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25件 - メーカー・取り扱い企業
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特許技術でコスト減!高濾過精度で品質維持!クーラント精密濾過装置
PR濾過精度1μmを実現。自重に逆らいながらクーラント液を送り、フィルター…
当社は、クーラントの『精密濾過装置』の提案・製造を手掛けています。 1μmの濾過精度で、大流量に対応したフィルター濾材をご用意しており、 装置は外側から内側へ濾過を行う濾過フローで、 自重に逆らいながら下から上にクーラント液を送り込み、 フィルター全面による高効率濾過を実現しています。 また、逆洗浄には特許を取得しており、 自重に従った送液によって効果的な逆洗浄を行い ランニングコストの大幅削...
メーカー・取り扱い企業: 濾過精工株式会社
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PR難加工材用の切削工具、半導体向けの極細切削工具などの高硬度化・長寿命化…
水素フリーDLC(ta-C)『TETRAスリック』は、 高硬度で優れた耐摩耗性を実現するコーティングです。 薄膜仕様のため、厳しい精度が求められる加工物に適しています。 高い密着性で長寿命化が実現できるほか、耐熱特性に優れているのも特長です。 【用途例】 ■アルミニウムやチタン等の難加工材用切削工具・極細ドリルなど ■精密金型(半導体封止モールド用金型・レンズ成形・曲げ型・樹脂...
メーカー・取り扱い企業: 日本コーティングセンター(JCC)株式会社
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高圧ガス対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『RDシリーズ』
コンパクト化と低トルク化を実現しました高圧対応のダイヤフラムバルブ!手…
『RDシリーズ』は、高圧に対応するバルブでありながら、コンパクト化と 低トルク化を実現したダイヤフラムバルブです。 「手動弁」は、なめらかな操作感触となっており、一目で開閉状態が 確認できるように、大きい窓と見やすいOPEN/CLOSE表示を採用。 「自動弁」は、ボディ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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半導体製造プロセス用高純度ガスに対応!高いシール性能と高耐久化、脱ガス…
『KDシリーズ』は、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる 品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。 ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.36cm3まで小さくする事により 優れたガス...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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駆動部品数の最小化、単純化を実現!半導体用高純度ガスに対応し、パーティ…
リーズ」をベースとして使いやすさと シンプルさを追求したダイヤフラムバルブです。 基本性能や素材及び洗浄度はそのままで部品の見直しや加工方法の変更及び 部品数を削減し安全で且つ低プライスを実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応し パーティクル性能を極限まで追求しました。 【特長】 ■駆動部品数の最小化、単純化を実現 ■安全で且つ低プラ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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高純度ガス系 コンパクトダイヤフラムバルブ『VLCDシリーズ』
「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20%縮小化を実現!半導体、FP…
『VLCDシリーズ』は、基本性能は従来の「KDシリーズ」の性能を 受け継いだまま、部品の共通化を実施したダイヤフラムバルブです。 各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現。 洗浄工程、検査工程は、従来品と同等のため、半導体、FPD、LED用 製造装置等へご使用いただけます。 【特長】 ■従来の「KDシリーズ」の性能を受け継いだまま、部品の共通化を実施...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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大径サイズストレートタイプ!当社独自のY型構造により、より高いCv値を…
の為、ハンドルトルクが小さく操作性に優れております。 パージポートをオプション仕様として、1次側、2次側、両側に対応可能です。 【特長】 ■当社独自のY型構造の為、S型より高いCv値を実現 ■シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用 ■コンパクトな設計 ■大径サイズストレートタイプ ■パージポートをオプション仕様として、1次側、2次側、両側に対応可能 ※KITZ ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能!シンプルな…
『IVB/IVBL』は、従来同様、ボディにSUS304を採用し耐久性、 低コスト化を考慮したL型真空バルブです。 極限まで部品点数を減らしたシンプルな構造により低コスト化を実現し、 容易なメンテナンスが可能なデザインになっています。 ベローズシール構造により高いリーク性能を持っております。 【特長】 ■ステンレスボディの採用により、耐食性に優れ幅広いガス種...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に!全サイズの高さを従…
『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4"高圧用 ダイレクトダイヤフラムバルブです。 従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い 低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮し コンパクト化しています。 高圧及び高度の真空保持や外気への漏れを完全に防止したい ガスラインや装置内配管等にご使用いただけます。 【特長】 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『高温(250℃)対応バルブ』
