シリコンウエハ | イプロスものづくり

技術情報誌 201909-01 シリカ表面のシラノール基の定量

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

する重要な因子である。本稿では、精度および感度が高く、安定的にシラノール基を定量する手法を紹介する。【目次】１．はじめに２．原理３．シリカ粒子の反応性シラノール基の定量４．シリコンウエハの表面シラノール基の定量５．シラノール基量の加熱による変化６．まとめ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター

PVAスポンジ　※洗浄、吸水、吸液、塗布等２種類のPVAスポンジ

吸水性、洗浄性、清浄度向上、ソフトな風合いの２種類のＰＶＡスポンジをラ…

シリコンウエハやフォトマスク、ＦＰＤ用ガラス基板等で使用実績のあるPVAスポンジと吸水・吸液・洗浄などに使用されるPVAスポンジと特にシリコンウエハやフォトマスク、FPD用ガラス基板等で使用実績のあるPVAスポンジの2種類をラインアップ【ベルイータDシリーズの特長】 ■ウエット状態(含水状態)では、柔軟性、弾力性を持ち、吸水性にも優れる ■気孔径のバリエーションが広く、目的に応じた品番選択が...

メーカー・取り扱い企業：アイオン株式会社

受託加工「SiC＆サファイア」

進化し続けるニーズに対応！一貫加工にて対応いたします。

既存のシリコン加工機で、研削→研磨→RCA洗浄を実現。現状の専用機での加工に比べ高速・低ソリ・高面粗度・大口径対応が可能となり、一貫加工にて対応いたします。半導体の特性や性能に影響するシリコンウエハの研削・研磨技術。高度な精密度を有する技術を開発・改良・更新し、製造しています。【特徴】 ○グラインド研削で加工時間、コスト低減 ○高速・超平滑を得るCMP ○RCA洗浄による高...

メーカー・取り扱い企業：六甲電子株式会社

基礎化学品　高純度過酸化水素

一工場内で工業用過酸化水素から一貫生産

長年の製造実績と優れた品質により、あらゆる化学品分野に利用され、高い信頼性と確固たる実績を築いています。電子、半導体デバイス及びシリコンウエハ製造に用いる高純度過酸化水素は、当社では同一工場内で工業用過酸化水素から一貫生産しています。徹底的な品質管理体制で、信頼性のある高純度製品を安定供給致します。詳しくはカタログをダウンロード、も...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ADEKA

プラズマ処理効果を「色で見える化」！セラミックタイプ

プラズマの処理強度や処理時間に応じて連続的に変色しますので、プラズマ処…

プラズマ処理効果の評価ツールとして、2014年の発売以来、お客様の用途に応じてラインアップを拡充してきた「PLAZMARK(R)」。このたびご要望の多かったウエハプロセス向け製品の第1弾として『PLAZMARK(R) "ウエハ型" セラミックタイプ』が登場！電子デバイスのエッチングやアッシングなど、ウエハプロセスの面内分布等の評価にご利用いただけます。【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サクラクレパス PI事業部

ME-5000　枚葉式スピンエッチャー　

ウエハ300mm、両面処理対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーで…

『ME-5000』は、シリコンウエハ300mm/８.6.4インチ、８.6.4インチSiC及びGaNウエハ対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーです。エッチングチャンバーの上下可動方式で２本のアームによる動きは旋回、上下運...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

高精度高機能低抵抗率計『ロレスターGXII MCP-T710』

カラー液晶タッチパネルにより高性能・簡単操作！4端子4探針法

、データ管理をタッチで実行します。【特長】 ■測定範囲を0.001×10^-4～9,999×10^7Ωまで拡大 ■スタートボタン押すだけで自動的に測定可能 ■シリコンモードによりシリコンウエハの測定も可能 ■印加電流可変機能により電流を流し難い試料にも対応可能 ■電流の極性反転により更に安定な測定が可能 ■PCへの測定結果のリアルタイム出力可能(別売のデータロガーソフト使用)...

メーカー・取り扱い企業：日東精工アナリテック株式会社

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

薄ウエハー厚み測定機『Real BG300』

Y軸とθ軸にてスパイラル軌道による全面の厚み測定も可能な測定機をご紹介

『Real BG300』は、バックグラインド工程後の多機能な厚み計測装置です。高精度なX軸(左右軸)、Y軸(前後軸)とθ軸(回転軸)を有し、XYθ軸にて 2本の中心ライン測定、切断されるチップ間のスクライブライン測定が可能。また、透過式変位センサーを使用している為、バックグラインドフレーム付きウエハ・保護膜付きウエハも測定出来ます。【特長】 ■シリコン透過式変位セン...

メーカー・取り扱い企業：土井精密ラップ株式会社

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　：φ2”～φ4”　厚みについては応相...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

ウエハケース（Wafer Case）

シリコンウエハ、サファイアウエハ、SiCウエハ、ガラス基板など各種基板…

■　商品名：ウエハケース/ウエハ容器/カセットケース/Wafer Case ■　サイズ：2インチ用、2.5インチ用、3インチ用、4インチ用、5インチ用、6インチ用、8インチ用、12インチ用 ■　種類：25枚入り、1枚入り（シングルケース）、洗浄用ケース、その他 ■　受注ロット：50個より（在庫品は10個からOKです）...ウエハケースは意外にコストが掛ります。弊社では2インチから12インチま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社同人産業

【NANA270導入事例】クリーンルームでの見える化と誤投入防止

シリコンウエハの入ったBOXに取り付け工程を表示＋管理！費用対効果が高…

半導体業界にディスプレイタグNFCタイプ『NANA270』を導入した事例をご紹介します。クリーンルームのため紙が使えず、また誤った工程に投入すると、 1BOX分の部材（シリコンウエハ）すべてが破棄となるため困っていました。当製品の導入により、紙が使用できない現場での可視化を実現。誤投入時に警告メッセージ表示と警告音で注意喚起するため、誤投入防止に貢献してい...

メーカー・取り扱い企業：高圧ガス工業株式会社

半導体用ウエハー搬送ケース

半導体技術の基盤であるウエハーを安全かつクリーンに搬送！

B・HWSを中心に、さまざまなバリエーションのウエハーケースを取り揃えております。 FOSBケースは半導体の製造工程及びその前後工程での保管・搬送にご利用頂けます。 HWSケースはシリコンウエハのみならず化合物半導体、石英ガラス、セラミック等の各種ウエハにも対応可能です。その他ダイシングフレーム付きウエハーの搬送や、ウエハー同士が接触しない、リング式HWSウエハー搬送...

メーカー・取り扱い企業：石井産業株式会社

MEMS受託～開発から量産まで一貫対応～

微細加工、機能薄膜、接合封止、ウエハプロセスからパッケージングまで対応

時計生産で培った微細加工をベースに、MEMS・機能薄膜・パッケージング技術を合わせたソリューションを提供できます。医療・半導体・情報通信・航空宇宙などの幅広い分野に貢献しています。アンカー効果で狙った位置に好適な形状で検体を保持する「マイクロプレート」の提供や、超微細加工で液体を制御する検査・創薬用チップ「マイクロ流路」の設計、成形から接合、検査まで一貫対応します。【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業：シチズンファインデバイス株式会社

LF帯 RFIDリーダライタ

LF帯（134.2kHz）は、電磁誘導方式のRFIDです。

家畜･ペットIDや半導体工場などの用途で普及しています。アンテナ内蔵の据置タイプとアンテナ外付けタイプをラインナップしています。ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーさらに詳しい情報は公式サイトに掲載しております。是非、下記リンク先もご覧ください。ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー...特長国際標準規格 ISO/IEC11784 / 11785に準拠 H...

