【無料進呈】SCCR（短絡電流定格）の基礎解説・製品選定資料

PRSCCR（短絡電流定格）の基本から、安全規格への対応の必要性、当社製品…

当社は、制御盤用のエンクロージャー、分電・配電システムや温度管理システムなどの 国際規格対応製品をグローバルで提供しています。 ただいま、SCCRやUL規格などの解説、当社製品の選定ガイドを含めた 「制御盤製造の安全性と製品選定に関するまとめ資料」を配布しております。 制御盤の設計・製造において、SCCRに関連する一般情報からUL規格などを解説。 また、制御盤製造をより安全、効率的に行う解決策...

メーカー・取り扱い企業： リタール株式会社

ペーパーレス化システム導入のメリット・デメリットとは【資料進呈】

PRペーパーレス化することでコスト削減？何が改善されるのか、どんな方法があ…

ペーパーレス化が進む背景について解説します。 システムやツールの準備など、事前に必要な作業も見てみましょう。 ペーパーレス化は業務の効率化や、オフィスの省スペース化など 様々なメリットがあります。ペーパーレス化のメリットとデメリットも チェックしてみてください。 【概要】 ■1.ペーパーレス化システムが進む背景とメリット・デメリット ■2.ペーパーレス化システム導入に必要なツール・選び方 ■3...

メーカー・取り扱い企業： アクシーズ株式会社

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。 １つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

『事例』半導体製造装置　排気系ラインの省スペース化 ※無料進呈中

デバイスメーカーの求める装置の価値基準とは？　KITZSCTは排気系ラ…

"貴重な設計時間をレイアウト検討に取られていませんか？メイン配管の大口径化に伴ないレイアウト設計は複雑化しています。また各種要件が厳しくなっており、施工性やメンテナンス性を考慮した配管設計が難しくなっています。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…

浄用途に合わせた装置ラインナップ 　・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の石英管に対応致 　・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能 ■省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 　・縦型式(VTCシリーズ)は、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ■カスタマイズ対応可能 ■世界トップクラスの納入実績(400台以上) 　・国内外 半導体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。 １つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

昇華精製装置『DSUシリーズ』

0.1kgの少量精製から10kgまでの量産精製に対応。省スペースで設置…

ーズに対応 ■オートプロセスコントロールによる温度・圧力制御 ■実験や開発に適した0.1kgから量産用の10kg/runを精製 ■純度99.99％・歩留まり98％(2回目の精製後) ■縦型のため省スペースで設置可能 ※「PDFダウンロード」より製品資料(英語)をご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ※ 本画面下部にて関連製品動画もご覧いただけます。 ...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

ウエハ移載機

ウエハ移載機

従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査機用・搬送機用等、顧客のニ...

メーカー・取り扱い企業： レイリサーチ株式会社

Revolution セミオートウェットプロセッサー

省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサー

RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、 プロセスコントロールの操作性をアップさせました。 省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。 Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。 【省スペースな回転式ロボット】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

ウェハーケース｜グリップリングケース

導電性PPを使用！試作品や少量の搬送、出荷、保管に好適です

『グリップリングケース』は、グリップリング、またはダイシングフレームに嵌合／貼り付けられたウェハーを1枚収納可能。 スタック可能なため省スペースで保管可能。 試作品や少量の搬送、出荷、保管に好適です。 【特長】 ■グリップリング、またはダイシングフレームを1枚収納可能 ■ウェハは非接触 ■スタック可能なため省スペースで保管...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

【ガススプリングの代替に】パワーアシストヒンジ採用事例

ガススプリングの代替にパワーアシストヒンジを。ガス抜けがなく省スペース…

チップマウンターのカバー開閉部分に パワーアシストヒンジ HG-PA230-25を採用いただきました。 【課題のポイント】 ・ガススプリングを取り付けるスペースが確保できないが、開けるときのアシスト機能が欲しい。 ・積層表示灯を見やすい装置にしたい。 【解決のポイント】 カバーの重量が重いため従来機種ではガススプリングを使用されていましたが、新機種では内部の装置の関係でガススプ...