高性能、コンパクト、低価格を実現!均熱性を必要とする有機金属系の半導体…
対応バルブ』は、バルブ構成部品を全て オールメタル化することにより、250℃での使用が可能です。 独自の設計により高温環境でのCv値の落ち込みを極力減少させ、 高性能、コンパクト、低価格を実現。 また、接ガス部だけでなく、アクチュエーターを含むバルブの 構成部品全てが高温環境下で使用可能なため、均熱性を必要とする 有機金属系のプロセスで好適に使用することが出来ます。 【特...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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シートとダイヤフラムを交換可能なダイヤフラムバルブです。バルブを頻繁に…
『KD-E』シリーズは、「KD」シリーズをベースにシートと ダイヤフラムを脱着交換可能な構造として、ランニングコストの 低減を実現するダイヤフラムバルブです。 シートとダイヤフラムの交換によってボディ・駆動部品を再利用可能。 液体材料容器用など、バルブを頻繁に交換・洗浄する用途に適しています。 また、専用の交換工...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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デッドスペースを小さくしパージ時間の短縮化を実現!ストレートタイプのベ…
系だけでなく排気系の装置にも使用可能。 高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバルブについても 対応できます。 【特長】 ■デッドスペースを小さくした結果、パージ時間の短縮化を実現 ■ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能 ■高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバルブについても対応可能 ■独自のシート形状により、ディスクからのパーティクル発生の低減、 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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チャンバー内を汚染しにくい構造!Oリングへのストレス低減、高い耐久性能…
RINGの ねじれや脱落の問題を解消。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、 反応室を汚染しにくい構造です。 シートリング機構採用により、Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を 実現しました。 【特長】 ■バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能 ■低真空から高真空まで圧力調整が可能 ■新開発のシートリング機構を採用 ■高耐久:全開・全閉動作 300万回 ■独自ヒーテ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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1台で流量調整と全開/全閉の2段階のコントロールを可能とした画期的な複…
クチュエーターによる全開/全閉の2段階のコントロールを 可能とした画期的な複合バルブです。 ニードルではなくダイヤフラムで流体を制御するため、 パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現。 従来システムのバイパス配管や制御機器が不要になり、 大幅なコストダウンと省スペース化が可能です。 【特長】 ■1台で手動による流量の調整とエアーアクチュエーターによる 全開/...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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大流量タイプに好適!回転フランジ採用により、狭い箇所での施工が容易
『IF』は、大流量対応のメタルガスケットシール継手です。 ニッケルガスケットを採用することでシール性能も高気密を実現し、 耐食性に優れ、腐食ガスにも対応可能。 また、ガスケット固定ピンで仮止めができ、施工時のガスケット脱落を 防止します。回転フランジ採用により、狭い箇所での施工が容易です。 【特長...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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傷付きやすいシール面に平坦鏡面加工と特殊硬化処理を施した、メカニカル式…
付けを防ぎ、締め付けが確実に行える ■スリーブ(S) ・当社独自の電解研磨等により滑らかな内面仕上げ ■ガスケット(G) ・ニッケル製を標準品として、締め付けによりスリーブとの高いシール性を実現 ■オスナット(NM) ・転造ネジを採用することで高い強度を持ち接続を確実に行える ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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高速開閉・高い応答安定性!特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…
【その他の特長】 ■バルブ応答時間18ms、耐久回数後の応答安定性±2msを実現 (※当社試験方法実績値) ■アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し 最高220℃までの高温流体に使用可能 (※電磁弁・センサ搭載時は最高200℃まで) ■熱影響を考慮した構造及...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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ボディ外部とベローズ内部にヒータを内蔵!弁体・ベローズを加熱できる真空…
x180℃まで 任意の温度で加熱することができます。 【特長】 ■長期リーク性能を維持する事が可能 ■可動時の生成物脱落が少なくなり、パーティクル発生が極力減少 ■ベローズの高耐久化を実現 ■接続フランジは「ISO KF」「JIS VF/VG」など各種接続に対応可能 ■オプションとして磁気近接開閉スイッチ・サーモスタットなどをご用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズバルブ!マントルヒーターには…
