【自動化対応】ルーター式基板分割機『SAM-CT34XJ』

PR〈国内製〉基板の供給・分割・排出を自動化（最大400×300mmに対応…

当社のルーター式基板分割機に、高速・高精度で切断でき、 自動化（マニュアルでの操作も可能）にも対応した『SAM-CT34XJ』が新製品としてラインアップに加わります。 基板の供給・切断・排出を自動で行えるのはもちろん、 カメラで基板を表示しながら簡単にティーチングが可能。 画像処理機能による、切断位置の自動補正にも対応しています。 【特長】 ■ルータービットの高さを自動で切り替...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サヤカ

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高出力RFイオンソース 「ISG-180」

広範囲で安定した放電を実現した高出力RFイオンソースです。

広範囲で安定した放電を可能にし、光学フィルターのノンシフト膜から樹脂基板への密着性改善まで様々な用途でご使用いただけます。 放電性能においては独自のアプローチにより確実な着火と安定した放電が可能です。 【特徴】 ○ビーム電流 1500mA / ビーム電圧 15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

キャリア『シリコンキャリア』

高平坦度・高位置精度のキャリア

半導体製造装置を改造せずに、 小口径ウエハや異形ウエハ等を搭載して搬送、そのまま大気中、 または真空中でのプロセスを可能とする高精度キャリアです。 ２～１２インチシリコンウェハを、お客様の基板が搭載可能な様に 加工（研削・研磨）、組み立てを致します。 また、シリコン以外に石英・金属・セラミック等各種材料にも対応可能です。 ご要望の際は、お気軽にご相談下さい。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： Carrier Integration株式会社

大電流DC放電型ラインビームイオン源『LBS-120HC』

大型基板対応可能！完全自動化された電源制御システムによる高速ビーム調整

『LBS-120HC』は、高速イオンビームミリング装置に適用できる 大電流DC放電型ラインビームイオン源です。 熱陰極を用いた大電流密度イオンビームで、最適化された 磁界設計による優れたビーム分布均一性が特長。 また、完全自動化で高速ビーム調整を可能とするように設計した 専用電源「SPS-HC2」もご用意しております。 【LBS-120HC 特長】 ■熱陰極を用いた大電流...

メーカー・取り扱い企業： ノベリオンシステムズ株式会社