• 全自動連続粉末・粉体成形機『プログラム成形機』 製品画像

    全自動連続粉末・粉体成形機『プログラム成形機』

    PRタッチパネル搭載!荷重/時間曲線を自由に設定でき、安定した連続運転が可…

    プレス機・成形機メーカーであるエヌピーエーシステム製「プログラム成形機」は、 ニューセラミックス・金属粉末等成形用の全自動連続粉末・粉体成形機です。 タッチパネル(デジタル設定・表示)によるプログラム設定が可能。 荷重/時間曲線を自由に設定でき、安定した連続運転ができます。 真空成型(成形)は真空チャンバー方式で均一に成形可能。 上パンチがワーク(成形体)に当たり荷重がかかると、フローティング...

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    メーカー・取り扱い企業: エヌピーエーシステム株式会社

  • 公自転式撹拌脱泡装置『カクハンター SK-1100TV III』 製品画像

    公自転式撹拌脱泡装置『カクハンター SK-1100TV III』

    PR中型量産モデルがパワーアップして新登場。真空減圧機能を搭載し、微細な気…

    『カクハンター SK-1100TV III』は、材料の撹拌・脱泡を同時に行える装置です。 真空減圧機能を搭載しており、真空引きをしながら遠心脱泡が行えるため 除去が困難なサブミクロンレベルの泡まで脱泡処理することが可能。 高粘度材料にも対応できるほか、公転・自転の比率を 可変することができ、材料や条件に合わせた処理が行えます。 【特長】 ■回転数大幅UPによる強力撹拌  当社従来機との比較で...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社写真化学 草津事業所

  • 【化学業界向け】ドライ真空ポンプ 製品画像

    【化学業界向け】ドライ真空ポンプ

    水封式真空ポンプからの置換えに適したタフなドライ真空ポンプ

    ◆化学業界で水封式真空ポンプからドライポンプへ置換える際に、様々な吸引物により、一般的なドライ真空ポンプでは不具合が発生します。当社のドライ真空ポンプは吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、故障せず安定した連続運転が可能...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • ピラニ・電離真空計・真空弁・真空部品 製品画像

    ピラニ・電離真空計・真空弁・真空部品

    目的に合わせて選択可能!長年の技術の蓄積と経験に支えられた充実のライン…

    当社では、各タイプの『ピラニ・電離真空計・真空弁・真空部品』をご用意しています。 真空度(低真空~高真空)や吸引ガスなど目的に合わせて選択可能です。 高い信頼性により化学・素材分野から電子デバイス製造分野まで関係まで 幅広...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 大型真空オーブン 製品画像

    大型真空オーブン

     高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱 乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…

    800mm□×800mmH/バッチの大量処理が可能な多用途対応の真空オーブン。 高真空処理・真空置換後の不活性大気圧処理、低真空ガスフロー処理、複数の処理モードを1台で実現。 高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。 低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • バッチ式真空半田付装置(フラックスレスリフロー 真空リフロー) 製品画像

    バッチ式真空半田付装置(フラックスレスリフロー 真空リフロー)

    パワーモジュールからウェハバンプまでフラックスレス・ボイドレスリフロー…

    高信頼性半田付を実現するバッチ式真空半田付装置 真空排気による低酸素雰囲気での高速・均一半田付。真空・常圧・各種雰囲気(還元・不活性)の組合せにより高いレベルのボイドレス半田付を実現。車載用高信頼性パワーモジュールの標準プロセスの基...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • CVD装置用真空排気装置(塩素系ガス対応真空ポンプユニット) 製品画像

    CVD装置用真空排気装置(塩素系ガス対応真空ポンプユニット)

    熱CVD装置の排気に実績多数。Cl系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

    ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ(水封式真空ポンプとメカニカルブースタ)をユニット化。 CVD装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 真空はんだ付け装置(真空リフロー装置) 製品画像

    真空はんだ付け装置(真空リフロー装置)

    インターネプコンにも出展!大型製品にも対応した新製品のご紹介 <サン…

    真空はんだ付け装置は真空中ではんだを溶融させることにより、 はんだ中のボイドを除去します。 予備加熱を水素雰囲気または蟻酸雰囲気で行うことにより、 フラックスレスはんだ付けを実現します。 パワーデバイス製造工程のスタンダード機として国内実績No.1クラスを 誇ります。 上部ランプヒータ仕様採用により、重量物を含む大型製品/異形基板にも対応しています。 【展示会出展情報】 インター...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 真空排気装置(真空ポンプユニット) 製品画像

