独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

電流導入端子

PR高真空、超高真空へ の電流導入端子です！

米国MPFプロダクト社の電流導入端子のご紹介です。 ■MIL丸型、C-Sub型のマルチピン、熱電対、高電流・高電圧タイプ、同軸タイプ等各種電流導入端子を取り扱っております。 ■電流導入端子と併せて使用するコネクタ、ケーブル等もお取り扱いがございます。 ■標準品のカスタマイズ（フランジの変更、ピン長さの変更等）にも対応しております。まずはお問い合わせ下さいませ。 ※詳しくはカタログを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

真空配管用部品『VG/VF 真空フランジ型』

JIS規格に定められた寸法及び品質！低真空から高真空領域までカバーする…

テクノフレックスでは、真空配管用部品『VG/VF 真空フランジ型』を 取り扱っています。 低真空から高真空領域までカバー。 JIS規格(JIS B 2290)に定められた寸法及び品質のフランジとなっております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノフレックス

加圧真空弁

高純度ガス用ベローズバルブ「SBBシリーズ」に真空用KFフランジ接続タ…

当製品は、真空用KFフランジ接続タイプのベローズバルブです。 高純度ガス用・真空用各種バルブをラインアップする当社の特長を 生かし、技術・ノウハウを融合させた加圧から真空までワイドレンジに 対応可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

真空バタフライバルブ『IVWFシリーズ』

半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフ…

『IVWFシリーズ』は、半導体真空装置の真空排気ラインに設置できる シンプルな構造を持った遮断弁です。 シンプルな構造により、コンパクト化と軽量化を行ったことを特長とし、 バルブ取り付け作業が容易。 スロットルバルブ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

真空配管用部品『ISO-K/ISO-F フランジ』

クロークランプ型とボルト型の2種類をラインアップ！ISO1690に対応…

テクノフレックスでは、真空配管用部品『ISO-K/ISO-F フランジ』を 取り扱っています。 クロークランプ型とボルト型の2種類をご用意。 ISO1690に対応させた真空継手となっております。 また当社では...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノフレックス

簡易型ストップバルブBV16A

ＮＷ１６真空フランジ接続の真空ボールバルブ

ボールバルブ式の簡易型ストップ弁で、NW真空フランジ接続です。 大気圧から中真空（＞１00Ｐａ）で使用できます。 BV25A（NW25-NW25接続）、BV1625A（NW16-NW25接続）、BV16A（NW16-NW16接続）の3種類...

メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社

L型真空ベローズバルブ『IVB/IVBL』

半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能！シンプルな…

『IVB/IVBL』は、従来同様、ボディにSUS304を採用し耐久性、 低コスト化を考慮したL型真空バルブです。 極限まで部品点数を減らしたシンプルな構造により低コスト化を実現し、 容易なメンテナンスが可能なデザインになっています。 ベローズシール構造により高いリーク性能を持っており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

真空配管用部品『アダプター』

ボルト・ナットが不要！クリーンで内面が平滑な真空コンポーネンツをご紹介…

株式会社テクノフレックスでは、真空配管用部品『アダプター』を 取り扱っています。 クリーンで内面が平滑、ボルト・ナットが不要で脱着が簡単な継手です。 当社では「フランジアダプター」をはじめ、「パイプアダプター」、 「...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノフレックス

真空配管用部品『COP センターリング』

4種類のガスケットをラインアップ！各種口径も揃っている真空コンポーネン…

株式会社テクノフレックスでは、真空配管用部品『COP センターリング』を 取り扱っています。 材質は、316L SSとフッ素ゴムとなっており、各種口径も揃っております。 この他にも当社では、「AUT アウターリング付セ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノフレックス

真空配管用部品『L エルボ』

4種類の配管・分岐管をご用意！ボルト・ナットが不要で脱着が簡単な真空コ…

株式会社テクノフレックスでは、真空配管用部品『LP エルボ』を 取り扱っています。 クリーンで内面が平滑となっており、ボルト・ナットが不要で脱着が簡単。 この他にも当社では「TP ティー」をはじめ、「XP クロス」「N...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノフレックス

真空配管用部品『CF コンフラットフランジ』

4種類をラインアップ！高温のベーキングが可能な真空コンポーネンツのご紹…

テクノフレックスでは、真空配管用部品『CF コンフラットフランジ』を 取り扱っています。 固定型・回転型・キリアナ型・タップ型の4種類をご用意。 全て金属製の継手であるため高温のベーキングが可能となっております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノフレックス

真空配管用部品『CLW-AL クロークランプ』

アルミニウムとステンレス素材をご用意！ISO-MF継手の接続用の真空コ…

株式会社テクノフレックスでは、真空配管用部品『CLW クロークランプ』を 取り扱っています。 ISO-MF継手の接続に使用。 アルミニウムとステンレス素材をご用意しております。 「CLW-AL クロークランプ ダブル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノフレックス

【用途】医療用ガス/真空

冷却用、ユーティリティー、火災用水などの医療用ガス/真空での用途をご紹…

当社が取り扱う、「LOKRING継手」の医療用ガス/真空での 用途をご紹介いたします。 NFPA 99 (Para. 5.1.10.7(4)) 2005認証や、真空配管、 窒素/酸素/亜酸化窒素を使用するラインなどに好適。 ご要望の際は、...

メーカー・取り扱い企業： E-Piping株式会社

【ピスコ】真空パッド用関連機器『フレキシブルホルダ』

使用真空圧力0～-100kPa！傾きのあるワーク面に真空パッドが追従し…

『フレキシブルホルダ』は、ワーク吸着面が傾斜、湾曲している時に好適な 真空パッド用関連機器です。 ワーク接触時の衝撃をやわらげるストローク付き。 スプリング内蔵により傾きをリセットし、ワーク吸着動作時にパッド吸着面の 向きが一定です。 【特長】 ■傾...

メーカー・取り扱い企業： テックトレーディング株式会社

SMST真空コンポーネント部品　総合カタログ

真空コンポーネント部品総合カタログ。NW・ICFやJIS VG/VF規…

『SMST真空コンポーネント部品　総合カタログ』は、NW規格フランジ・ICF規格フランジ・JIS VG/VF規格フランジなどの真空部品を掲載したカタログです。 半導体製造装置・液晶製造装置・有機EL製造装置にお...

メーカー・取り扱い企業： 湘南丸八エステック株式会社

L型真空ベローズホットバルブ『IVBHK』

最高250℃まで昇温可能なＬ型真空ベローズバルブ！マントルヒーターには…

『IVBHK』は、「IVBH」シリーズの構造をベースに接ガス部温度を 最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズホットバルブです。 バルブ外側ヒーターの他にベローズ内部のヒーターも装備されおり、 内部ヒーターは弁閉、弁開状態でも弁体とベローズを加熱できるため コールドスポットがなくなり副生成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー