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PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ(ルーツ真空ポンプ)です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社宇野澤組鐵工所
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PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大5…
attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本レーザー
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水封式真空ポンプからの置換えに適したタフなドライ真空ポンプ
◆化学業界で水封式真空ポンプからドライポンプへ置換える際に、様々な吸引物により、一般的なドライ真空ポンプでは不具合が発生します。当社のドライ真空ポンプは吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、故障せず安定した連続運転が可能...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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目的に合わせて選択可能!長年の技術の蓄積と経験に支えられた充実のライン…
当社では、各タイプの『ピラニ・電離真空計・真空弁・真空部品』をご用意しています。 真空度(低真空~高真空)や吸引ガスなど目的に合わせて選択可能です。 高い信頼性により化学・素材分野から電子デバイス製造分野まで関係まで 幅広...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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CVD装置用真空排気装置(塩素系ガス対応真空ポンプユニット)
熱CVD装置の排気に実績多数。Cl系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…
ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ(水封式真空ポンプとメカニカルブースタ)をユニット化。 CVD装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…
業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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あらゆるガスの排気に対応する神港精機の水封式真空ポンプ
豊富な販売実績を持つスタンダードモデルです。他方式ではトラブルの基となる様々なガスを水でシールすることにより安定して排気します。 ◆水封式真空ポンプは水でシールすることで凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能にします。 ◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、多少の粉塵では止まりません。 ◆腐食性ガスが混入する用途では、ステンレス等...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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有害物の流出を防ぐ封液循環型の水封式真空ポンプ
有害ガスが封液に溶解して排水されることを防ぐため、封液を直接流出させずに循環させる「封液循環型」の水封式真空ポンプです。排水処理でお困りの場合に適しています。 ◆水封式真空ポンプと気水分離タンク、熱交換器で構成されており、コンパクトにユニット化しました。 ◆腐食性ガスが混入する用途では、ステン...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製)
耐食性に優れるステンレス製(SUS316相当)の水封式真空ポンプ
選択可能です。 ◆Oリングやメカニカルシールの材質変更も可能です。 ◆同じ型式であれば鉄製のポンプとも取り合いが同じため、配管工事不要で、既設機からの置き換えが可能です。 ◆水封式真空ポンプですので凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能です。 ◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、多少の粉塵では止まりません。 ◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます(水温...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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圧倒的な堅牢性を誇る油回転真空ポンプ
過酷な現場を含め、幅広い用途で生き残ってきたロングセラー商品です。高い耐久性により多くのユーザーから信頼を得ております。 ◆過酷な現場での使用実績が豊富で耐久性に優れる油回転真空ポンプです。 ◆安定して低い圧力が得られます。 ◆シンプルな構造で故障が少ないです。 ◆標準装備のガスバラスト弁により、微量の水蒸気でしたら排気が出来ます。...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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ステンレス製(SUS316相当)の水封式真空ポンプで腐食性ガスへ対応
ケミカルプロセスでは腐食性を含んだ様々なガスを吸引します。接ガス部にステンレス(SUS316相当)を用いることで、通常の鉄製に比べ格段に耐食性に優れる水封式真空ポンプとなります。 ◆蒸留、乾燥、反応用途などで数多くの実績があります。 ◆接ガス部は耐食性材質としてグレードの高いSCS14(SUS316)のステンレスのため、腐食性ガスの吸引も可能で...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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【省エネ】最少の消費電力で排気能力を最大化するメカニカルブースタ
後段の真空ポンプ(ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ)と組合せることで、小さな動力で排気速度を大幅に増やし、到達圧力を1~2桁低くできます。 ●排気効率が非常に高く、省エネで排気速度と到達...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…
◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポン…
豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを有したスマートドライポンプです。 ●独自設計の面シールスクリューロータにより、ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。 ●排気速度重視の「パワーモード」、省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。 ●非腐食性ガスの場合、冷却用ガス・シールガス・パージ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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長年の使用に耐える堅牢な構造で高速排気!多くの実績を誇る油拡散ポンプ!
耐える堅牢な構造で高速排気が大きな特長です。 薄膜形成装置・冶金関係・化学関係など多くの用途で信頼を得ています。 また、水冷バッフルや液体窒素トラップなど周辺部品も充実しており安定した 高真空性能を実現します。 【特長】 ■排気速度が大きい ■油蒸気の逆流が少ない ■ヒーターの寿命が長い(アルミ鋳込みヒーター使用) ■高い許容背圧が得られる(サイドエゼクタ形) ※詳し...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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油回転真空ポンプからの置き換えに最適なドライポンプ
真空焼結炉では飛散するバインダーが油回転真空ポンプに堆積し故障原因となったり、オイルが汚染され頻繁なオイル交換の必要があります。当社ドライポンプは内部にバインダーが堆積しにくい構造のため故障せず、オイル交換にかかるランニングコストも大幅に削減できます。 ●真空焼結炉では油回転真空ポンプからドライポンプへの置き換えが今のトレンドです。 ●独自設計のスクリューロータにより、吸引されたバインダーを...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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