メーカー・取り扱い企業： スガツネ工業株式会社 テクノフィールド事業部

バッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）

微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応　省…

H2ラジカルによりフラックスフリーのバンプリフローを実現。 フラックスの塗布・洗浄工程を削減。リフロー前後のウェット工程を削減。ウェット装置のスペース・処理・ユーティリティーを削減する省エネ・省スペース・クリーンプロセス。 ３００ｍｍウェハ対応の処理ステージによる最先端量産プロセスをバッチタイプのハードで小径基板のニッチデバイスに対応 短タクトのバッチ処理で多品種少量生産やR&D用途に対応...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

やワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置

ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です…

省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。 メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減します。（特許第3558543)...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び 　チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

精密貼り合せ装置（半自動）

精密貼り合せ装置（半自動）

ム基板などの2枚の基板を手動で位置決めし、貼り合せを行う装置です。 近年、貼り合わせ製品の薄層化、外観精度の要求レベルが高くなっておりますが、弊社が保有する貼り合せ技術（速度、圧力制御機構）を省スペースの装置に集約し、キズや気泡のない高品質の貼り合せを実現しました。...

メーカー・取り扱い企業： 長野オートメーション株式会社

省エネ、フロンガス対策チラー　※置き換え事例ハンドブック進呈

省エネ効果でカーボンニュートラル、カーボンプライシング対策に！ 温室…

合わせることにより、温度安定性と温度レスポンス性に優れたペルチェ素子の特徴を最大限に生かしたチラーです。従来のチラーで採用されている冷凍機とヒーターを用いた非効率な温度制御方式に比べて、省エネ、省スペース、低騒音、低振動、脱フロンといった、多くの革新性と優位性を備え、半導体、レーザー装置、分析機器、医療機器、ストレージ、航空技術、軍事産業など、特にシビアな温度制御が要求されるマーケットで豊富な納...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

高速熱処理装置(RTP/RTA) AccuThermoシリーズ

高速熱処理装置（RTP/RTA装置）　AccuThermo シリーズ

○温度制御範囲+100℃ 〜 +1,250℃ ○高速加熱100℃/sec，高速冷却100℃/sec ○高いウェハ間プロセス再現性 ○特定のプロセス条件に対応した温度−時間プロファイル ○省スペースかつ、高いエネルギー効率 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…

nm)、H線（405nm)に対応！（g線はご相談ください） ■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光 ■オートアライメント機能 ■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能 ■省スペース&簡単メンテナンス ■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適 ■超精密UVWステージ搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

マニュアル・プローバ・システム

ハイソルが経験と実績に基づき独自に開発設計した、高性能・低価格のマニュ…

ハイソルが経験と実績に基づき独自に開発設計し、実現した 多機能マニュアルプローバー。 コストパフォーマンスに優れ、省スペース、ローノイズ、DC〜マイクロウェーブの広い周波数領域、-65℃〜＋400℃の測定温度領域。 初めてプロ-バーをご利用される方から次世代デバイスの開発用途までPMPシリーズなら幅広くご...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

水冷ヒートシンク

抜群の冷却効果！

素子の大容量化により、空冷による冷却方法は限界になりつつあります。 当社の無酸素銅製水冷ヒートシンクは厚み6〜20mmと空冷の約10分の1!!面積あたり数倍の冷却効果があり、省スペース化に貢献します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社高木製作所

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

要なコントローラが内臓されているので組込み費用が安くなります。 電子的に回転数をコントロールできます。 エア駆動ベローズポンプ、遠心式マグネットポンプより小型で、小さな取付面積で設備・装置の省スペース化を実現します。 医療及び半導体業界で実績のあるオリジナル技術を採用しています (平均故障間隔 /MTBF> 50年)。...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』

IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…

打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハーをIPA（イソプロピルアルコール）の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置『TIDシリーズ』は、IPAの品質管理システムおよび、種々の安全シ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