メーカー・取り扱い企業：タカヤ株式会社事業開発本部

SiCウェハー・SiCウエハー（６インチ/８インチ）

絶縁破壊電界強度はシリコンウェハーに対して約10倍！SiCウェハー・S…

『SiCウェハー・SiCウエハー』とは、電子部品を構成する材料であるウェハーの1種です。 SiCとは珪素と炭素の化合物である「炭化珪素」。より高度な半導体デバイスを製造するために生み出された当製品は、一般的なシリコンウェハーよりもはるかに優秀な特性を持っています。また、電子が存在することのできない「バンドギャップ」がシリコンウェハーの約3倍！SiCウェハー・SiCウエハーの価...

メーカー・取り扱い企業：エムシーオー株式会社

エレクトロニクス向け薄膜製品　電子部品

多様なプロセス技術を用いて製作されるエレクトロニクス向け薄膜製品

エクアでは各種ガラス基板やシリコンウエハ上に様々な金属膜による多層パターンを形成した製品をご提供しております。独自の図形データ生成技術、高精度マスク描画装置や半導体用ステッパーの利用、フォトエッチング、リフトオフ、メッキ、サンド...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エクア

ウェハソーター

正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…

当製品は、ローダーキャリアからウエハを取り出し、 シリコンウエハに印字された文字を読み取り、オリフラ位置の位置合わせを行ったうえでアンローダーキャリアへ戻す、自動ソーティング装置です。設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

炭素繊維強化プラスチック(CFRP)用途例【産業用ロポット】

炭素繊維強化プラスチック(CFRP)の特性を活かした産業用ロボット分野…

各部品にCFRPが多く採用されています。当社が取り扱う、炭素繊維強化プラスチック(CFRP)の産業用ロボット分野での製品用途をご紹介します。 ■液晶ガラス基板搬送アーム ■シリコンウエハ搬送アーム ■パラレルリンク/ロボットアーム ■製袋機、フィルム製造ライン ...

メーカー・取り扱い企業： TIPcomposite株式会社

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

シリコンウェハ

2インチ；3インチ；4インチ；5インチ；６インチ；8インチ；１２インチ…

ウェハー (wafer ウェイファ)は、半導体素子製造の材料である。高度に組成を管理した単結晶シリコンのような素材で作られた円柱状のインゴットを、薄くスライスした円盤状の板である。洋菓子のウェハースに由来（英語表記ではいずれもwafer）。ウェハーのほか、ウェーハ、ウエーハ、ウエハー、ウェハ、ウエハなどさまざまに呼ばれる。 ...ウェハーの直径は50mm–300mmまでいくつかあり、この...

メーカー・取り扱い企業： D&X株式会社

抵抗率・厚み測定器【EC-80SCAN】

【面内直線上をスキャン測定可能な、非接触抵抗率/厚さ測定器】 ◆抵抗率・厚さセンサーを搭載し、１度に２種類の測定データ表示可能なので、太陽電池シリコンウエハの測定に最適 ◆抵抗率・厚さ測定は１点測定の他に、面内直線上を測定し、グラフ表示可能な『スキャン測定モード』を搭載 ◆エアーフローティングステージにより、ウエハ取扱いが容易 ◆測定データ...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

特殊炭素製品「半導体製造用　CZ装置」

各種熱処理用パーツの加工などに対応！先端産業向けに広く貢献しております…

半導体製造用「CZ装置」は、ウエハの熱処理用サセプター、ダミーウエハ、各種熱処理用パーツの加工の他、表面処理、純化処理等にも対応し、先端産業向けに広く貢献しております。シリコン単結晶の引上げ用ルツボ、加熱用ヒーターとして高純度グラファイトが使用されています。【種類】 ○ヒーター（光ファイバー用） ○ルツボ ○サセプター ○ダミーウエハ ○熱処理用治具　ほか ...