    真空排気装置(真空ポンプユニット)

    実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

    業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 水封式真空ポンプ SWシリーズ 製品画像

    水封式真空ポンプ SWシリーズ

    あらゆるガスの排気に対応する神港精機の水封式真空ポンプ

    豊富な販売実績を持つスタンダードモデルです。他方式ではトラブルの基となる様々なガスを水でシールすることにより安定して排気します。 ◆水封式真空ポンプは水でシールすることで凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能にします。 ◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、多少の粉塵では止まりません。 ◆腐食性ガスが混入する用途では、ステンレス等...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 封液循環型 水封式真空ポンプ SW-S/AS-Cシリーズ 製品画像

    封液循環型 水封式真空ポンプ SW-S/AS-Cシリーズ

    有害物の流出を防ぐ封液循環型の水封式真空ポンプ

    有害ガスが封液に溶解して排水されることを防ぐため、封液を直接流出させずに循環させる「封液循環型」の水封式真空ポンプです。排水処理でお困りの場合に適しています。 ◆水封式真空ポンプと気水分離タンク、熱交換器で構成されており、コンパクトにユニット化しました。 ◆腐食性ガスが混入する用途では、ステン...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 縦型真空アニール装置 製品画像

    縦型真空アニール装置

    ウェハプロセス対応 本格量産システム アニール・シンター・ポリイミドキ…

    クリーンな真空中で均一加熱。高いクリーンネスや低酸素濃度を求められるプロセスに最適。縦型石英管型アニール装置。 最大8インチ相当のウェハや各種基板に対応。CtoCシステム採用による自動化&クリーンシステム。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製) 製品画像

    【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製)

    耐食性に優れるステンレス製(SUS316相当)の水封式真空ポンプ

    選択可能です。 ◆Oリングやメカニカルシールの材質変更も可能です。 ◆同じ型式であれば鉄製のポンプとも取り合いが同じため、配管工事不要で、既設機からの置き換えが可能です。 ◆水封式真空ポンプですので凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能です。 ◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、多少の粉塵では止まりません。 ◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます(水温...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 金属ナノペースト焼結接合対応真空半田付装置 製品画像

    金属ナノペースト焼結接合対応真空半田付装置

    神港精機の真空半田付装置に新型登場 優れた均熱性・昇降温特性と雰囲気制…

    パワーデバイスモジュールの生産を支える神港精機の真空半田付装置がアップグレード。昇降温特性と均熱性能を向上させ処理寸法も拡大。従来通りの雰囲気制御性能と処理温度の高温化によって金属ペーストの焼結接合に対応。 低酸素濃度の実現と100%水素雰囲気によ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 油回転真空ポンプ SR/SRPシリーズ 製品画像

    油回転真空ポンプ SR/SRPシリーズ

    圧倒的な堅牢性を誇る油回転真空ポンプ

    過酷な現場を含め、幅広い用途で生き残ってきたロングセラー商品です。高い耐久性により多くのユーザーから信頼を得ております。 ◆過酷な現場での使用実績が豊富で耐久性に優れる油回転真空ポンプです。 ◆安定して低い圧力が得られます。 ◆シンプルな構造で故障が少ないです。 ◆標準装備のガスバラスト弁により、微量の水蒸気でしたら排気が出来ます。...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 超高真空スパッタリング装置(STM2323型) 製品画像

    超高真空スパッタリング装置(STM2323型)

    先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

    10‐⁷paの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動CtoC方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。 高効率強磁性体用カソードやワイ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 【化学業界向け】水封式真空ポンプ(ステンレス製) 製品画像

    【化学業界向け】水封式真空ポンプ(ステンレス製)

    ステンレス製(SUS316相当)の水封式真空ポンプで腐食性ガスへ対応

    ケミカルプロセスでは腐食性を含んだ様々なガスを吸引します。接ガス部にステンレス(SUS316相当)を用いることで、通常の鉄製に比べ格段に耐食性に優れる水封式真空ポンプとなります。 ◆蒸留、乾燥、反応用途などで数多くの実績があります。 ◆接ガス部は耐食性材質としてグレードの高いSCS14(SUS316)のステンレスのため、腐食性ガスの吸引も可能で...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 真空熱処理装置(ホットプレートタイプ) 製品画像

    真空熱処理装置(ホットプレートタイプ)