ATプレス『ATD100/ATP100』

エアプレスで40kNの高推力を実現

の特徴】 1. アイセルが独自に開発したDTP機構を採用することで、 　通常のエアシリンダーより推力を大幅にアップさせることが可能になりました。 2. 油圧ユニットが不要なため、工場の省スペース化に貢献いたします。 3. 油圧・電気を使用することなく、エアを繋ぐだけで、簡単に設置できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

連続電気再生式イオン交換スタックE-Cell

酸/アルカリによる再生処理が不要で、環境に優しい純水製造を実現する。

　食品と飲料業界 ◆E-Cellスタックの特徴 ・　高脱塩性能(透過水比抵抗：Max 18MΩ・cm) ・　高回収率(Max 供給水の95%回収可能) ・　電気再生で薬液不要 ・　省スペース、省エネルギーで低コスト ・　操作が簡単、メンテナンスが容易 ・　増設、システム化が簡単...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンコー

高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…

に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハー（RCA）洗浄装置、精密部品洗浄装置、インゴット洗浄装置、エッチング装置、IPAドライヤー装置など各種装置を取り揃えております。 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

バッチ式洗浄装置

クリーン化技術・搬送／制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗…

験に裏打ちされた、クリーン化技術・搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作して参ります。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」

ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、…

種生産用途のコンパクトな洗浄装置です。 ■特長： ・精密洗浄：ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄 ・強力洗浄：ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施 ・省スペース：縦型設計で、小フットプリントを実現...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

3次元ステレオ式インラインX線検査装置ILX-1100/2000

3D-X線ステレオ方式により インライン自動検査のコストダウンが実現し…

own）に あるため、外観からは検査できません。 QFN/SONなど、はんだ付けが部品底面にある部品の検査に好適です。 【特長】 ■安全設計、X線の取り扱い資格不要 ■小型、省スペースでインラインX線検査が可能 ■両面実装基板の裏面の影響を受けずに検査できる ■X線ステレオ方式で3D断層検査による検査が可能 ■小型基板（50×50mm）からLサイズ（510×460mm）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイビット

【配管自動切換装置】ストレートタイプ

まだバルブで切換えてますか？ホースや配管切換作業の自動化を特許技術で実…

を危険作業から解放します！ ◎自動弁やバルブユニットと比べて、一筆書きでの切替が出来るため、廃液や食品ロス、洗浄液を削減でき、SDGsに貢献します！ ◎クロスコンタミが無くなります！　 ◎省スペース化できます！ ◎自動弁やバルブユニットと比べて、シール類の予防保全の必要が無くなり、ランニングコストの削減が出来ます！ ◎ピグシステムの搭載も可能です！...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

フラックスレス蟻酸リフロー装置

200mm/300mmウェーハ、ガラス、250mmのサブストレートPK…

【フラックスレス蟻酸リフロー】 ■処理時間：60~100枚/時 ■プロセス温度：100~260℃ (最大450℃) ■温度分布：±3℃以下 (9-point 測定) ■省スペースフットプリント: 4.95m2 / L x W x H =1.8 x 2.75 x 2.55 m 4層シングルウエハーチャンバー設計により、高精度なプロセス制御を実現 ...

メーカー・取り扱い企業： Yield Engineering Systems, Inc.

トランス・大型電磁石・制御装置・電源装置

この国の産業を支える独自に培ってきた先進技術

情報機器、機械、各分野で重要な役割を果たすと共に、時代の要請に応える先見性の高い製品として、お客さまの好評を得ております。特にトランスと電磁石に関しましては、いち早く取り入れた水冷方式によって、省スペース化・軽量化・防塵対策などのメリットを活かし、国内でも有数のシェアと実績を誇っております。...

メーカー・取り扱い企業： 東邦電気株式会社

ウェハソーター

正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…

動ソーティング装置です。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ 【特長】 ■低価格を実現 ■2～8インチまで対応可能 ■フットプリントの低減（省スペース化） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

瞬間真空高温ヒータープレス

ハイテク・ナノテク・新素材の研究試験機として高精度・手頃な価格で

コンパクトサイズで場所をとらない為研究室などに容易に設置できます。 ■最大400℃ 常用温度350℃（最大400℃） ■瞬時真空 1kPaを10〜30秒の短時間で真空引きできます。 ■省スペース 省電力、軽量、小型で操作がしやすく、工場内をキャスターにて移動することができます。 ■保守点検 空気圧作動のため保守点検が簡単です。 ■特注対応 実験機から生産機まで、お客様のニーズ...

