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83件 - メーカー・取り扱い企業
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21件 - カタログ
143件
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PR低コストで高性能！画像の安定性を維持しながら高速なステップと整定を実現…
『DOF-5』は、光学イメージングアプリケーション向けに最適化された 低コストで高性能なナノポジショニングステージです。 移動量（5mm）と帯域幅（225Hz以上）が大きく、画像の安定性を維持しながら 高速なステップと整定を実現。 また、ボリュームディスカウントが利用可能です。 【特長】 ■高価な顕微鏡用ピエゾステージの代替品として登場 ■ボリュームディスカウントが利用可...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社キーストンインターナショナル
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PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…
attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー
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フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製…
当社が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および 真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。 フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、 ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。 【大気用システムの特徴】 リニア...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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長距離（150mm）を細かく位置決め可能！『精密位置決め装置（分解能：…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。 長ストローク（150mm）を細かく（10nm単位※）位置決め可能。 ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を作るのに適しています。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ 総合カタログ』です。 豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」 顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」 対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」 アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」 超精密切削におけるナノ・マイク...
メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社
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10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式：FC-511 接続対象ステージ：FS-10...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】ロングストロークで高分解能・高い位置決め再現性・位…
光学式リニアスケールを搭載して検出誤差を少なくした高分解能ロングストローク位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 200mm 』『 300mm 』『 400mm』となっております。 自社開発リニアスケールと自...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分…
光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』ま...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】『0.00005°』又は『0.0001°』のフィー…
光学式エンコーダを内蔵したストローク『±4°』の微少回転用位置決めステージです。 最小ステップ送り『0.00005°』(*1)又は『0.0001°』(*2)でフィードバック制御が可能となっております。 自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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70mm～3000mmまでのストローク長！ベルトドライブ高速ステージ
『X-BLQ-Eシリーズ』は、最大2m/sの高速タイプの 精密電動リニアステージです。 エンコーダ内蔵によるスリップ/ストールからの 自動回復、位置フィードバックが可能。 また、繰り返し位置決め精度は＜10μm、 最高分解能が4.21875μmの製品となっております。 【特長】 ■70mm～3000mmまでのストローク長 ■最大2m/sの高速タイプ ■エンコーダ内蔵に...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111
100nm分解能で位置決め！リニアエンコーダによる位置フィードバックで…
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)
【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバー内で使用可能です。 リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 ...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、 リニアエンコーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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コントローラ・ドライバー内蔵！高速・高精度搬送などの用途に好適
『X-LDM-AEシリーズ』は、高精度アナログリニアエンコーダを 内蔵した精密電動リニアステージです。 ストローク長が60、110、210mmとなっており、位置決め分解能は＜s1nm。 また、最大中心荷重は120N（約12Kg）で、最小移動単位、 繰り返し精度が25nm＜0.08μmの製品となっております。 【特長】 ■位置決め精度：＜1μm ■最高速度：1200mm/s...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
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電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ ～ …
超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。 スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 【特長】 ○超薄型構造・低重心 ⇒３軸...
メーカー・取り扱い企業： ヒーハイスト株式会社 本社・埼玉工場
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高速応答性と超高分解能。微小領域の高精度位置決めを実現します。※詳細な…
圧電アクチュエータと変位センサの優れた特性を生かし微小領域の高精度位置決めを実現するNS1000シリーズ。 【特長】 ■ストローク30μm以下のステージで構成 ■圧電素子の微小な変位をダイレクトにテーブルに伝える構造 ■高分解能や高速応答 ⇒微小領域の超高精度位置決めに適しています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...※詳細なテクニカルデータ付きカタロ...
メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：20mm テーブルサイズ：□60mm 内蔵スケール：ク...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』または『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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