2流体ノズル | イプロスものづくり

レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

超音波スプレーノズルで形成された粒子（液滴）はピエゾ部分の振動で砕かれます。即ち、加圧式と異なり粒子にスピードがありません。そのため、自然に落下してしまうか、風の影響で浮遊してしまいます。そこで空気搬送（キャリアエアー）を使用して形成された粒子を搬送させて、塗布させます。 ...通常、細かい粒子を作る場合は、加圧が必要です。若しくは二流体という流体を2つ使用して液体を砕く方法が主...

メーカー・取り扱い企業：ティックコーポレーション株式会社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

自動レジスト現像装置（枚葉式）デベロッパー Developer

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…

枚葉式フォトレジスト現像装置です。パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！また、厚膜レジスト現像～微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載（オプション：全面露光ユニット）マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたライ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ブラシ洗浄からの置き換え！枚葉式ウエハ洗浄装置（スクラバー）

実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせ…

当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。また、DIP処理で問題となるパーティクルの再付着がありませ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…

枚葉式で現像、全面露光（反転露光、イメージリバーサル）、ベーク、クーリング機能を搭載。リフトオフ用レジストで逆テーパーの角度を決める重要なPEB。当社独自プログラムで逆テーパー角度を安定させます！また、ネガレジストの露光後ベークに使用することで安定プロセスが得られます。マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、設計から製造・販売まで自社で行ってい...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コンパクト！手動フォトレジスト現像装置（マニュアルデベロッパー）

少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式の…

当製品は、枚葉式のマニュアル現像機です。薬液BOXと処理カップ部分の本体が一緒になったコンパクト仕様です。マニュアル機をお客様のニーズに合わせて設計から製造・販売しています。研究開発目的としてだけでなく少量多品種の製品を扱うお客様にご利用いただいております。 TMAH等多彩な薬液に実績があります。【特長】 ■低価格を実現 ■コンパクト！ ■パドル、1流体スプ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

水中不純物・重金属除去装置　『SPM-300シリーズ』

薬液処理や汚物処理の蒸発が可能な環境改善に適した装置

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

装置寸法：1000mm(W)×1000mm(D)×1650mm(H) 装置重量：300Kg程度液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム。1系統 50ml標準塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧。1個または2個制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用＜装置の使用例＞・自動車：ランプ、フロントガラス、バンパー等・レンズ：ハード...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒットコーポレーション

ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトッ…

ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄～スクラブ洗浄～リンス洗浄～吸水ローラ乾...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像…

N2と現像液を混合して吐出する2流体スプレー方式の現像装置です。 N2の圧力を変更することで、スプレーの吐出圧力を変更することができます。液の圧力を高め、高圧で吐出す方法や、液量を少なくして霧状にして柔らかく吐出する方法など幅広くスプレーの吐出パターンを選べます。スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。マニュアル機～フルオート...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…

1流体スプレー方式の現像装置です。現像液の圧力でスプレーをするため、スプレーによるミストが飛び散りにくく、また現像スピードを速くすることができます。大型基板や厚膜の現像に最適です。スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載。マニュアル機～フルオート機まで生産量に合...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

食品医療などの粉体化に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

特殊ノズルによる気化性が上がるため、有機・無機を問わず粉体化が可能な装…

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・1チャンバー完結　完全枚葉処理・パドル処理、低速回...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム（オプション）超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

太陽電池のハードコート等　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

太陽電池のTiO2やハードコート等実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

有機ELの好適な　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

有機ELの高分子膜など実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

液晶レジスト　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レジストやハードコートなど実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

化合物半導体の成膜等に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

高輝度LEDや半導体レーザー用成膜など実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

自動車ランプの膜処理など　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

自動車ランプの着色や、フロントガラスの防曇膜に好適な成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

メッキ塗装に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

膜厚均一、自動車ボディカラーなど実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

燃料電池に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

燃料電池の電極など実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

プリント基板の成膜に好適　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

銅膜形成、レジスト、埋め込み、平坦化など実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

MEMSのレジスト膜等に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

MEMSのレジスト膜など実績多数の成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

防曇膜など多数実績あり　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レンズ表面のハードコートや防曇膜に好適な成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

成膜コーター『SPM-300シリーズ』

塗布材料の塗着効率が高く、微少流量での成膜に適した成膜コーター

■装置寸法：1000mm(W)×1000ｍｍ(D)×1650ｍｍ(H) ■装置重量：概略300Kg程度 ■液供給方式：シリンジポンプによる液供給システム 1系統 50ml標準 ■塗布方法：2流体ノズルによる微粒化噴霧 1個 ■制御：主制御にシーケンサ、表示スイッチ類はタッチパネルを使用・塗布速度：1～500mm／sec ・アトマイズエア流量設定：5～12l／min N2使用可・薬...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり

生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…

自動酸・アルカリ洗浄装置。対応ワークサイズ　φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能。【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能。 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン