ハイブリッド・アクチュエータ『HySerpack』※技術資料進呈

PRサーボモータで油圧ポンプを回転させ、油圧ポンプ吐出方向を制御。制御弁、…

当社が開発したハイブリッド・アクチュエータ『HySerpack』は、 制御弁がいらず、推力やロッド位置の制御を高精度で行えます。 サーボモータで油圧ポンプを回転させ、サーボモータの正逆回転によって 油圧ポンプの吐出方向を制御。方向制御弁がいらず、回転速度の制御で、 作業油の吐出量もコントロールできるため、油量制御もいりません。 電動アクチュエータの特長と、油圧シリンダの高剛性を兼ね備...

メーカー・取り扱い企業： 第一電気株式会社

PLC通信装置　高速電力通信『Nessum』※多様なI/Fに対応

PR各種線材において高周波信号を重畳し通信！同軸線やツイストペア線などで利…

PLC通信装置　高速電力通信『Nessum(ネッサム)』は、パナソニックが開発した電力線をはじめとする各種線材において高周波信号を重畳して通信を行なう方式です。 複数のターミナル(子機)を中継しながら電力線を使って通信ができるため、 配線長が長い工場やビルなどでもネットワークの構築が可能です。 第3世代に対し、帯域を2段階(×1/2,×1/4)に縮小 することで、 最大約2倍の距離...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヘルヴェチア

金属ベローズ（ステンレス製蛇腹）

高い耐圧性と長寿命の『成形ベローズ』、小さなスペースで高い伸縮性を発揮…

よび計測技術、真空機器、太陽エネルギー、半導体があります。 ■溶接ベローズの典型的な用途は、真空バルブ、真空フィードスルー、媒体貯蔵、容積補正エレメント、フローティングリングシール、測定および制御ユニットです。...

メーカー・取り扱い企業： ウイツエンマンジャパン株式会社 本社

複合式リーク・テスター

水、空気を媒体とする新概念のリーク・テスター

存システムと比べ、 　 テスト時間が短く(2～5分) －テスト媒体として水と空気を使用、圧力センサーで漏れを 　 感知するため シンプルな構造で安価 で低騒音 －タッチ・スクリーン方式で制御が簡単 －1回から無限に繰り返しのテストが可能 －テスト完了時、加圧状態が自動的に解除されるので安全 －リーク・レートが画面にグラフで表示されると同時に 　 USBでテスト結果を出力できる...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリンク

水封式真空発生装置『WVC-750』

水蒸気や水滴を含んだ気体のバキュームに好適！ウエーハバキュームシステム…

【仕様(抜粋)】 ■運転制御：PID(ON,OFFコントロール) ■真空方式：水封式真空ポンプ方式 ■真空到達圧力：5.3Pa×10^3 ■電源：AC200V 3相 50H/60H ■消費電力：25kw ■外形寸法：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェムテック

新開発：1軸/2軸精密ウォブルスティック

精密ウォブルスティックは、超高真空チャンバー内の繊細な操作のために開発…

Ferrovac社製の『ウォブルスティック』は、超高真空内でのデリケートで 精密な操作のために特にデザインされており、シャフトの動きが大気圧と 超高真空圧差の影響を受けないので、滑らかに制御が可能です。 ハンドルを放しても、シャフトは同じ位置にとどまります。 UHV-SPMでのチップ及びカンチレバー交換、サンプル搬送、 更にデリケートな取扱いを要求される作業に好適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

大気圧急速開放弁 - AQRV

システムアクセサリ / AQRV 開放システム AQRV大気圧急速開放…

• シングル3/2バルブは、エジェクターと開放デバイスを制御できるようにします...

