【FOOMA2024出展】オートフィーダー直結タイプ＿粉体供給機

PRオイルレス、工具レスでメンテナンス性抜群！

従来のフンケンオートフィーダーに搭載されているベルトユニットを省くことで、ベルトカスが発生せず、オイル不要の構造としました。 ≪特徴≫ ・工具レスの簡易分解仕様で、分解時間の短縮＆メンテナンス性が向上。 ・各部品のクリアランスは調整不要のため部品交換が簡単。 ・モーター直結のため省スペース。 ・モーターへの電動効率が上がるため、消費電力を抑えます。 ・消耗品を削減できるため、廃...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社粉研パウテックス 東京営業部

少量多品種量産でコスパを実現！省エネ省材料の小型射出成形装置

PR精密部品からはすば歯車、内ネジ部品まで幅広く成形可能！幅広い部品を少量…

エプソンテックフオルムの小型成形機『AE-M3RU』は ローターユニットが搭載された金締め力3tの横型小型成形機です。 独自開発したフラットスクリュテクノロジーやホットランナーを成形機本体に標準搭載することで 従来機の特長を引き継ぎ、少量多品種量産でコスパを実現します。 また『AE-M3RU』は、はしば歯車や内ネジなどより幅広い部品に対応するためにローターユニットを搭載。 この回...

メーカー・取り扱い企業： エプソンテックフオルム株式会社

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。 １つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

『事例』半導体製造装置　排気系ラインの省スペース化 ※無料進呈中

デバイスメーカーの求める装置の価値基準とは？　KITZSCTは排気系ラ…

"貴重な設計時間をレイアウト検討に取られていませんか？メイン配管の大口径化に伴ないレイアウト設計は複雑化しています。また各種要件が厳しくなっており、施工性やメンテナンス性を考慮した配管設計が難しくなっています。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…

浄用途に合わせた装置ラインナップ 　・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の石英管に対応致 　・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能 ■省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 　・縦型式(VTCシリーズ)は、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ■カスタマイズ対応可能 ■世界トップクラスの納入実績(400台以上) 　・国内外 半導体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。 １つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

昇華精製装置『DSUシリーズ』

0.1kgの少量精製から10kgまでの量産精製に対応。省スペースで設置…

ーズに対応 ■オートプロセスコントロールによる温度・圧力制御 ■実験や開発に適した0.1kgから量産用の10kg/runを精製 ■純度99.99％・歩留まり98％(2回目の精製後) ■縦型のため省スペースで設置可能 ※「PDFダウンロード」より製品資料(英語)をご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ※ 本画面下部にて関連製品動画もご覧いただけます。 ...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

ウエハ移載機

ウエハ移載機

従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査機用・搬送機用等、顧客のニ...

メーカー・取り扱い企業： レイリサーチ株式会社

Revolution セミオートウェットプロセッサー

省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサー

RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、 プロセスコントロールの操作性をアップさせました。 省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。 Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。 【省スペースな回転式ロボット】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

ウェハーケース｜グリップリングケース

導電性PPを使用！試作品や少量の搬送、出荷、保管に好適です

『グリップリングケース』は、グリップリング、またはダイシングフレームに嵌合／貼り付けられたウェハーを1枚収納可能。 スタック可能なため省スペースで保管可能。 試作品や少量の搬送、出荷、保管に好適です。 【特長】 ■グリップリング、またはダイシングフレームを1枚収納可能 ■ウェハは非接触 ■スタック可能なため省スペースで保管...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

【ガススプリングの代替に】パワーアシストヒンジ採用事例

ガススプリングの代替にパワーアシストヒンジを。ガス抜けがなく省スペース…

チップマウンターのカバー開閉部分に パワーアシストヒンジ HG-PA230-25を採用いただきました。 【課題のポイント】 ・ガススプリングを取り付けるスペースが確保できないが、開けるときのアシスト機能が欲しい。 ・積層表示灯を見やすい装置にしたい。 【解決のポイント】 カバーの重量が重いため従来機種ではガススプリングを使用されていましたが、新機種では内部の装置の関係でガススプ...

メーカー・取り扱い企業： スガツネ工業株式会社 テクノフィールド事業部

バッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）

微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応　省…

H2ラジカルによりフラックスフリーのバンプリフローを実現。 フラックスの塗布・洗浄工程を削減。リフロー前後のウェット工程を削減。ウェット装置のスペース・処理・ユーティリティーを削減する省エネ・省スペース・クリーンプロセス。 ３００ｍｍウェハ対応の処理ステージによる最先端量産プロセスをバッチタイプのハードで小径基板のニッチデバイスに対応 短タクトのバッチ処理で多品種少量生産やR&D用途に対応...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

やワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置

ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です…

省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。 メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減します。（特許第3558543)...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び 　チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

精密貼り合せ装置（半自動）

精密貼り合せ装置（半自動）

ム基板などの2枚の基板を手動で位置決めし、貼り合せを行う装置です。 近年、貼り合わせ製品の薄層化、外観精度の要求レベルが高くなっておりますが、弊社が保有する貼り合せ技術（速度、圧力制御機構）を省スペースの装置に集約し、キズや気泡のない高品質の貼り合せを実現しました。...

メーカー・取り扱い企業： 長野オートメーション株式会社