• 〈5/24接着粘着技術展2024出展〉ホットメルトロールコーター 製品画像

    〈5/24接着粘着技術展2024出展〉ホットメルトロールコーター

    PRファストラボ室にて最大塗布幅1000mm対応のテスト機で試作可能!

    長年の光ディスク(DVD)接着で培ったノウハウを取り入れたホットメルト用ロールコーターです。 光ディスクでは10μ±0.5μの精度で塗布を行っています。 塗布幅は標準として1600mmまで可能です。(仕様による) ファストラボ室にて最大塗布幅1000mm対応のテスト機で試作可能です。 少量塗布から多量塗布まで、塗布基材に応じた多様な塗布が出来ます。 仕様はお客様の希望に応じて...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ファスト

  • 省スペース型「スピン洗浄装置(多目的洗浄タイプ)」 製品画像

    省スペース型「スピン洗浄装置(多目的洗浄タイプ)」

    1チャンバー型多目的スクラブ洗浄。1チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

    各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを1チャンバーで行う枚葉装置です。 1つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ:シリコン、石英、酸化物、...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクニカルフィット

  • クリーニングペーパー、研磨パッド/フィルム、クリーニングローラー 製品画像

    クリーニングペーパー、研磨パッド/フィルム、クリーニングローラー

    FPD業界や半導体向けの研磨パッド、研磨フィルム、クリーニングローラー…

    FPD業界、半導体業界をはじめとしてLCDガラス、ガラス基板、セラミック、シリコンウエハ、ハードディスクなどの研磨、艶出し、異物除去、フィニッシングのための製品を提供しています。 ペーパー、フィルム、パッド、ホイール、ローラーなど目的にあわせた形状での提供が可能です。...

    メーカー・取り扱い企業: 大韓貿易投資振興公社(KOTRA)

  • MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター) 製品画像

    MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター)

    BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能!高温ベ…

    当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク(MAX400℃)、低温ベーク(MAX200℃)、クーリング機能を搭載。 低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。 レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能! その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド(PI)、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます! シリコン...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」 製品画像

    シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

    1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置!洗浄方法の…

    各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を1つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇ シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇ Si(シリコン)、LT(リチウムタンタレート)やSiC(炭化ケイ素)他、   各種ウェハに対応 ◇ 異物(有機物・無機物)の除去、金属イオンの除去 ◇ 洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクニカルフィット

  • 薄膜形成 製品画像

    薄膜形成

    薄膜形成

    薄膜形成技術は、物理的気相法(PVD)・化学的気相法(CVD)・液相法で分ける事ができます。 弊社で対応可能な薄膜形成技術は、ガラス、シリコンウエハ、セラミックス、 フィルム等の素材に気相成長法の抵抗加熱・EB蒸着・スパッタリング・ イオンプレーティングです。 液相成長法では、電解メッキ・無電解メッキ・ゾルゲル法を用いた加工対応がで...

    メーカー・取り扱い企業: 豊和産業株式会社

  • マイクロツール『ハードメタルツール』 製品画像

    マイクロツール『ハードメタルツール』

    切削・マーキングに最適

    対象物を突付く・押し退ける・擦る・切削する・こそぐ・切る等、大変多用途に使用可能なハードメタル製のプローブです。 5μmのプローブは、金属・シリコンウエハ・硝子の様な硬質材料の微小エリア切削や、FIB加工前のターゲット用マーキングが実現できます。 マイクロピーラーは、先端が彫刻ノミ形状になっておりますので、高分子材料表面の平面切削や、微小埋没...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部

  • 導電性セラミック 製品画像

    導電性セラミック

    静電気対策、帯電防止など大気環境から真空環境まで実績があります

    性セラミックを取り扱っております。 アルミナを主成分として静電気対策用から金属並みの伝導性があるものなど バリエーションがあり、使用用途として、チャンバー内の静電気対策や、 帯電したシリコンウエハを搬送するロボットハンドなどがあります。 その他、窒化アルミや、設備の移転からチャンバー部品までお客様の ニーズに合わせて改造も可能な半導体装置部品にも対応。 ご要望の際はお気軽にお...

