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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PRプロセス装置に連続で薬液を供給
本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である 【仕様】 ○外形寸法:W1720*D810*H2010 ○重量:約800kg 本装置はプロセス装置に予め決められた濃度の薬液を供給するための装置である。最大、2種類2系統の薬液を供給することが出来ます。希釈濃度や供給量など動作に関する詳細はご希望内容に対応させていただきます。...●その他機能や詳細については、カタログダウ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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蒸気ボイラーの有無など、過熱蒸気発生装置の選定ポイントをご紹介します
過熱蒸気発生装置を選ぶ際に注意していただきたい 3つのポイントをご紹介します。 新たに蒸気ボイラーを設置するには、場所・コスト・認可など様々な 条件をクリアする必要がございます。 まずは、蒸気ボイラ...
メーカー・取り扱い企業: トクデン株式会社
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マンガで解る便利な過熱蒸気発生装置UPSS! コスト削減・廃棄処理の秘…
過熱蒸気発生装置「UPSS」は、最高1200℃の過熱蒸気の発生が可能です。 さらに、±1℃の温度制御性に加え、95%以上の熱効率により 生産性向上や製品品質の安定性向上、ランニングコスト削減を可能にしました。 ...
メーカー・取り扱い企業: トクデン株式会社
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蒸気温度精度±1℃!緻密な温度制御が可能な過熱蒸気発生装置!
過熱蒸気発生装置『UPSS』は、95%の高い熱効率と省エネ・省資源を実現し、 運用コストの削減が可能な装置です。 「UPSS Sシリーズ」は、既存ボイラーを利用して過熱蒸気を発生させるタイプ。 既存の設備...
メーカー・取り扱い企業: トクデン株式会社
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【過熱蒸気量Max.6000kg/h】防爆エリアに設置される反応釜や樹…
【搭載機器・機能】 ■ドレンセパレータ ■減圧弁 ■非常停止装置 ■遠隔操作用入力端子 ■カスケード制御機能 ■冷却水停止保護 ■加熱管交換時期警報機構 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ...
メーカー・取り扱い企業: トクデン株式会社
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液体から金属まで精度よく加熱!クオリティの高い製品製造を実現する加熱装…
『中周波誘導加熱装置』は、電流浸透度の高い中周波磁場での誘導加熱方式により、 安定した温度で精度よく金属を加熱、歩留まりを向上させ、 さらにクオリティの高い製品製造を実現します。 設定温度までの昇温も速いため...
メーカー・取り扱い企業: トクデン株式会社
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用途募集中!水から1200℃の過熱蒸気発生!あらゆる業界で注目されてい…
過熱蒸気とは、水を沸騰させ発生した飽和蒸気を、さらに加熱した高温の蒸気のことです。 過熱蒸気は飽和蒸気や熱風と比較して以下のような特徴を持つことから、洗浄、除菌、乾燥等が必要となる用途において、製造業全般、食品業界、医療業界等、様々な分野で注目を集めています。 ★レンタルご希望の方は、下記お問い合わせフォームよりお気軽にお問合せください。 【特徴】 ・常温で高温化が可能 ・伝熱性...
メーカー・取り扱い企業: トクデン株式会社
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過熱蒸気発生装置『UPSS』が大賞受賞の栄誉に輝く!
公益財団法人 京都産業21から優れた新製品・新技術の開発を行う京都の 中小企業へ授与される顕彰の中で、最も栄誉ある「京都中小企業技術大賞」に 過熱蒸気発生装置『UPSS』が選出されました。 2012年に開発・製品化した『UPSS』は順調に売上を伸ばし、当社に根付く コア技術を屈指した独自性溢れる製品として今回大賞を受賞しました。 今後も技術...
メーカー・取り扱い企業: トクデン株式会社
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熱加工後の急速な冷却が可能に!ダウンタイムを大幅に削減し、稼働率を大幅…
ミスト発生装置搭載の『ハイブリッドロール』は、加熱後の速やかな冷却を可能にした冷却機能付き誘導発熱ジャケットロールです。 設備コストやダウンタイム、作業時間の削減に加え、稼働率を大幅に向上します。 【...
メーカー・取り扱い企業: トクデン株式会社
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最高1200℃の過熱蒸気を発生!アルミ溶解に最適!
過熱蒸気発生装置「UPSS Wシリーズ」は、最高1200℃の過熱蒸気の発生が可能です。(※従来の過熱蒸気発生装置は、最高温度500℃クラス) さらに、変圧器による誘導加熱方式で±1℃の温度制御性を実現します。 ...
メーカー・取り扱い企業: トクデン株式会社
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最高1200℃の過熱蒸気を発生!金型の洗浄に最適!
過熱蒸気発生装置「UPSS Wシリーズ」は、最高1200℃の過熱蒸気の発生が可能です。(※従来の過熱蒸気発生装置は、最高温度500℃クラス) さらに、変圧器による誘導加熱方式で±1℃の温度制御性を実現します。 ...
メーカー・取り扱い企業: トクデン株式会社
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最高1200℃の過熱蒸気を発生!機械部品の乾燥や消毒・殺菌に最適!
過熱蒸気発生装置「UPSS Wシリーズ」は、最高1200℃の過熱蒸気の発生が可能です。(※従来の過熱蒸気発生装置は、最高温度500℃クラス) さらに、変圧器による誘導加熱方式で±1℃の温度制御性を実現します。 ...
メーカー・取り扱い企業: トクデン株式会社
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日工株式会社 事業本部