メーカー・取り扱い企業： リンケージ株式会社 東京オフィス

非常に薄く大きな機能を有する -薄膜-

薄膜ってどんな機能があるの？メッキとどう違うの？何に使えるの？その素朴…

に90%程度した通せませんが、 ARをコーティングする事で100%にちかい光を通す事が出来るとともにレンズからの反射光を 抑える機能を持つ事が出来るようになります。 光学特性とは目で見える光の制御だけではありません。 高速通信網の光ファイバ端面にも近赤外線を対象とした反射防止膜が使われています。 近赤外線だけをロスなく高速に伝える為には赤外線の情報量をより多く通す必要がある為です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 京浜光膜工業株式会社

平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』

ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能！

『MSS600-3』は、矩形カソード W100ｘH500mmによる 3元RFスパッタリング装置です。 基板サイズはW200×H300mmであり、X方向へ搬送しながら蒸着します。 また、基板200mmを30秒から15時間の時間で任意に設定し、膜厚調整や 様々な異種積層成膜が可能です。 【特長】 ■自動スパッタ機能により、長時間のスパッタリング作業も省力で可能 ■GenCor...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社愛知真空

ターボブロワ・ターボ圧縮機『NXシリーズ/NCシリーズ』

低騒音、低振動、潤滑装置不要！航空宇宙工学から生まれた技術を使用した高…

得た冷却システムにより、連続した トラブルフリー運転を実現。 また、ブロワーの高効率性、並びに低い保守費用のおかげで、 低いライフサイクルコストを実現しています。 さらに、使用容易な制御装置とエコフレンドリー技術を採用しています。 【特長】 ■最高クラスの性能 ■卓越した信頼性 ■経済的な生涯コスト ■顧客志向の技術 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： レボ・エアー株式会社

オイルフリー真空ポンプ・ブロワ　総合カタログ

高効率ツインロータ採用！少ない動力で大流量を実現するポンプ・ブロワを掲…

グ』は、 環境装置の販売及設置工事等を行っている、備商株式会社が販売・設置するオリオン社の総合カタログです。 省エネルギーで様々な環境負荷を低減する「KCPシリーズ」をはじめ、 インバータ制御により省エネルギーを実現する「KCEシリーズ」、 モジュールデザインを採用した「KCMシリーズ」を掲載しています。 【掲載内容】 ■「KCP/KCE/KCMシリーズ」概要 ■「KCP/K...

メーカー・取り扱い企業： 備商株式会社

ヌード型複合真空計『SG701シリーズ』

容易に取付け可能！筺体・電源等を省略した新しいかたちのヌード型複合真空…

計コンポーネントを分離して装置への 組み込みを簡素化した装置組込み型の真空計です。 B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、 大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能です。 また、グリッド・コレクタを常時、通電加熱した計測（タフモード）を オプションとしてご用意しており、汚染劣化・コレクタの感度低下を 低減いたします。 【特長】 ■小型設...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミラプロ

ピアブ・ジャパン株式会社　事業紹介

省エネルギーソリューションを提供し、顧客の生産性を高めます。

【製品】 ○サクションカップ／グリッパー ○バキュームポンプ／真空発生器 ○バキューム・カートリッジ／装置組込 ○ポンプ・サクションカップを一体化 ○piSAVE ○制御の最適化 ○粉体・粒体搬送用バキュームコンベア ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社

ドライ真空ポンプ『FTPシリーズ』

高効率モータ搭載で省エネと低騒音を実現！プレミアムパッケージ真空ポンプ

転を検出。 運転の必要がない号機は停止することで、さらなる省エネに貢献します。 【特長】 ■省エネ・低騒音を実現 ■簡単タッチパネル操作で電力コストを最適化 ■複数台使用する場合は台数制御で省エネ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アンレット

ドライポンプ EXSシリーズ 排気速度450～750m3/hr

一般産業向けのミドルレンジの真空ポンプ。実績のあるGXSをベースに、シ…

EXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、排気速度450m3/hrと750m3/hrの2モデルから選択できます。 標準でインバーターが搭載されており（コントローラー無し）、モーター回転数を調整し消費電力を低減いたします。 750m3/hrのモデルでは、ブローオフバルブ機能を有しており、低真空圧近くの気体をバルブを介して排気することにより、モーターへの負荷軽減による更なる省エネ効果が...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