    メーカー・取り扱い企業: JTCK株式会社

  • 半導体製造装置用アーム 厳しいキズ管理のできるサプライヤー 製品画像

    半導体製造装置用アーム 厳しいキズ管理のできるサプライヤー

    シリコンウエハを搬送する際に使用するロボットに使われる部品です。クリー…

    横型マシニングセンターを駆使した高精度アルミ切削加工の量産を得意としています。 加工工程にCNC測定を組み込み高精度を確保しながら、最高3万回転の主軸による高速切削と合わせ、作業者の多台持ちや昼夜連続運転など全てにおいて効率化を図り、他の追随を許さないコストパフォーマンスが実現できます。...▼取扱製品 産業用機械部品/工作機械部品/半導体装置部品/電子部品製造装置部品/医療用機器部品/環境関...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイパーウェブ

  • ワイヤーソー用ウレタン樹脂ローラー及び溝入れ加工 製品画像

    ワイヤーソー用ウレタン樹脂ローラー及び溝入れ加工

    ライフがグンと伸びる!耐摩耗性ウレタン樹脂ローラー

    従来のの製品に比べて、弊社のウレタン樹脂は、特殊な弾性体を有しており、樹脂の寿命が従来他社の製品に比べて約2〜4倍と大きく伸び、溝形状に関してはP=0.3など極小のピッチにも対応しております。必ず満足の行く結果をお出し致します是非ご検討ください。...主にシリコンインゴットのウエハ加工に使用するワイヤーソーの部材です。メインローラーのみではなく、各テンションプーリー、溝入れ加工に至るまで、一貫して...

    メーカー・取り扱い企業: 有限会社オータスジャパン 営業部

  • 厚さ測定機 (TME-11型) 製品画像

    厚さ測定機 (TME-11型)

    本機械はφ8”シリコン製ウエハの厚さ測定を行う装置です

    Siウェーハの厚さ及びSi段差部の各種測定を非接触、自動測定を行う装置です。...・前機種TME-06型より、操作性と機構等改善を行いました。 機構はシンプル化を行い、操作性はオペレータの利便性を優先項目として改善を行いました。 ・3種類のセンサを設けて多種多様な測定が可能になりました。 ・SECS通信、HSMS通信によるHOST通信に対応しています。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム

  • 自動フォトレジスト塗布・現像装置(コーター・デベロッパー) 製品画像

    自動フォトレジスト塗布・現像装置(コーター・デベロッパー)

    低粘度~高粘度レジスト対応!小口径~大口径まで、どのウェハサイズの装置…

    【特長】 ■低価格を実現 ■低~高粘度(1.7cP~10000cP)まで対応 ■2~12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能(例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減(省スペース化) ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ 【ASAPのコーター・デベロッパ...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 非接触ウエハソーティングシステム【NC-3000R】 製品画像

    非接触ウエハソーティングシステム【NC-3000R】

    非接触ウエハソーティングシステム【NC-3000R】

    【ロボット搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆シリコンウエハの抵抗・厚さ・P/Nタイプを非接触センサーで測定 ◆標準カセット数:7(ローダー/アンローダー合計、各カセット数は任意に設定可能) ●対象ウエハサイズ:12インチ(または、6インチ&8...

    メーカー・取り扱い企業: ナプソン株式会社

  • 角基板対応自動レジスト塗布・現像装置(コーター・デベロッパー) 製品画像

    角基板対応自動レジスト塗布・現像装置(コーター・デベロッパー)

    低粘度~高粘度レジスト対応!どのウェハサイズの装置も作製可能です!

    当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました! ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • ウエハ洗浄装置「両面スクラブ洗浄装置(研究開発用)」 製品画像

    ウエハ洗浄装置「両面スクラブ洗浄装置(研究開発用)」

    ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

    ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ : シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径  :φ2”~φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクニカルフィット

  • ウエハ洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置(研究開発用)」 製品画像

    ウエハ洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置(研究開発用)」

    ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

    ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ : シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径  :φ2”~φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクニカルフィット

  • ASMPT社製 超高精度フリップチップボンダー『NANO』 製品画像

    ASMPT社製 超高精度フリップチップボンダー『NANO』

    ±0.3μm@3σと超高精度にダイをウエハ/ダイ/サブストレートにボン…

    ”NANO”は、同社の特許であるアライメント技術を用いて、 超高精度に個片化されたチップをウエハ/サブストレート/チップへ、 ボンディングを可能にした装置です。 また、ボンディング時のレーザー照射方法に特徴を持ち、 ボンディング時の振動を抑制した機構を搭載しております。 【特徴】 ・アライメント精度:±0.3µ@3σ ・アライメント技術(特許) ・ボンディング時の接合方法 ・...

