分光エリプソメータ | イプロスものづくり

多層膜など多くのパラメーターが一度に解析！小型・高速分光エリプソメータ

分光エリプソメータMASS-105は白色光を用いたエリプソメータです。レザータイプに比べ、多層膜などの多くのパラメーター（膜厚、屈折率、吸収係数）が一度に解析できます。分光器には、2048分割のCCDタイプを用いるなど、性能・機能はパワフルなものとなっています。また、分光解析ソフト“SCOUT”を標準装備し､ファイブラボ株式会社の解析ソフトを補い、より解析力がアップし、研究用としても対応しています。 ...

メーカー・取り扱い企業：ファイブラボ株式会社

高速分光エリプソメータ UNECSシリーズ

薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。【ア…

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

回転補償子型 分光エリプソメータ『SE-2000』※セミナー開催

多層膜の膜厚・屈折率を非接触で高精度測定。本体の操作や解析作業が容易　…

『SE-2000』は、薄膜の膜厚・屈折率を“非接触”で高精度に測定できる回転補償子型の分光エリプソメータです。ユーザーフレンドリーな解析ソフトを備えており、解析作業が容易。深紫外から近赤外領域まで幅色い波長領域の測定に対応しています。材料の組成比、異方性、Mueller Mat...

メーカー・取り扱い企業：日本セミラボ株式会社新横浜本社

ロールツーロール分光エリプソメータ

QCモニタリングにて非常に多くの実績があります。...ロールツーロールにてノンストップで膜厚を多点測定可能です。...

メーカー・取り扱い企業：日本セミラボ株式会社新横浜本社

分光エリプソメーター GES5E

薄膜光学特性を非破壊で測定！手軽に高精度測定できる分光エリプソメト…

日本セミラボの分光エリプソメーター『GES5E』は、従来の光学測定器では不可能だった薄膜光学特性の測定を非破壊で実現しました。薄膜、多層膜の膜厚、各層の屈折率（N,K値）波長分散を算出。研究開発からインライン生産品...

メーカー・取り扱い企業：日本セミラボ株式会社新横浜本社

解析波長が広い(DUV～NIR)分光エリプソ

解析波長190nm(DUV)~3,500nm(NIR)、ユーザー要求に…

回転検光子(偏光検出)の駆動に独自の方式を採用した分光エリプソメーターです。膜厚及び光学定数(屈折率、消衰係数)の同時解析ソフトウェアを独自開発し、長年ご利用いただいているユーザーからの要望を取りれた改版を重ね、第4版となっています。このソフトウェアは解析に...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

分光位相差測定装置　PDMS-SP

各波長の位相差・楕円率・方位角が確認しやすいデータビューワを標準装備！

分光位相差測定装置　PDMS-SPは、ファイブラボのエリプソメータ技術を基に開発された分光位相差測定装置です。サンプルを透過・反射する際に生じる位相差、楕円率、方位角などを測定します。測定方式に回転位相子法を採用している為、波長板の出し入れ無しでΔ値が全領域にわたって高精度に測定ができ、入射アームとは独立させて、ディテクター部のみを動かせるので、光軸が平行移動するようなサンプルも測定可能です。各波...

メーカー・取り扱い企業：ファイブラボ株式会社

【初回測定無料キャンペーン】分光エリプソメーター Auto SE

Auto SEによる膜厚・光学定数測定初回3サンプルまで無料で実施！…

■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■ 　　11月中にお申込いただいたお客様限定！！　　Auto SEによる分光エリプソメトリ測定(膜厚・光学定数測定)を　　初回3サンプルまで無償で測定を実施いたします。 ■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■ 新規開発の光学モデルによりDLCの膜質評価を非破壊・非接触で行います。各種製法により成膜され...

メーカー・取り扱い企業：ナノテック株式会社

【技術資料】分光エリプソメーター測定原理～偏光とは？　※資料進呈

偏光・エリプソメーター・ブリュースター角など！図やグラフと共に分かりや…

当資料は、分光エリプソメーターの測定原理についてご紹介しています。電場および磁場の振動方向が規則的な光のことをいう「偏光」をはじめ、エリプソメーターの原理、光学干渉についてなどを掲載。図やグラフと共に分...

メーカー・取り扱い企業：日本セミラボ株式会社新横浜本社

有機デバイス蒸着装置　真空エリプソメーター蒸着装置

真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です！

当社では、真空蒸着装置と高速分光エリプソメータを組み合わせた『有機デバイス蒸着装置　真空エリプソメーター蒸着装置』の設計・製造・販売を行っております。【特徴】 ○真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能 ○蒸着室寸法：280...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

イオポンプ ○真空計 →大気圧ピラニ真空計、キャパシタンスマノメータ ○ガス分析計／プロセスモニタ →ベーシックプロセスガスモニタ、コンパクトプロセスガスモニタ ○膜厚計 →高速分光エリプソメータ ○リークディテクタ ○電源 ○膜厚・蒸着速度制御 ○真空機器構成部品 ○分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置／巻取式蒸着装置 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

自動薄膜計測装置『DLC Analyzer』

薄膜の膜厚、光学定数などの物質特性を精度良く測定！自動薄膜計測装置

【ご案内】 ■基準片ラインアップ・分光エリプソメータ用DLC基準片・スクラッチ試験用DLC基準片・スクラッチ試験のダイヤモンド圧子確認用試験片 ■各種試験機用消耗品・各種ダイヤモンド圧子・摩擦磨耗試験用ボール・ダイヤモ...

メーカー・取り扱い企業：ナノテック株式会社

分光楕円偏光解析装置　分光エリプソメータMASS-103

サンプル水平置きタイプで、多彩なサンプルに対応が可能！

分光エリプソメータMASS-103は、古くから多くの実績を誇る MASS-102シリーズの改良シリーズです。分光器を1024分割の2 次元CCDを用いることにより、波長分解能はそのままに測定時間が飛躍的に短くなりました。103シリーズはサンプル水平置きタイプで、多彩なサンプルに対応が可能となっています｡（従来のゴニオ型“104シリーズ”もあります。）また、分光解析ソフト“SCOUT”をオプションで用意し...

メーカー・取り扱い企業：ファイブラボ株式会社

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No76

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.76です。【アルバッ…

O TFT 関連成膜技術のOLED パネルへの適用をはじめ、真空計｢G-TRAN シリーズ｣マルチイオンゲージ「SH2」の開発や、大型振り子バルブ「VFR シリーズ」の開発、自動高速分光エリプソメータ ｢UNECS-3000A｣の開発などを掲載しています。今なら最新技術資料を無料でプレゼント中です。【掲載内容】 ■InGaZnO TFT 関連成膜技術のOLED パネル...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.