    急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングな…

    実績豊富な真空半田付装置の基本構成を応用。半田付用の熱板加熱で高速熱処理。 高密度実装基板・プリント板の成膜前の脱ガス・乾燥。セラミックス材料の乾燥など多用途に最適。 太陽電池セルの低温べ―クや薄膜のアニール...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 量産用真空半田付装置(蟻酸対応タイプ) 製品画像

    量産用真空半田付装置(蟻酸対応タイプ)

    ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支…

    豊富な実績を誇るバッチ式真空半田付装置を本格量産用に展開。 従来のH2雰囲気プロセスに加え蟻酸対応をプラス。より高い信頼性を持つボイドレス半田付を量産ラインで実現。 車載用パワーデバイスモジュールの半田付の標準装置。 社...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 研究開発用真空蒸着装置 製品画像

    研究開発用真空蒸着装置

    目的・コストに合わせて柔軟に対応!大学・公的研究機関や基礎実験用に。

    『研究開発用真空蒸着装置』は、 大学・公的研究機関や基礎実験用に適した小型蒸着装置シリーズです。 コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型と全手動で抵抗加熱源を 基本構成とした簡易実験型の2機種をラインア...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • リフトオフプロセス対応真空蒸着装置 製品画像

    リフトオフプロセス対応真空蒸着装置

    高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置で…

    『リフトオフプロセス対応真空蒸着装置』は、 化合物半導体やSAWデバイスなど光デバイスや高周波・通信デバイスに 多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置です。 蒸発源に電子銃と抵抗加熱電極を装備しており、高融電...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • ウェハプロセス用真空蒸着装置 製品画像

    ウェハプロセス用真空蒸着装置

    膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現!高品質の電極膜を安定して形…

    『ウェハプロセス用真空蒸着装置』は、6インチまでのウェハへの 電極膜形成に対応したバッチタイプ蒸着装置です。 ディスクリートIC、化合物IC、MEMSデバイスの量産用途に 豊富な実績を持っています。膜厚均一性に...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • アーク放電型高真空イオンプレーティング装置 製品画像

    アーク放電型高真空イオンプレーティング装置

    精密工具専用小型装置から大型金型対応の大型量産タイプまで豊富なラインア…

    『アーク放電型高真空イオンプレーティング装置』は、極めて緻密で平滑な 硬質膜を形成できるイオンプレーティング装置です。 独自方式によりアルゴンガスを不要とした高真空中での成膜を可能とし、 緻密で高い反応膜の形...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • メカニカルブースタ SMB-Cシリーズ 製品画像

    メカニカルブースタ SMB-Cシリーズ

    【省エネ】最少の消費電力で排気能力を最大化するメカニカルブースタ

    後段の真空ポンプ(ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ)と組合せることで、小さな動力で排気速度を大幅に増やし、到達圧力を1~2桁低くできます。 ●排気効率が非常に高く、省エネで排気速度と到達...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 化合物半導体用蒸着装置(AAMF-C1650SPB型) 製品画像

    化合物半導体用蒸着装置(AAMF-C1650SPB型)

    先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…

    従来型よりコンパクトなチャンバに大口径クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。 蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。 実績豊富な6連式電子銃...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 化合物半導体用電極膜アニール装置(可変雰囲気熱処理装置) 製品画像

    化合物半導体用電極膜アニール装置(可変雰囲気熱処理装置)

    化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…

    ェハの本格量産用途に対応した縦型タイプ(ウェハ自動搬送機構付)と4インチ以下のウェハに対応した横型タイプの2機種をラインナップ。 目的に合わせて開閉型の加熱炉体や急冷用空冷ファンの装備が可能で、高真空排気系・O2ガス系・APC機構など多くのオプション類を揃えています。 真空及び不活性雰囲気中の処理を標準としており、オプションで還元雰囲気中での処理にも対応いたします。 高真空排気後の大気圧水素...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 横型水素アニール装置(可変雰囲気熱処理装置) 製品画像

    横型水素アニール装置(可変雰囲気熱処理装置)

    小径ウェハ(4インチ)や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…

    化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のSiウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温(1000℃)均一加熱 ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ 製品画像

    ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ

    独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

    ◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SSHシリーズ 製品画像

    ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SSHシリーズ

    省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポン…

    豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを有したスマートドライポンプです。 ●独自設計の面シールスクリューロータにより、ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。 ●排気速度重視の「パワーモード」、省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。 ●非腐食性ガスの場合、冷却用ガス・シールガス・パージ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • アニール装置『可変雰囲気熱処理装置』 製品画像

