シリコンウエハ | イプロスものづくり

シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でのウエハホルダーとし…

シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でウエハホルダーとして使用するキャリアを各種金属(SUS、SK)、樹脂で製作可能です。【特徴】 ■各種金属(SUS、SK)、樹脂で製作可能 ■ワークホルダー内側にキズ防止　・ワークホルダー内側にキズ防止の為に樹脂インジェクション成型します。 ■より品質の高い製品を提供　・長年の経験に基づいた仕様提案、お客様のニーズに合った製品を提案し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

MB-2000 太陽電池用シリコンウエハセパレーター

2枚重ねが出ない構造になっています！

粗洗浄後の積み重なった、140μm～200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ…

段積みされている太陽電池ウエハを１枚ずつ、高速にて損傷させることなく送り出し、供給します。　積層された太陽電池の上部に設けられた当社開発の非接触搬送装置「フロートチャックSK型」（特許）より空気を噴出させることにより最上部の太陽電池ウエハとの空間に負圧を発生させ、最上部の太陽電池ウエハを吸引浮上させる。　浮上した太陽電池ウエハは、「フロートチャックＳＫ型」と同調した移送機構により１枚ずつ前方に...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

GNCパターンウエハサービス等受託加工サービスのご紹介

基板の手配、マスク設計からの一貫生産の対応が可能！グローバルネット株式…

グローバルネット株式会社では、GNCの加工ファンドリーをはじめ、 GNCパターンウエハサービス等を提供しています。 シリコンウエハ、ガラスなどを主に、お客様のニーズに応じた加工サービスを提供。基板の手配、マスク設計からの一貫生産の対応が可能です。【事業概要】 ■GNCの加工ファンドリー・成膜ファ...

メーカー・取り扱い企業：グローバルネット株式会社

キャリア『シリコンキャリア』

高平坦度・高位置精度のキャリア

『シリコンキャリア』は、半導体製造装置を改造せずに、小口径ウエハや異形ウエハ等を搭載して搬送、そのまま大気中、または真空中でのプロセスを可能とする高精度キャリアです。２～１２インチシリコンウェハを、お客様の基板が搭載可能な様に加工（研削・研磨）、組み立てを致します。また、シリコン以外に石英・金属・セラミック等各種材料にも対応可能です。ご要望の際は、お気軽にご相談下さ...

メーカー・取り扱い企業： Carrier Integration株式会社

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。低粘度～高粘度レジス…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置

太陽電池ソーラーウエハ、シリコン太陽電池、アモルファス太陽電池、薄膜太陽電池セルを気体を空気を噴出することにより、太陽電池ソーラーセルを非接触にて搬送する。　ノズルより噴出する高速空気流が直接ソーラーセルに衝突しないようなノズルを装着し、高速の噴出空気流により薄い、脆いソーラーセルの破損、損傷を防いぐ機構になっております。　また「太陽電池ウエハ非接触搬送装置」　　は使用空気量が少なく、...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

ッチ式プラズマアッシング装置です。ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…

に貢献　・縦型式(VTCシリーズ)は、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ■カスタマイズ対応可能 ■世界トップクラスの納入実績(400台以上) 　・国内外半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの　　納入実績(400台以上)あり ■豊富な関連装置の取り扱い経験　・石英ボート洗浄装置、石英パーツ洗浄装置、石英保管庫、石英搬送台車等の関連装置の　　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

ウェハーサービス

用途に合わせてウエハをカスタマイズ！フルラインアップのサイズでご要望に…

。フルラインアップのサイズでご要望にお応えしております。石英ウエハ、GaAsウエハ、Geウエハも扱っております。ご用命の際はお問い合わせください。【概要(抜粋)】 ■シリコンウエハ ・2インチ～12インチまでのダミーウエハ、テストウエハなど ■各種成膜加工サービス・熱酸化膜、TEOS、ポリシリコン、TiN、TaN、BPSGなど ■レジストパターニング加工、Cu...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒューズテクノネット

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ウェハソーター

正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…

当製品は、ローダーキャリアからウエハを取り出し、 シリコンウエハに印字された文字を読み取り、オリフラ位置の位置合わせを行ったうえでアンローダーキャリアへ戻す、自動ソーティング装置です。設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

シリコンウェハ

2インチ；3インチ；4インチ；5インチ；６インチ；8インチ；１２インチ…

ウェハー (wafer ウェイファ)は、半導体素子製造の材料である。高度に組成を管理した単結晶シリコンのような素材で作られた円柱状のインゴットを、薄くスライスした円盤状の板である。洋菓子のウェハースに由来（英語表記ではいずれもwafer）。ウェハーのほか、ウェーハ、ウエーハ、ウエハー、ウェハ、ウエハなどさまざまに呼ばれる。 ...ウェハーの直径は50mm–300mmまでいくつかあり、この...