メーカー・取り扱い企業： ミカド機器販売株式会社

石英ガラス管インラインヒーター（ケミカルヒーター）

石英ガラス製のジャケットとハロゲンランプ熱源のインラインヒーター（ケミ…

1.クリーン：接液、外管を石英ガラスで構成 2.安全性：テフロン（耐酸、耐熱）設計 3.有効性：省スペース化、液量の少量化 4.熱源：ハロゲンランプヒーターによる赤外線光エネルギー 5.筐体：メンテナンスが容易なコンパクトサイズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大興製作所 事業統括本部

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッ…

の剥離や各種シリコン薄膜のエッチング、フォトレジストのアッシングなどを効率よく、かつ低損傷で行うドライエッチング装置です。操作方法は簡単で、試料をセットしてボタンを押すだけで使用できます。また、省スペースで場所を選ばず、床置型、卓上型のどちらにも対応が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

ハンディタイプＵＶ（紫外線）硬化装置

高出力のUV硬化装置をお手元で、簡単に。 樹脂にあわせた３種類の…

瞬時に光重合反応をおこし硬化する技術です。 　これらのＵＶ硬化技術は、従来の熱乾燥などと比較すると「硬化・乾燥」までに至る時間が圧倒的に短く、溶剤等の使用量が飛躍的に削減される為、「省エネ」「省スペース」「環境面」に於いてその特性を発揮します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社あすみ技研

外観検査装置　Prestige V

８インチWafer専用に開発したPrestige IIのコストダウンモ…

PRESTIGE Vは既存PRESTIGE IIの廉価版製品。装置のサイズを50%ダウンし、省スペース化しました。カメラアングルは評価段階で設定し、工場出荷時に固定し、ウェハサイズに制限はあるものの検査機能はPRESTIGE IIを継承した廉価版製品になります。 ...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

る ○磁気軸受内蔵のため汚染リスクが減少 ○剪断等で影響を受けやすい流体に対し穏やかなポンプ ○粒子やコンタミがポンプ内に滞留しにくい構造 ○脈動がない、スムーズな定常流が得られる ○省スペース化を実現...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

e-クリーン　2液1槽式脱脂洗浄機（HC溶剤+HFE溶剤）　

省スペース・低ランニングコスト・低価格の超音波洗浄機！安全・簡単乾燥を…

炭化水素（HC)系洗浄溶剤で洗浄⇒HFE溶剤蒸気でリンス洗浄⇒乾燥工程で速乾性のあるHFE溶剤を回収（乾燥・洗浄終了）⇒取り出し HC溶剤は洗浄中、HFE蒸気に覆われ、直接空気に触れる事が無い為、引火の心配が不要。 リンス洗浄工程で使用するHFE溶剤の沸点は56℃で洗浄物の表面温度は56℃以上には上昇しません。 洗浄後の製品取り扱いが非常に簡単になります。 本装置で使用します溶剤は全て回収...

メーカー・取り扱い企業： 大川興産株式会社

大気圧・自公転式撹拌脱泡ミキサー　A-mid550

自転公転独立可変速により材料に最適な状態で撹拌できる優れもの

研究・開発から少量生産に最適な中容量タイプ ＜特長＞ １．自転・公転独立可変速により材料に最適な回転数に調整可能 ２．ベルト類の消耗品交換以外はメンテナンスフリー ３．中容量タイプでも省スペース ４．レシピ登録数が100通り...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME

ボールバルブ（ボール弁）『H-700シリーズ』

簡易ロック機構付で安全性向上。ステンレス316製、中圧（13.5MPa…

たは全開で使用するように設計されています。 ＜特長＞ ・最高使用圧力13.5MPa、最高使用温度204℃ ・PTFEパッキン使用 ・簡易ロック機構付で安全性向上 ・コンパクト設計で省スペース、低コストを実現 ・多様な接続：LET-LOK継手（食い込み継手）、NPTおよびPTネジ等 ・ロック機構ハンドル（標準）、バタフライハンドルをご用意 ・オプションで完全禁油、酸素禁油をご用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

