2流体ノズル | イプロスものづくり

ハンディタイプ新登場！蒸気・液体をピンポイントで超音速噴射。2つの衝撃…

【基本構成】・蒸気発生装置・2流体ノズル 【資料の掲載内容(抜粋)】・キャビテーションとは・蒸気2流体の特長・水のレジスト膜への浸透・半導体工程での処理例(白金残渣) ・太陽電池用シリコン基板の切削粉除去・...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

太陽電池用シリコン基板の切削粉除去の洗浄データ公開中　超音速噴射ノズル…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。本ページでは、太陽電池用シリコン基板の切削粉を除去処理した際のデータ資料を掲載...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

2流体ノズル ナイフジェット KJIS型幅広製品のミスト洗浄に

スリットから均一に強力なミストを発生するノズル。噴射距離を短く設定でき…

通常のミスト洗浄ノズルは、単孔ノズルを複数個配置させ、噴射高さを50～100ｍｍに設定することで洗浄幅を確保しますが、ナイフジェットノズルはエアーと液体をノズル内部で混合させ、スリットから均一で強力なインパクトのミストを噴射します。そのため、噴射距離を従来より短く設定でき、洗浄効果が大幅に向上。空気や液体の消費量の削減、とくに大型機のユーティリティーの削減に効果を発揮します。【...

メーカー・取り扱い企業：株式会社共立合金製作所　/　総代理店　エバーロイ商事株式会社

自動ノズル洗浄機

水と空気で洗浄する人と環境にやさしい装置です。

水と空気のみで洗浄する二流体洗浄技術により、溶剤は一切不要。...水と空気で洗浄する人と環境にやさしい装置です。・水と空気のみで洗浄する二流体洗浄技術により、溶剤は一切不要。・必要なのは、わずかな水（１hに100cc）と空気のみ。・ツインノズル採用で洗浄時間が従来の1/2に！・タッチパネルで簡単操作・サイレンサー内蔵で低騒音・安全性を意識し、CEマーク認証部品を採用 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トーヨーコーポレーション

洗浄用ノズル【モーター駆動三次元ノズル】

エアモーター・電動モーターで駆動する3次元回転ノズル【細い通過径対応】…

エアモーター・電動モーターによる外部駆動のノズルのため、コンパクトなノズルヘッドが安定した3次元回転噴射をします。回転検知、制御が可能です。洗浄は、その対象に応じて、デバイスを効率的に配置させることが重要です。 KITは多数のデバイスを取り揃え、豊富な実績に基づいて最適な組合せをご提案させていただきます。洗浄についてのお困りごとがありましたらお問合せください。株式会社KI...

メーカー・取り扱い企業：株式会社KIT(キット）

高粘度流体吸引装置『OKACLEAN-L』

インキパンの清掃は吸わせる時代！アルミボディ採用で本体重量18Kg

『OKACLEAN-L』は、DIP方式の工場で必須作業であるインキパンの廃インキ清掃を主目的に開発された高粘度流体吸引装置です。バキューム力の適正化と主要部品をアルミ製とする事で18Kgまで小型・軽量化する事に成功、階段の持ち運びも可能なモデル。一般的な清掃方法に比べて大幅な時間短縮と省力化に貢献します。【特長】 ■動力はエアーのみ ■高真空が可能にする圧倒的な...

メーカー・取り扱い企業：ウヤマエンジニアリング株式会社東京営業所

動画で紹介【超音速スチーム洗浄装置】

超音速スチーム洗浄装置の応用例を動画でご紹介しております！

超音速蒸気2流体洗浄装置は、超音速噴射ノズルから蒸気（気体）と水（液体）の2相流を超音速で噴射することで、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させその衝撃波で洗浄を行います。応用用途として、以下のようなお引き合いを多くいただいております。＜応用例＞・塗装の前洗浄工程の簡素化・食品製造機器の洗浄における自動化、省人化・食器類の洗浄作業における工数削減・...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『ASTE（アステ）』

金属汚染のない半導体用の洗浄装置！単式蒸気噴射音速ノズル搭載

『ASTE（アステ）』は、エッチング後のポリマ除去や、ウエハ上の異物除去（ブラシスクラバの置換え）が出来る、金属汚染のない蒸気2流体洗浄装置です。高価なアミン系剥離剤等の薬液を使わずにポリマとレジストを同時に除去できるので大幅なコスト低減が期待できます。原料は「水」なので、環境にやさしい洗浄装置です。【特長】 ■コスト低減 ■工程数削減 ■環境負荷低減 ...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

ウェーハジェットスクラバー

ウェーハ単体、ウェーハリング等に対応！専用ノズル追加で界面活性剤を塗布…

当社の、純水のみで高速洗浄する『ウェーハジェットスクラバー』をご紹介します。「WJS-150B」をはじめ「WJS-200B」や「WJS-300B」をラインアップ。また、ウェーハ単体、ウェーハリング（ハーフカット、フルカット、エクスパンド）等々、さまざまな工程に対応可能です。【特長】 ■純水のみで高速洗浄 ■さまざまな工程に対応可能 ■専用ノズル追加で、ブラシ洗...

メーカー・取り扱い企業：ダイトロン株式会社

蒸気洗浄装置『VALIUS（バリウス）』

レジスト・ペースト除去ができる太陽電池用の洗浄装置！超高速処理が可能

『VALIUS（バリウス）』は、レジスト・ペースト除去が出来る、多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、コンパクトな設置面積（本体）を実現しています。連続処理で500枚／時以上の超高速処理が可能。原料は「水」なので、化学薬品の使用量を大幅に低減することができる環境にやさしい装置です。【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』

金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置

『BEUGA（ビューガ）』は、金リフトオフ、レジスト剥離ができる、多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、金リフトオフ工程では95％以上の金回収率が可能です。原料は「水」なので、化学薬品を削減できるため、コスト低減、環境付加の軽減にも貢献します。【特長】 ■コスト低減 ■金回収率向上 ■環境負荷...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

洗浄装置「ブラシ洗浄機」

コンベア方式多種対応！インバーター速度可変の洗浄装置

ヴァリアス社製の「ブラシ洗浄機」は、多種サイズ、形状に対応。ロールブラシ、ディスクブラシ多種材質選択可能です。また、リンス洗浄、スリット超音波、2流体ノズル搭載できます。【特徴】 ○熱風式、ヒーター(ランプ)式乾燥選択可 ○前後工程との連結も可能詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：ヴァリアス株式会社

粉じん・臭気防止システム BECS『特殊ミスト噴霧工法』

通常のミストとは違い粉じん防止剤混入で、水の表面張力をなくしほこりとミ…

『特殊ミスト噴霧工法』は、浮遊する粉じんに、特殊ミストを噴霧することで粉じんの拡散防止、捕捉・除去します。ミスト噴霧により臭気が薄れ、消臭効果が見込めます。また、気化熱により温度が2～3度下がることで作業環境の改善になります。二流体方式を採用することでノズルの目詰まりがなく安定した運用が可能です。【特長】 ■高い粉じん捕捉効果 ■製品・現場に影響を与えない ■簡易なメ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ベックワークス

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」

超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄！ランニングコ…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。【特長】 ■ブラシ等の消耗品がなく、ランニングコストを大幅に低減 ■使用す...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

水蒸気2流体洗浄と超音波・高圧洗浄の異物除去率の比較公開中

超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄する水蒸気2流…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。本ページでは、有機ELを対象に、当社製品と超音波＋高圧洗浄の異物除去率の比較の...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（レジスト膜浸透）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

水のレジスト膜への浸透処理を公開中　超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。本ページでは、水のレジストへの浸透を処理前と処理後の比較資料を掲載しております...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（ビアホール洗浄）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

ビアホールの洗浄比較資料公開中　超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。本ページでは、ビアホールの洗浄処理前と処理後の比較資料を掲載しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（接触角測定）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

ガラス表面の接触角測定の洗浄データ公開中　超音速噴射ノズルから蒸気と液…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。本ページでは、ガラス表面の接触角測定を洗浄した際のデータ資料を掲載しております...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（白金残渣洗浄）蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」

半導体工程での処理例を紹介！　超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。本ページでは、半導体工程（白金残渣）での洗浄前と洗浄後の比較資料を掲載しており...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・1チャンバー完結　完全枚葉処理・パドル処理、低速回...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室