メーカー・取り扱い企業： D&X株式会社

抵抗率・厚み測定器【EC-80SCAN】

【面内直線上をスキャン測定可能な、非接触抵抗率/厚さ測定器】 ◆抵抗率・厚さセンサーを搭載し、１度に２種類の測定データ表示可能なので、太陽電池シリコンウエハの測定に最適 ◆抵抗率・厚さ測定は１点測定の他に、面内直線上を測定し、グラフ表示可能な『スキャン測定モード』を搭載 ◆エアーフローティングステージにより、ウエハ取扱いが容易 ◆測定データ...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

ASMPT社製フリップチップボンダー　 Novaplus

Nova plusは､高速にダイをウエハ/サブストレート/ダイへのボン…

”Nova plus ”は、同社の特許であるアライメント技術を用いて、高速に個片化されたダイをウエハ/サブストレート/ダイへ、ボンディングを可能にした装置です。また、デュアルボンドヘッドを搭載しております。【特徴】・アライメント精度：±2.5μm＠3σ ・アライメント技術（特許）・ボンディング時の接合方法・デュアルボンドヘッド搭載・光通信関係やシリコンフォトニ...

メーカー・取り扱い企業：兼松ＰＷＳ株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【CRESBOX】

ション：オートステージシャッター） ●ユーザーフレンドリー性の高いパソコン+専用ソフトウェアでの操作システム ●測定パターンプログラマブルのため、円型・角型測定可能 ●セルフテスト機能、シリコンウエハ測定用厚さ・周辺位置・温度補正機能 ●シート抵抗・メタル膜厚表示可能 ●円型：最大1,225点、角型：最大1,000点の2-Ｄ/3-Ｄマッピングソフトウェア（オプション） ●対象ウエ...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。１つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

IPA 蒸気洗浄装置

デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず、高純度のIPA…

特徴 ●材質や形状を問わず、高純度IPA を用いたクリーン乾燥が可能です。 ●実績が示す万全の安全対策 ●オールステンレスにより破損の危険性を排除 ●べーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出しIPA を削減 ●お客様のワークに応じた仕様変更も可能です。...装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥乾燥対象：６インチ　１カセット相当　　　　　シリコン、ガラス、部品等槽構成...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

リアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニター

半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…

当温度モニターは、今までに解決できなかった放射率に対する問題とシリコンウエハのプロセス中の測温に対する問題を一挙に解決できる、次世代の非接触半導体プロセス温度モニターです。　ウエハの放射率もリアルタイムにモニタリング。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイ・アール・システム

卓上型ＵＶ照射装置　MUV

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置【特徴】 ○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板（試料）にUV照射を行い　表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能 ○基板（試料）ホルダーの上下、または取替えが容易なため　厚みのある基板（試料)を処...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

ＰＮ判定器【PN-12α】

【広範囲な抵抗レンジで測定可能な接触型PN判定器】 ◆判定方式：熱起電力方式（ホット＆コールドプローブ） ◆ペン型のプローブを当てるだけで判定が可能 ◆ほとんどの試料（シリコンウエハ、バルク、インゴット）に対応（表面が酸化している試料は判定不可能） ◆温度計、アナログメーターを標準装備 ◆自動ウエハ搬送装置に組込使用が可能（PN-12β） ●対象ウエハサイズ...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

公転式スピンドライヤー

安全でクリーンな乾燥を実現！スピンドライヤー

実現 ●弊社独自のバランシングテクノロジーが静かな回転性能を実現 ●イオナイザー、ＵＬＰＡフィルターを標準装備 ●オプションとして、自動バランス修正機構・ウエハ割れ検出装置を御用意 ●シリコンウエハ以外のスピンドライヤーも対応可能です。ご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社営業本部営業課

卓上AFM

電磁スキャナー式（特許取得済み）ダメージレスで非破壊で測定可能 …

初心者でも正確な測定が可能です！サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます！ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。【製品特徴】　・奥行幅、共に１５cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能　・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績　・低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します　・スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用す...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【NC-10】

接触の渦電流法なのでダメージを与えることなく測定が可能 ◆測定レンジにより、MiddleとHighの組み合わせセンサー交換式（オプションでLowセンサーもお選び頂けます） ◆温度補正機能（シリコンウエハ） ●対象ウエハサイズ：3インチ〜8インチ、または〜140mm角（オプション：2インチまたは12インチ対応、140mm以上の角型基板）（※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　：φ2”～φ4”　厚みについては応相...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

アモルファス太陽電池搬送装置

空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。アモルファス太陽電池・　偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層したシートを１枚ずつ送り出し、...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

小型研磨機　TR06M

コンパクトなため、設置場所を選ばずAC100Vのみで動作します。

小型研磨機　TR06Mは、「試料研磨用に簡易的な装置がほしい」「設置場所が限られているため、小型の装置がほしい」とのご要望から開発いたしました。装置本体サイズ350mm×220mmとコンパクトなため、設置場所を選ばずAC100Vのみで動作します。金属部品・ガラス・ウエハなどの加工ができ、研磨プレートを交換することでラッピングのみならず、ポリッシングや簡易的なCMPにも使用できます。研磨方法も、スラ...

メーカー・取り扱い企業：テクノライズ株式会社

レンタル専用スピンコーター（卓上タイプ）

業界初！レンタル専用スピンコーター簡易インナーカップ方式小型・…

業界初！レンタル専用スピンコーター受託加工（成膜・塗工）も対応可能対応基板サイズ（MAX）：250mm□・300mmウエハ対象ワーク：ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム貸出期間：15日間～1年間以上テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり小型・卓上タイプ ...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社