フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

サンプル進呈中｜世界トップレベルの保温性能ネオマパイプカバー

PR【サンプル進呈中】世界トップレベルの断熱性で工場の省エネ対策に｜ネオマ…

　　　先着20名様限定！ ネオマパイプカバーサンプルを進呈。 　　　　　　↓ 下記「お問い合わせ」より 　★「サンプル希望」の文言 　★ご使用の用途（可能な範囲でOK） 上記２点を記載の上、ご連絡ください。 高断熱住宅で使用されているトップブランド断熱材「ネオマフォーム」を工場設備の省エネにも生かしてみませんか？ ネオマパイプカバーは工場設備配管の省エネ、メンテナンス性向上などに貢献しています...

メーカー・取り扱い企業： 旭化成建材株式会社 本社

高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』　

In-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応！独FHR社製高速…

な成膜が可能。 従来のサーマルALD方式に較べ高速で成膜できるためデバイスの量産に 使用が可能でIn-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応する 設計となっていますのでより精度の高いプロセスコントロールができます。 クラスター対応設計により必要に応じて搬送チャンバー、ロードロック、 その他プロセスチャンバーをインテグレーションができ、この設備の 他小口径ウェハ対応の設備も用...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

昇華精製装置『DSUシリーズ』

0.1kgの少量精製から10kgまでの量産精製に対応。省スペースで設置…

『DSUシリーズ』は、長年に渡り蓄積されたプロセスデータから開発された “QUANTIpure Technology”を基にした高純度有機材料の精製装置です。 独自の精製システムにより、収率と純度の両立を実現しています。 0.1kgの少量精製は...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社