    アニール装置『可変雰囲気熱処理装置』

    ウェハやガラス等の多種基板の処理可能 幅広い用途対応した可変雰囲気熱処…

    当社では、真空・酸素雰囲気(常圧)・還元雰囲気(常圧)の雰囲気での 処理が選択できる急昇降温型の「横型アニール装置」を取り扱っています。 6インチまでの各種基板(ウェハ、セラミック、ガラス、実装基板)の処...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 巻取式プラズマ処理装置(RtoRプラズマ装置 評価テスト受付中) 製品画像

    巻取式プラズマ処理装置(RtoRプラズマ装置 評価テスト受付中)

    繊維の搬送・処理に実績を持っており電子関連や先端材料まで幅広い用途に対…

    当社では、フィルムや金属箔などフレキシブルな基板のクリーニング・親水化などの 表面処理に適したRtoR式の「プラズマ処理装置」を取り扱っています。 真空プラズマにより基板や目的に合わせたプロセスガスやプラズマモードが 選択でき、大気圧プラズマでは困難なプロセスに対応しています。 実績豊富な巻取式スパッタリング装置と基本構造を共通化しており、...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 側面電極用イオンプレーティング装置(面実装小型部品対応) 製品画像

    側面電極用イオンプレーティング装置(面実装小型部品対応)

    小型電子部品(面実装タイプ)の側面電極形成をドライ化。PVD(イオンプ…

    電子銃による真空蒸着を基本とし独自のイオン化機構で緻密で高い密着威力を持つ電極膜を高速形成。 横型タイプを採用し、小さな設置面積で大きな処理量を実現。 電極の形成も密着層・接合電極も同一真空槽で一括形成。成膜前...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • ポリイミドキュア装置(300mmウェハ対応 クリーンベーク装置) 製品画像

    ポリイミドキュア装置(300mmウェハ対応 クリーンベーク装置)

    300mmウェハ対応ポリイミドキュア、ベーキング、低温アニール、多層基…

    真空置換後の低酸素雰囲気(N2)中で高均一性熱風加熱。300mm ウェハをカセット単位で加熱処理。システムLSIポリイミドキュア、フレキシブルプリント基板キュア・アニールに対応。300mmウェハカセット単位のキュアリングで高品質化と量産化を両立 ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • バッチタイププラズマリフロー装置(フラックスリフロー) 製品画像

    バッチタイププラズマリフロー装置(フラックスリフロー)

    微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応 省…

    φ300mmウェハ対応のバッチタイプ 表面波プラズマ(SWP)による高密度ダメージフリーラジカル処理 急速昇降温型ホットプレート装備 真空プロセスによるボイドレスバンプを実現 オプションでレジストアッシングに対応 サンプルテスト対応中...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • PIG式 DLCコーティング装置 製品画像

    PIG式 DLCコーティング装置

    優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現!スパッタカソードを標準装備していま…

    ■極めて平滑なDLC膜が形成可能:(Ra=0.015μm以下) ■成膜レートが早い:(3μm/hr以上) ■低温成膜:(200℃以下) ■厚膜形成可能:(20μm) ■DLC膜の除膜:同一真空槽内でDLCの除膜が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 量産用プラズマクリーニング装置(大型プラズマクリーナー) 製品画像

    量産用プラズマクリーニング装置(大型プラズマクリーナー)

    自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

    平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、パワーデバイスモジュール、リードフレーム、樹脂フィルム、フレキシブル実装基板の量産ラインに対応 搬送機構・クリーニング前後機構を...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 水素アニール装置(電子デバイス用、サンプルテスト対応中) 製品画像

    水素アニール装置(電子デバイス用、サンプルテスト対応中)

    大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…

    6インチウェハ対応の石英管の横型炉を標準とし、8インチ、縦型炉がオプション対応 高真空排気系も装備可能で、より純度の高い還元雰囲気熱処理が可能。 実績豊富な機器構成に加えボートローダーやデータロギング機構などの周辺機器も豊富にラインアップ。 不活性雰囲気アニールにも対応できる専用...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • プラズマクリーニング装置「POEM」(プラズマクリーナー) 製品画像

    プラズマクリーニング装置「POEM」(プラズマクリーナー)

     多機能型プラズマクリーニング装置。 サンプルテスト受付中 クリー…

    コンパクトな筐体に電極切替機構や複数のガス系を装備効果大の真空プラズマ装置 φ230処理の小型タイプから500mm□(φ600mm)対応の大型までラインアップ 基板寸法や生産ライン構成・生産量に合わせて自動搬送機構を個別設計。ラインの自動化とハイスループッ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 簡易実験用スパッタリング装置 製品画像

