【解説資料】今さら聞けないパッキン・ガスケット・Oリングの違い

PRパッキン・ガスケット・Oリングの違いと、ステンレス容器の密閉に欠かせな…

ステンレス容器を使用する場合、使用目的により容器に対して様々な要求があります。 容器を密閉したり、容器から製造機器へ配管する際にシール部品が活躍しています。 ここでは弊社のステンレス容器で多く使用している様々なシール部品と、その中でもパッキンについて解説いたします。 ただし、ここに書かれているのは一般的に知られているものの紹介になります。 シール部品は材料や用途により、これ以外にも多く...

メーカー・取り扱い企業： MONOVATE(旧：日東金属工業)株式会社 八潮工場

新発売！低流量の配管の通水をひと目で確認「フローモニター小口径」

PR成形機周辺の配管に！狭いピッチにも対応、レンズ部分のみの交換が可能でコ…

『FMC-25-1F/FMC-25-2F』は、レンズ交換タイプのフローモニターです。 従来品「FMC-30-3F/FMC-30-4F」の小口径タイプが新登場！ 従来のフローモニターよりさらに低流量（0.6～6L/min）な配管に対応しています。 2色の羽根の回転で流体の流れを目視で確認でき、低流量時の流れがより見やすくなりました。 金型の小型化に伴う、狭いピッチにも取付可能です。 従来品同様、配...

メーカー・取り扱い企業： 日東工器株式会社

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

特長 ・高速応答性 ─ 設定値入力後2秒未満で流量安定 ・エラストマー（ゴム）シール ・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ・10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-7...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

R＆D用スパッタ装置『QAMシリーズ』※ユーザーボイス進呈中

「サンプル作業時間が1/3になった！」。コンパクト設計で自動化も推進。…

Long Throw Sputter ・UHV対応（QAM-4のみ） ベーカブル対応の各機器を使用することで成膜室の到達圧力を1×10-6Pa（※2）以下に対応可能。 注）※2：Oリングシール構造を採用し、従来のメタルシールにより格段にメンテナンス性を向上 ※詳しくは資料をダウンロードしてご覧ください。製品に関するお問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』

初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能！研究ステージに合せてグレー…

入コストを抑え、後の拡張で高性能化が可能 ■基本仕様でアルゴン用MFCを備えており、ガス流量を精密に制御 ■成膜方向は試料へのゴミ付着を防止するためにデポアップを採用 ■卓上タイプながら真空シール性の高いSUSチャンバを採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ

Aera Transformer　デジタルマスフローコントローラ

コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

特長 ・マルチガス・マルチレンジ ・高速応答性 ・100％メタルシール・高純度設計 ・フィールドでプログラム可能 ＊ ・再校正をしなくても様々なガス選択が可能 ＊ ・DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応 ・多彩な警告・診断機能 ・RoHS適合...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

【マグネトロンスパッタリングカソード】

不純物なく金属・絶縁物等を堆積するRF, DC, パルスDC対応高効率…

ーブ接続 ■ケース材質：SUS304 ■ターゲットクランプ材質：Al, or SUS304 ■ベローズ（*Flexi-headタイプ）材質：SUS316 ■絶縁材：PEEK/PTFE ■シール材：Viton ■高強度マグネットパック：NiFe 【モデル】 ・MAG-BP（ベースポートマウント ・MAG-250T-FXH（Φ3/4" x 250mmパイプ、フレキシブル傾斜ヘッ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

Aera FC-DR980　デジタルマスフローコントローラ

優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MF…

ンジの選択可能　＊ ・アナログ、アナログ/デジタル、デジタルのモード選択 ・ピエゾ制御バルブ ・各種のアラーム/診断機能 ・各種のアラーム/診断機能 ・1x10-10 の気密度を保つ金属シール ・電解研磨、UHP処理済み接ガス面 ＊ マルチガス・マルチレンジ仕様モデルにより対応。...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

み、マルチガス・マルチレンジにも対応 ・フィールドでのプログラムが可能 ・DeviceNet、RS-485、アナログコントロール ・ディスプレイ搭載 ・自己診断機能内蔵 ・100％メタルシール、高純度仕様...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

中空直進導入機

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

中空構造のため、可能フランジに駆動させたものを任意に取り付けが可能 シール部に溶接ベローズを採用し、高真空の領域で使用可能 ベーキング温度120℃(最大150℃まで)対応...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

XYテーブル

磁気結合式直進回転導入機（MFL）を取り付ける際の軸差および角度調整に…

ベローズ式シール機構 コンフラットフランジをラインナップ XY方向調整のみでなく、角度調整機構付きもラインナップ ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

Aera FC-R7800シリーズ　マスフローコントローラ

高精度・信頼性のメタルシールモデル

FC-R7800シリーズは、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。 業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため、利便性があり、既存のマスフローコントローラ（MFC）...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社