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    メーカー・取り扱い企業: 兼松PWS株式会社

  • ASMPT社製フリップチップボンダー/ダイボンダーAFCPlus 製品画像

    ASMPT社製フリップチップボンダー/ダイボンダーAFCPlus

    AFC Plusは、高精度にダイをウエハ/サブストレート/ダイにボンデ…

    ”AFC Plus”は、同社の特許であるアライメント技術を用いて、 高精度に個片化されたダイをウエハ/サブストレート/ダイへ、 ボンディングを可能にした装置です。 【特徴】 ・アライメント精度:±1µm @ 3s ・アライメント技術(特許) ・ボンディング時の接合方法 ・光通信関係やシリコンフォトニクス関連での豊富な導入実績 ・MEMSセンサー、LiDAR、VCSEL etc ...

    メーカー・取り扱い企業: 兼松PWS株式会社

  • PN判定器 【PN-50α】  製品画像

    PN判定器 【PN-50α】

    PN判定器 【PN-50α】

    【センサーに近づけるだけで瞬時に判定可能な非接触PN判定器】 ◆判定方式:光パルス照射による光起電力方式 ◆非接触方式のため、シリコンウエハにダメージを与えません ◆表面に酸化膜のあるウエハも判定可能 ◆光パルス照射のため、瞬時に判定可能 ◆PN判定可能な抵抗率範囲:0.1〜1,000Ω/cm     (ただし、ウエハの表...

    メーカー・取り扱い企業: ナプソン株式会社

  • PN判定器 【PN-1S】  製品画像

    PN判定器 【PN-1S】

    PN判定器 【PN-1S】

    【スピーディーな測定が可能な接触型PN判定器】 ◆判定方式:整流電力方式 ◆ほとんどの試料(シリコンウエハ、バルク、インゴット)に対応 (表面が酸化している試料は判定不可能) ◆測定ステージに載せ、0.2mmの細い2本の探針部に軽く接触させるだけで、瞬時に測定が可能 ◆自動ウエハ搬送装置に組...

    メーカー・取り扱い企業: ナプソン株式会社

  • 小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置 製品画像

    小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置

    ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置!独自機構の表…

    ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ : シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径  :φ2”~φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクニカルフィット

  • ウエハー洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置(量産型)」 製品画像

    ウエハー洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置(量産型)」

    ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

    ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ : シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径  :φ2”~φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクニカルフィット

  • 抵抗率/シート抵抗測定器【WS-8800】 製品画像

    抵抗率/シート抵抗測定器【WS-8800】

    抵抗率/シート抵抗測定器【WS-8800】

    【4探針測定器にロボットとアライメントユニットを搭載した全自動システム】 ◆厚さ測定、P/N判定、温度測定に対応可能(シリコンウエハ) ◆セルフテスト機能、校正機能、広範囲測定レンジ ◆厚さ・周辺位置・温度補正機能(抵抗率測定時) ◆シート抵抗・膜厚表示が可能(メタル膜測定時) ◆カセット数はご要望により、いくつで...

    メーカー・取り扱い企業: ナプソン株式会社

  • 半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater 製品画像

    半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater

    低~高粘度レジスト対応!どのウェハサイズの半自動機(セミオート)も作製…

    当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために半自動(セミオート機)の製作を低価格で実現しました! ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • R&Dや少量生産に最適!手動レジスト塗布装置(スピンコーター) 製品画像

    R&Dや少量生産に最適!手動レジスト塗布装置(スピンコーター)

    研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置!卓上タイプとは違う自動機と同…

    当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、装置の低価格を実現しました♪ 自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために最適な手動機(マニュアル)装置です。 卓上タイプとは違い、自動機と同等のレジスト塗布が可能なので、自動機へ移行した際もプロセスの条件出し...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

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