。 #副生成物対策 また、エアシリンダ部への熱影響を低減する構造やインコネル製 ベローズの採用により実績100万回以上の耐久性能も確保しています。 【特長】 ■接ガス部の250℃加熱を実現 ■ベローズ内部ヒーターを装備 ■着脱可能な外部ヒーター ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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漏れなし・クリーン・軽量コンパクトな樹脂製溶着継手! 配管スペースを大…
による完全シールのため、 増し締めの手間や液漏れの心配がありません。 また、チューブ部を長くしたことにより、スリーブ圧入タイプの継手を 直接施工でき、施工時間の短縮やコンパクトな配管設計を実現できます。 【特長】 ■漏れなし・クリーン・軽量コンパクト ■最短溶着が容易 ■スリーブを直接圧入可能 ■TBN継手およびPFAチューブを溶着した“配管キット”をご用意 ※KIT...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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取り付けや取り外しを繰り返しても、信頼性の高い優れたシール性能を常に実…
『SQ』は、石英チャンバー・リアクターにお使いいただける、 安全で再現性のある接続継手です。 ナット締め付けによるOリングの供回り防止と、Oリングの抜け止めとして、 フッ素樹脂コーティングワッシャーを使用。 ストッパーによって、ナットの締め付け量が一定で、ナットの締めすぎに よる石英管の破損を防止します。 【特長】 ■抜け・共回り防止 ■フッ素樹脂コーティングワッシャー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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素材には超高純度配管用2重溶解材をオプションとして採用!コンパクトな溶…
接続端は自動溶接に適したネック付で、放出ガスを抑えるために 素材には超高純度配管用2重溶解材をオプションとして採用しています。 【特長】 ■電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下で実現 ■形状がコンパクトなため、配管の省スペース化が可能 ■自動溶接に適したネック(直管部)付 ■高品質の溶接が簡単に行える ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざま...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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高純度ガス系 コンパクトダイヤフラムバルブ『KCDシリーズ』
「KDシリーズ」をベースに更なるコンパクト化を実現!基本性能は「KDシ…
『KCDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして更なるコンパクト化を 図ったダイレクトダイヤフラムバルブです。 耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、多くの半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■KDシリーズの内容積1.2cm3に対し、0.97...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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大流量供給システムに最適!安全・高耐久・パーティクルフリーを実現した高…
D8Cシリーズ』は、Cv1.0 ハイフロータイプの自動バルブです。 #空圧 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現。 フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの 大流量供給システムに好適です。 【特長】 ■Cv1.0 ハイフロータイプ ■新開発の高出力アクチュエータとスプ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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安全・高耐久・パーティクルフリーを実現!アクチュエータをスリム化した高…
大量供給装置)・GS等の高圧ガス機器向けに アクチュエータをスリム化。 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現しました。 【特長】 ■Cv0.75 ミディアムフロータイプ ■BSGS・GS等の高圧ガス機器向けにアクチュエータをスリム化 ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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各接続端は自動溶接に適したネック付!高純度ガス供給用の溶接継手
は、パイプ材から製造し、内面研磨したクリーンな溶接継手です。 放出ガスを抑えるために素材には超高純度配管用2重溶解材をオプション として採用し、電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下を実現。 また、自動溶接に適したネック(直管部)付で突合せ溶接用の開先のため、 高品質の溶接が簡単に行えます。 カタログ外のサイズやフランジ等は各営業担当にお問い合わせ下さい。 【特長...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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マニホールド配管施工の際、単管が不要!作業工数が減少する自動溶接用継手
『SCL』は、直管部が長いタイプの溶接継手です。 電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下で実現。 直管部が長くマニホールド配管施工の際、単管が不要になる為、 作業工数が減少(溶接箇所1ヵ所不要)します。 【特長】 ■電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下で実現 ■直管...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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