真空熱処理炉

既成品からオーダーまで対応！プレス付真空熱処理炉や超高温熱処理炉をご紹…

ス付真空熱処理炉 仕様（抜粋）】 ■加熱温度：常用600℃ ■ヒーター：モリブデン抵抗体 ■有効寸法：φ150×170L ■均熱部：φ130×100L±10℃（ノンプレスVaC中） ■温度制御：デジタルプログラムPID方式 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

環境試験用真空装置『SPI-0610R-TR』

ご要望により要求内容に合わせた構成が可能な環境試験用真空装置

『SPI-0610R-TR』は、宇宙空間を想定した試験の実施を目的とした 環境試験用真空装置です。 装置は真空容器と真空排気系、制御系から構成されており、真空容器内の 圧力を10^-4Pa台まで真空排気する事が出来ます。 真空容器の構成は、ご要望により要求内容に合わせた構成が可能です。 【特長】 ■大気圧から排気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本シード研究所

真空装置　設計・製造サービス

実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて設計、製造し…

【真空装置、部品の製作事例】 ■PE-CVD装置 ■熱CVD装置 ■スパッタ装置チャンバ設計・製作（チャンバスケッチ・設計・製作） ■大気圧プラズマ用電極ユニット設計・製作 ■画像評価装置制御BOX製作　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社DINOVAC

自動高真空システム『AHA ターボポンプ ステーション・カート』

有名で信頼できる真空ポンプサプライヤを使用！

『AHA ターボポンプ ステーション・カート』は、スマート＆パワフルな 真空ポンプステーション/カートで、R&Dユーザー用にカスタマイズされた 自動高真空システムです。 標準制御モジュールとしてHMI&PLC、市場で高い高級機能。 1つのコントロールモジュールは、シングルタッチディスプレイで ターボポンプとゲージの4チャンネルを駆動できます。 【特長】 ■新...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社フォーユー

【高効率でコンパクト】ルーツポンプ RUVAC WH/WHU

革新的なモータ技術でエネルギーコストを抑え、効率クラス１を取得。

UVAC WHシリーズは、シャフトシールが無い密閉シールモータと内蔵式の水冷装置を装備しています。 さらに腐食性ガスおよび有毒ガスの排気用にパージガスオプションも備えています。 WHU型は新開発の制御フラップを内蔵したバイパスラインを装備しています。 これによりポンプを大気圧から始動でき、短いサイクル運転における排気時間を大幅に短縮できます。 ・コンパクト設計で最小限の設置スペース ・システム...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社

オイルフリーコンビネーションポンプ（２ポンプ仕様）

ご要望に応じて真空ポンプ（バキュームポンプ）・ブロワポンプを組み合わせ…

真空ポンプ（バキュームポンプ）・ブロワポンプを組み合わせてパッケージ化しました。２ポンプ仕様の真空ポンプは各種自動機の要求真空度や圧力が違う場合や設置スペースを削減したい場合に最適です。インバータ制御により更なる省エネを実現したインバータモデルもラインナップしています。 【仕様】 ■真空度　　　0～94kPa以上 ■モータ出力　7.4～13kW ■風量　　　　0～5.1m3/min ...

メーカー・取り扱い企業： オリオン機械株式会社

Ｒ＆Ｄ向け小型ロールコーター　FRC-100V

実験用小型スパッタリング装置！コンパクトでリーズナブルな設計！ 品質…

ールコーターです。樹脂フィルムに光学特性を持たせた透明導電膜や機能性膜を手軽にコーティングできる様に設計されています。スパッタによる緻密な成膜が可能で、走行パターンも多種設定可能です。使い勝手の良い制御系を搭載しています。太陽光発電、タッチパネルなどの分野では大量生産に有利と考えられるRoll to Roll式で、開発・パイロット整備としてお使い頂けます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士アールアンドディー

真空乾燥システム

充電池などの水分・溶剤乾燥に！高精度の温度コントロールで歩留まり向上

【仕様】 ■乾燥温度：200℃（MAX） ■温度精度：±3℃（案提示温度分布） ■搭載数：電極ロール5本以上 ■乾燥時間：7時間以上 ■真空度：大気圧～1Torr以下 ■制御：プログラムコントロール ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