    簡易実験用スパッタリング装置

    手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種 簡易ロードロックタイプで化合…

    チタイプ ・全手動化し低コスト化 ・小型基板での少量生産に充分なプロセス性能を実現 ・ハードの信頼性と膜質の安定性を実現 ■簡易ロードロックタイプ ・手動搬送機構を装備 ・クリーンで高い真空性能 ・均一な膜厚・プラズマ・加熱分布性能 ・高結晶性窒化膜(AlN)や高反射率金属膜の形成が可能 ・紫外LED用AlNテンプレート作成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 多目的スパッタリング装置 製品画像

    多目的スパッタリング装置

    研究開発から量産までサポート!

    ード化、4インチカソード多元化) ●高温加熱機構(800℃) ●バイアススパッタ機構 【ラインナップ】 ●ロードロック式スパッタリング装置 ●マルチチャンバスパッタリング装置 ●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置 ●サイドスパッタリング装置 ●カルーセルタイプスパッタリング装置 ●巻取式スパッタリング装置 ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 油拡散ポンプ『SD、SDBシリーズ』 製品画像

    油拡散ポンプ『SD、SDBシリーズ』

    長年の使用に耐える堅牢な構造で高速排気!多くの実績を誇る油拡散ポンプ!

    耐える堅牢な構造で高速排気が大きな特長です。 薄膜形成装置・冶金関係・化学関係など多くの用途で信頼を得ています。 また、水冷バッフルや液体窒素トラップなど周辺部品も充実しており安定した 高真空性能を実現します。 【特長】 ■排気速度が大きい ■油蒸気の逆流が少ない ■ヒーターの寿命が長い(アルミ鋳込みヒーター使用) ■高い許容背圧が得られる(サイドエゼクタ形) ※詳し...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 量産対応バッチタイプスパッタリング装置 (STH10311型) 製品画像

    量産対応バッチタイプスパッタリング装置 (STH10311型)

    φ410基板×4枚の自公転基板台を4枚備えたバッチ型のスパッタリング装…

    基板台の採用により、量産用としての処理量と優れた膜厚均一異性を両立したバッチタイプスパッタリング装置です。 サイドスパッタ方式により1mを超えるチャンバ系でありながら、基板やターゲットの着脱作業、真空層内のメンテナンスの簡易性を実現しました。 量産用途に最適なデータロギングシステムや装置制御や管理を容易にする制御インターフェースソフトなど量産用装置に必須な細かな配慮が組み込まれています。 3...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 簡易実験用スパッタリング装置(SRV3100型) 製品画像

    簡易実験用スパッタリング装置(SRV3100型)

    小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置 全手動操作で低コスト…

    高い信頼性をもつ上位機種と真空槽・排気系を共通化。操作方法の手動化によって低コスト化を実現。膜種・目的に合わせて各部(カソード・基板台等)が選択可能。実績豊富な各部機構と安定した成膜性能で研究開発作業の効率化・質の向上が「図れま...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 真空はんだ付け装置(真空リフロー装置) 製品画像

    真空はんだ付け装置(真空リフロー装置)

    国内実績No.1をもつ真空リフロー装置のスタンダード! <サンプ…

    真空中ではんだを溶融させることにより、はんだ中のボイドを除去します。 また予備加熱を水素雰囲気または蟻酸雰囲気で行うことにより、フラックスレスはんだ付けを実現します。 パワーデバイス製造工程のスタンダード機として国内実績No.1を誇ります。 多彩なオプションと豊富な装置ラインナップで、お客様にとって最適な装置をご提案致します。 <第2回ものづくり日本大賞 優秀賞受賞>...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 【真空焼結炉向け】ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) 製品画像

    真空焼結炉向け】ドライポンプ(ドライ真空ポンプ)

    油回転真空ポンプからの置き換えに最適なドライポンプ

    真空焼結炉では飛散するバインダーが油回転真空ポンプに堆積し故障原因となったり、オイルが汚染され頻繁なオイル交換の必要があります。当社ドライポンプは内部にバインダーが堆積しにくい構造のため故障せず、オイル交換にかかるランニングコストも大幅に削減できます。 ●真空焼結炉では油回転真空ポンプからドライポンプへの置き換えが今のトレンドです。 ●独自設計のスクリューロータにより、吸引されたバインダーを...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

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