管路曲り測定装置 孔曲り測定　削孔曲り測定　レンタルOK

PRアンカー工事、地盤改良工事等のボーリング孔の曲り測定や埋設管（水道、通…

『NEMONAVI』は、管路内にセンサーユニットを通すことにより、管路の真直度や位置を測定することができる装置です。 主にアンカー工事で地中に挿入埋設された外管の真直度の計測や、埋設物直下での自在ボーリング工法のロッドの位置計測に使われています。 ～デモンストレーション（無償）ご希望される方はご連絡下さるか、カタログをダウンロード下さいませ！～ 【特長】 ◎測定の開始から...

メーカー・取り扱い企業： 根本企画工業株式会社

EMI（エミッション）トータル試験システム　MR2300

PR手近なところでノイズ対策！EMIは事前試験で効率アップ。

MR2300は当社のスペクトラムアナライザ技術、電波暗箱技術およびアンテナ技術を結集した統合システムです。 EMIトータル試験システム ＭR2300の特長 ■追加設備のいらないEMIトータル試験システム アンテナ、EMI用スペクトラムアナライザ、LISN、EMI用PCソフトウェアのみならず、電波暗箱まで全てが揃ったトータル試験システム ■自社開発の小型・広帯域アンテナ 30M...

メーカー・取り扱い企業： マイクロニクス株式会社

受託サービス：デバイスの質量ガス分析

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リーク...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

極高真空計『3B-Gauge』

X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計

『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。 電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット フランジ(ICF70)の中に...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10＾5Pa ～ 10＾-7Pa） ■真空計設置スペースを節減 ■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現 ■高真空部は耐久性の高い新しい構...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

デバイスの残留ガス分析【受託分析サービス】

当社のラボにてサンプルをお預かりしてデバイスの残留ガスの受託分析サービ…

分析アプリケーション例（蓄積法） 破壊分析 　●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 　●半導体ウェハ基板からのガス放出測定 　●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 非破壊分析 　●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定 ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

マイクロ真空計

高真空の計測が可能なマイクロ真空計

新技術を利用し、熱伝導方式のマイクロ真空計ではこれまで困難だった高真空の計測を実現。 数百ミクロン角の大きさで、ピラニ真空計の測定範囲をカバー。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 また、多様なインターフ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

ピラニ真空計　PG-20

小型なボディで装置組込みの省スペース化！

帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。 熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。 （特長） 　●（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の測定範囲 　●故障に強い定温度型 　●小型な...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

定温度型ピラニゲージコントローラ　PG-30

熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。

帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

コールドカソードゲージ コントローラ　CG-20

堅牢な冷陰極型電離真空計

帯域（4.0×10-7Pa）?（3.0×10-2Pa）の圧力を１レンジで測定できる、コールドカソードゲージコントローラです。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

超高感度 質量分析装置　WATMASS－MPH DAシステム

【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの…

ス、あるいは半導体などの封止デバイスに！ ★デバイス評価・材料評価など各種受託質量分析（ガス分析）も承ります★ 【特長】 ■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置 ■産総研殿の測定精度評価を取得 ■破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能 ■各種受託質量分析も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

極微小リーク分析

極微小リーク量の測定が求められる自動車用のMEMSセンサーデバイスをご…

刻々と変化している自動車を取り巻く環境の中で自動車用エレクトロニクス としてのMEMSセンサーデバイスは非常に重要品となり、高い信頼性を 求められるものとなっております。 MEMSセンサーデバイス(封止デバイス)への気体混入(リーク)は僅かでも 劣化し信頼性を著しく損なう可能性があります。 信頼性を担保するためには、破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)の 極微小リー...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

【ウェビナーご招待】デバイスの質量ガス分析

極微少量の「残留ガス」検知で半導体チップや車載センサの劣化防止｜超高性…

□配信日時 2023年1月19日（木）11:20?11:50 □概要 高性能化が進む半導体チップや車載センサ。部品の劣化を招く「残留ガス」への対策や品質の要求基準が厳しくなるものの、測定が困難なのが課題です。今回は、最近業界で求められる品質の要求基準を解説し、質量ガス分析装置の基本、東京電子の特許取得済み超高性能「質量ガス分析装置」の実力を事例で紹介します。 □費用 無...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（ICF70）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10?Pa ～ 10-?Pa） ■真空計設置スペースを節減 ■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現 ■高真空部は耐久性の高い新しい構造の...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（ICF70）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 また、多様なインターフ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

極微小リークの計測方法でお困りで はありませんか？

答えはこちら！極微小リーク検査のソリューションと事例をご紹介！

エンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに！ ★デバイス評価・材料評価など各種受託ガス分析も承ります★ 【特長】 ■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置 ■産総研殿の測定精度評価を取得 ■破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能 ■各種受託ガス分析も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社