にアトーテックの評価をお聞きしました。 【成果】 ■規格品の改良ではなく、一からの開発な為...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

パルスレーザパルス蒸着システム

パルスレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビ...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

導入事例集贈呈。『炭化水素洗浄機の導入効果や問題解決例』を掲載

洗浄でお困りの方必見！モノづくりのプロセスに不可欠な洗浄工程での”品質…

程の不良が大幅に削減 【導入事例の一例】 ▶薄物プレス部品の洗浄：トリクロロエチレン洗浄から代替で洗浄性が大幅に向上 ▶自動車切削部品洗浄：洗浄剤消費量１/２に削減しランニング低減 ▶PVDコーティング前洗浄：シミやコバルト溶出をおさえた洗浄システム。洗浄後、手拭き洗浄なしで高い洗浄性 ▶工作機械部品洗浄：コンタミを99％除去し安定した洗浄をコンパクトなスペースで実現 ▶EV用...

メーカー・取り扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…

【特徴】 ○低温領域で均熱化（LRシリーズ） →PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために 　排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適 ○高温領域で均熱化（HRシリーズ・URシリーズ） →CVD、エッチングなどで発生する昇華性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」

非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。

ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」は、サエスグループが開発した非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。 このポンプは、アプライドマテリアルズ製PVD、アルミニウムスパッターのために開発されました。 このポンプの開発によってチャンバーがベントしてから復帰して操業に戻るまでの時間が大幅に短縮されます。 【特徴】 ○インシトールファー...

メーカー・取り扱い企業： アップ・テック・ジャパン株式会社

*ドライポンプAシリーズ

業界トップクラスの基本性能

消費電力化を実現 •コンパクト設計　設置面積 0.17m2　縦置き・横置き選択可能 •2段積み可能（吸気口向き水平のみ） A103P •ミディアムプロセス向け（エッチャー、イオン注入、PVDなど） •省エネ、省スペース A4シリーズ •マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現 •ヒーター温度制御による、副生成物の堆積物を抑制 •耐腐食用ニッケルコーティング...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社