パルスレーザパルス蒸着システム

パルスレーザパルス蒸着システム

アシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定した駆動制御機構に特徴があり、ご好評を頂いております。 製品の詳細情報はWebサイトをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

電気炉

真空屋としての気密性持続に対するこだわりをカタチに。炉体開閉式構造を採…

【特長（真空乾燥機）】 ■卓上サイズで省スペース化を実現 ■減圧保持状態のまま、容器を本体から取り外し搬送可能 ■プログラム温調制御機能による省力化と、人為ミスの軽減に貢献 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤマト

『医療用加速器向け真空ポンプ・排気システム』のご紹介

信頼性の高いターボ分子ポンプTG-Fシリーズを搭載した排気システム

株式会社大阪真空機器製作所では、ターボ分子ポンプだけでなく 真空機器全般のシステム及び制御盤・制御シーケンスを含めた 設計・製作を担っています。 当社の約65年に渡る真空機器の実績と経験が評価され、粒子線治療に使用する 加速器の真空排気系に信頼性の高いターボ分子ポンプ「TG-F...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空封止装置

4～6吋角サイズ(100～150m/m)エリア範囲の各種封止が可能！

00～150m/m)エリア範囲の各種封止が可能 ■ワークを均一に加熱・加圧できるため、良好な封着が得られる ■理想的な加熱・冷却コントロールシステムを開発 ■真空から加圧雰囲気まで、任意の圧力制御が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社堀口鉄工所

ドライポンプ　ＧＸＳシリーズ

半導体プロセスでの経験と実績を基に、最新のテクノロジーを搭載した、工業…

特長】 ○コントロールパネル標準装備 →リモート/ローカルＯＮ/OFFやアラーム・ワーニングを表示 ○高い信頼性と優れた排気速度 →独自のスクリューローター（特許取得）を採用 →優れた温度制御システムの採用で高速排気とロングライフを実現 ○幅広い用途に適応 ○ランニングコストの低減 ○低振動・低騒音 ○通信機能（オプション） ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

三双機工の液状材料応用装置総合カタログ

多種多様な液状材料応用装置を取り揃えております。

入システム ・実験室用真空注入装置 【その他関連品】 ・注入処理用パレット ・溶剤洗滌ユニット ・部品洗滌ブース ・トリップノズル ・液圧検知器 ・沈殿解消機　　　　他 【制御関連】 ・注入位置コントローラー ・オンラインサービス　他　 ※【カタログダウンロード】より目次が参照頂けます。 資料の送付をご希望の方は【お問い合わせ】よりどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三双機工

アクティブ真空センサー用コントローラ GRAPHIXシリーズ

1・2・3の計測チャンネルを持つ新型コントローラ

やすく表示 -　設定や計測データを内部またはUSBを使用して外部メディアにリアルタイムに記録 -　圧力上昇テストによるリークテスト機能 -　多種のアクティブ真空系との接続（オプション） -　センサー制御機能（脱ガス・ゼロ調整） -　表示可能言語：英語、ドイツ語、中国語、日本語 -　コンパクトな卓上設置型 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社

真空高温炉『MINI-VAC-NT』

小型の真空炉ですが内部の有効容積は横式丸型で非常に大きく設計されており…

できMINI・VAC-1型は低真空、酸化雰囲気でも使用が可能。 また、ヒーター構造が周囲と後部にもあり温度上昇も早く、温度分布は もちろん温調もP.I.D動作のため800℃±3℃の精密な温度制御ができます。 【特長】 ■ワンタッチの真空操作 ■温度調節および温度分布が抜群に良い ■雰囲気の万能性 ■高速昇温 ■附属機構もつけられる ■有効容積が大きい　など ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京真空

実験用高真空装置

納入後のプロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応！ステンレス製真空…

■チャンバーサイズ：幅400mm×奥行290mm×高さ340mm ■チャンバー容量：約26.5L ■到達真空度：1×10-4Pa以下 ■真空ポンプ：ロータリーポンプ＋ターボ分子ポンプ ■制御／操作：手動(オプションで自動可) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社DINOVAC