メーカー・取り扱い企業：穴織カーボン株式会社

ASMPT社製フリップチップボンダー　 Novaplus

Nova plusは､高速にダイをウエハ/サブストレート/ダイへのボン…

”Nova plus ”は、同社の特許であるアライメント技術を用いて、高速に個片化されたダイをウエハ/サブストレート/ダイへ、ボンディングを可能にした装置です。また、デュアルボンドヘッドを搭載しております。【特徴】・アライメント精度：±2.5μm＠3σ ・アライメント技術（特許）・ボンディング時の接合方法・デュアルボンドヘッド搭載・光通信関係やシリコンフォトニ...

メーカー・取り扱い企業：兼松ＰＷＳ株式会社

【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など厚さ数nm以下の極薄膜について、XPS分析によって膜厚を算出した事例をご紹介します。Siウエハ最表面のSi2pスペクトルを測定し、得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程から膜厚を見積もることが可能です（式１）。 XPSでは非破壊かつ簡便に、広域の平均情報として基板上の薄膜厚みを算出す...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

《新型》セミオートUDSスピン枚葉装置

RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど！各種プロセ…

当装置は、薬液の完全分離・再利用を達成し、薬液処理⇒リンス⇒乾燥のフルプロセスをワンスピン処理可能なマニュアルSpin枚葉処理装置です。フットプリントやコストの大幅な削減ができ、《特許取得成立済み》丸形状の基板は勿論、角形状基板にも対応可能。「RCA」は勿論、「現像」「エッチング」「洗浄」「剥離」「リフトオフ」と言った各種プロセス処理に対応実績多数です。【特長】...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

ウエハリング供給対応高速ハンドラー装置『BITA-2KWD』

極薄部品、微細部品に配慮した吸着・収納！単純なシート剥離の為、部品にダ…

『BITA-2KWD』は、ウエハリング供給の部品をダメージレスで吸着・移載する高速のハンドラー装置です。 UV硬化と加温によりシート粘着力を低下させたうえで剣山形状の針の先端で部品を支持しながらシートをエクスパンド、さらに下方へ真空吸引することでシート粘着力を極小化。シリコンチップなど、ダイシングシート貼付状態で供給される部品を KNE製ロータリーヘッドによる高速ピック...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社

株式会社斎藤精機　太陽電池ウェハー剥離装置

人が剥離を行い5％だった割れを、3％以内に改善しました。

近年、エコロジーブームとして太陽光発電が「公的支援制度」などもあり飛躍的に生産数が増加しています。ですが、生産方式が各社確立していない点もあり、自動化に未着手の工程が多々あります。株式会社斎藤精機は、その中でどうしても、人手に頼らなければならない工程の自動化に成功しました。シリコン切断後、張り付いたウエハの1枚ずつの剥離工程です。剥離後、洗浄、PVD処理を行い太陽電池のセルとして完成します。切断後...

メーカー・取り扱い企業：株式会社斎藤精機

三安半導体(Sanan)： SiCパワー半導体製品

中国のSiC(シリコンカーバイド)とGaN(ガリウムナイトライド）のパ…

湖南三安半導体有限責任公司（Hunan Sanan Semiconductor Co.,Ltd.）は中国湖南省　長沙市に本社を置く、SiC(シリコンカーバイド)とGaN(ガリウムナイトライド）のパワー半導体製造会社です。 LEDチップの開発・製造において世界シェアトップ企業である三安光電(Sanan Optoelectronics）グループに属し、通信・車載・産業向けのパワー半導体、中でも...

メーカー・取り扱い企業：岡谷鋼機株式会社名古屋本店

抵抗率／シート抵抗測定器【CRESBOX】

ション：オートステージシャッター） ●ユーザーフレンドリー性の高いパソコン+専用ソフトウェアでの操作システム ●測定パターンプログラマブルのため、円型・角型測定可能 ●セルフテスト機能、シリコンウエハ測定用厚さ・周辺位置・温度補正機能 ●シート抵抗・メタル膜厚表示可能 ●円型：最大1,225点、角型：最大1,000点の2-Ｄ/3-Ｄマッピングソフトウェア（オプション） ●対象ウエ...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社