従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【食品業界向け】ガス活用製品『Bistranzaシリーズ』

大量の食品をー196℃の液化窒素で急速凍結！賞味期限の延長に貢献するガ…

高品質なガスを安定供給し、食品業界の様々な課題に取り組む当社では 液体窒素式凍結装置や、食品ガス包装に関する製品をラインアップした ブランド『Bistranza(ビストランサ)』を展開しております。 【主なラインアップと特長】 ◎液化窒素式トンネル型フリーザー「Bistranza-FZT」 　・大量の食品を－196℃の液化窒素で急速凍結 　・解凍後のドリップが少ない 　・シンプル...

メーカー・取り扱い企業： 大陽日酸株式会社

パーシャルストッカー

パーシャルストッカー

〜シリコンウエーハ表面の自然酸化膜を抑制する窒素置換型ストッカー〜 ◆製品特長◆ ・少量の窒素で確実な窒素置換が可能 ・省エネ対応 ・窒素置換スピードが従来品と比べて速い ・酸素濃度分布の均一化（各室±１０％以内のバラツキ） ・ノンシール工法による有機ガス汚染防止 ・各室独特のパーシャル収納で大気との遮断をはかる...〜シリコンウエーハ表面の自然酸化膜を抑制する窒素置換型ストッカ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン・タクマ

PSA式窒素ガス発生装置　BELLSWING

エア・ウォーター・ベルパールの高性能MSCとシステム化技術で、安価な窒…

PSA式窒素ガス発生装置「BELLSWING」は、高性能MSCとシステム化技術で、安価な窒素ガスを供給します。 エア・ウォーター・ベルパール MSN（Molecular Sieving Carbon）は酸素吸着量および酸素と窒素の吸着速度差が大きく、加圧下において短時間のうちに酸素を優先的に吸着し、空気より窒素ガスを分離できます。また、常圧に戻すことにより吸着した酸素は容易に着脱され、MSCは再...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社