フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

加熱処理システム『マルチドライヤ』

3,000台以上のロータリードライヤ実績とサーマルデモプラントで貴社の…

『マルチドライヤ』は、11tトラック1台で輸送可能なコンパクトサイズの 加熱処理システムです。 投入・乾燥加熱・排出・集塵・制御を1ユニット化。また、消防・役所の 諸申請不要です。（地域によって申請が必要となる場合があります） 廃石膏加熱リサイクルや脱水ケーキ乾燥などの実績が有ります。 加熱・乾燥テスト等ご相談ください。 【特長】 ＜並流配置＞ ■材料の変動（送り・含水...

メーカー・取り扱い企業： 東和工業株式会社