ニードルバルブ（グローブバルブ）『H-300Uシリーズ』

コンパクトで低操作トルクの高圧対応、PTFEパッキン採用のボンネット一…

類のステム形状で様々な流量調整を可能にします。 ＜特長＞ ・最高使用圧力5000psi（340 bar）、最高使用温度230℃ ・ストレート型およびアングル型対応 ・コンパクト設計で省スペース、低コストを実現 ・材質：ステンレス316鋼および真鍮 ・4種類のステムでシャットオフ、および流量調整 ・パネルマウント対応 ・PTFEパッキン採用 ・接続：LET-LOK（食い込み継...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

半導体プローバー　CP12

従来のプローバーから大幅にサイズダウン、価格を下げたウルトラローコスト…

従来のサイズから小型化を求めた省スペースタイプのプローバーになります。スループットの大幅な改善と光学の技術によるウェハーアライメント、また、テストアプリケーションを介し、プローバー機能とテスト機能に効率よくアクセスすることにより、ソフ...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

Inception 枚葉式スピンプロセッサー

R＆Dからパイロット生産への移行に適切なInception

■ 標準仕様でタンク2基を搭載し多様なプロセスをサポート ■ エッチングレート100Å/Secにおいても優秀なユニフォーミティ ■ 搬送系はマニュアル・自動に対応 ■ 初期投資が抑えられる ■ 省スペース ■ 小ロット生産向け ■ 酸とソルベントのプロセス ■ スピンナーでは実現できない複合的搬送システム ■ エッチングユニフォーミティーはバッチタイプを凌ぐ ■ タンクは２～4基搭載可能 ■ 2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

Advancer セミオートウェットプロセッサー

省スペースながら精密なパフォーマンス

Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。 【生産性】 低コストながら高いパフォーマンス ■ 前後側面マウントロボット ■ 大きな薬液容量 ■ 薬液投入、タンク内で混合 ■ 素早いリンス 【生産性】 最適なパフォーマンスのための各種モデル ■ 洗浄、エッチング、剥離など多様なアプリケーション ■ タンク数1-6によって3種類のプラットフ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

【デモ機貸出中！】卓上型スピンコーター

省スペースなスピンコーター　排気装置もこの一台に内包　インナーカップ方…

『卓上型スピンコーター』は、平滑な基材を高速回転させることで遠心力によって塗膜を生成する装置。主に半導体製造工程で活躍します。 塗布サイズはMAXφ150～MAXφ450（卓上型／インナーカップ方式）をラインアップしています。 また、デモ機の貸出や実際に弊社にてテスト的に厚み測定を行う事も随時受付ております。ご興味有る方はぜひお気軽にお問合せ下さい。 ※詳しくはカタログダウンロード、...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

液体急冷凝固装置

超小型・高性能・定価格！

噴射することにより、結晶の核形成速度より速く冷却され、急冷薄帯金属が容易に得られます。（液体急冷法） 小型な研究用から大型水冷ロールまで、各種タイプがございます。 【特徴】 ○コンパクト設計で省スペース ○移動も簡単 ○ギャップ調整機構 ○単ロール型と双ロール型の2タイプ ○マグネットカップリング方式 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日新技研株式会社

真空熱加圧装置　2Dタイプ

大面積へ真空中で均一に加熱加圧することが可能な汎用機です。 ボイドレ…

【特徴】 ○クイックに真空 ○高精度 ○安全な作業 ○省スペース ○保守点検 ○特注対応 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社

LED照明付半田ヒューム吸煙機／ 品番　M812SG-2111K

LED照明とフィルタ・小型ファンが付いたスタンド式の縦型ハンダ吸煙機で…

■特長 ●ハンダ煙は上に舞い上がるため、横置きタイプと比較すると上部から確実に吸煙ができます。 ●ダクト式の箱型吸煙装置と比較して省スペースなので、設置や管理が簡単です。 ●高さと角度の調整ができるので、最適な場所で吸煙できます。 ●LED 照明の下で、明るい環境で作業ができるため、作業効率が上がりますまたセル生産（ハンダ・ねじ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シロ産業

真空熱加圧装置 3Dタイプ

3D形状へ真空熱加圧を行う装置です。 曲面貼りや凹凸封止、段差への追…

【特徴】 ○3D加圧 ○等方向加圧 ○安全な作業 ○省スペース ○保守点検 ○特注対応 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社

実験・研究用露光装置

コンパクトな設計のマニュアル式オートアライメント露光装置(マスクアライ…

小ロット生産や実験・研究に最適なマニュアル一括露光装置 ・高精度オートアライメントおよび裏面アライメント機能を搭載。 ・割れ基板へのオートアライメントが可能。 ・フットプリントを縮小化することで省スペースを実現。 ・UV-LED光源搭載可能 ・レシピ管理機能 ・バーコードリーダーを用いたオペレータ補助とLOG保存。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研

スプレー/パドル兼用 小型スピン現像装置（デベロッパー)

高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両…

マルチステッププログラムは99ステップ×50パターン保存可能。 薬液系統増設や薬液温調システム等のオプションもご用意しています。 他サイズ、特注仕様もご相談下さい。...6インチウエハ対応の小型スピン現像装置。スイング式ノズルによるスプレー現像の他、パドル現像も行なえます。 プログラム入力により現像→リンス→振り切りの一連動作を連続して行なうセミオート方式デベロッパーです。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

テフロンヒーター（薬液加熱用投げ込みテフロン被覆ヒーター）

投げ込み型のテフロンヒーターです

１．接液部はオールフッ素樹脂で構成 ２．耐薬品性にすぐれている（アルカリ及びフッ酸にも使用可） ３．処理槽の底部に設置するので省スペース ４．ワークと強度に接触しても破損の心配は少ない ５．取扱いが容易である ６．ヒーター部のみの取替えも可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大興製作所 事業統括本部

セミオートテープマウンター

プリカットテープ対応でコスト削減、品質向上！

●　業界最小 　　コンパクトな省スペース設計で置場を選びません。 ●　業界最速 　　貼付け速度25sec/枚を実現。 ●　プリカットテープ対応 　　廃棄テープ幅が従来の1/4に！大幅なコスト削減ができます。 ●　ワンタッチ操...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

光ディスク製造装置

ＤＶＤホットメルトボンディングシステム

◆◇◆特徴◆◇◆ ◆生産タクトが早い(世界最速) 　※※1set(貼り合せディスク)=2sec以下(最速1.5sec) ◆省スペース ◆接着剤のランニングコストが安い ◆無公害 ◆◇◆詳細は、資料請求またはお問合せ下さい◆◇◆...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファスト

【メタルマスク】サン工芸オリジナル着脱枠システム

特許取得済み！メタルマスクの取付け、取外しがワンタッチに行えるサン工芸…

ンは任意に変更することができ、常に適切なテンションにて印刷が実現します。 また、着脱枠はレンタル方式を採用しているため、イニシャルコストを 低く抑える事が可能です。 【特長】 ■省スペース ■テンション管理が可能 ■マスクの揺動が少ない ■枠の返却が不要 ■特許取得済み ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サン工芸

バッチ式プラズマアッシング装置　ウエハアッシャー装置

50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウ…

・低価格・省スペースを実現 （4インチウエハ、5インチウエハはオプション対応） ・低ダメージでアッシング及び表面改質が可能 ・多様なプロセスに使用可能な50枚一括バッチ式のプラズマアッシング装置。 ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

小型剥離機　SPseries　SPS40

水平揺動によるファインパターン対応の省スペースタイプ

コンパクト設計の超高精度シリーズ　SPseries　SPS40は、水平揺動によるファインパターン対応の省スペースタイプの小型剥離機です。タッチパネル操作により使いやすい機能とすっきりしたデザインを兼ね備えた設計です。数々の安全機能を標準装備しており、お客様のニーズにあった設計変更が可能です。 詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム