CMP | イプロスものづくり

PR優れた耐薬品性で医薬品や工業用など幅広い分野で活躍。豊富なシリーズから…

Aflexブランドの『PTFEライナーフレキシブルホース』は、流体接触面を化学反応が少ないPTFE樹脂でライニングした製品です。優れた耐薬品性を備え、高圧および最大260℃の高温に耐性を発揮。滑らかな内面構造により、液体の流速を確保できます。 CIP/SIPに対応したシリーズもあり、高い衛生性が求められる分野でも活躍。ホースに接着剤を使用しないため、剥離によるコンタミリス...

メーカー・取り扱い企業： Watson-Marlow（ワトソンマーロー）株式会社東京本社、大阪支社

電流導入端子

PR高真空、超高真空への電流導入端子です！

米国MPFプロダクト社の電流導入端子のご紹介です。 ■MIL丸型、C-Sub型のマルチピン、熱電対、高電流・高電圧タイプ、同軸タイプ等各種電流導入端子を取り扱っております。 ■電流導入端子と併せて使用するコネクタ、ケーブル等もお取り扱いがございます。 ■標準品のカスタマイズ（フランジの変更、ピン長さの変更等）にも対応しております。まずはお問い合わせ下さいませ。 ※詳しくはカタログを...

メーカー・取り扱い企業：有限会社テクサム

オンライン密度計式　CMPスラリー濃度計

国内外での実績豊富。スラリーの固形分濃度の算出。ノーメンテナンス　3年…

　オンライン密度センサーのパイオニア、アントンパールが提供する高精度な密度センサーでスラリー液体の測定が可能なスラリーモニターです。　濃度調整用のほか、再生用や戻り（リターン）配管への設置など、様々なポイントに設置できます。　砥粒についてもシリカ、アルミナ、酸化セリウム他、様々な素材に対応可能です。Si用のほか、SiC用にも対応します。　接液材質の変更も可能な連続測定用センサーのため、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アントンパール・ジャパン

全天日射計　CMP11／CMP-21／CMP-22

全天日射量を測定、全天日射計

◆日射計ボディへの加熱と冷却は零点の安定性にほとんど影響しません。 ◆熱電対が同心円状に配列され、方位角特性の誤差を少なくしています。 ◆アルミナセラミック基板は熱伝導率が高いため、最大日射量のときでも基板内の　温度差が３℃以下になっています。 ◆放射以外の熱流に影響されないように受感基板の下に熱流を補償するエレメントを搭載。 ◆コサイン特性と方位角の誤差は太陽角度１０...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プリード

【プレスケール活用事例】CMP研磨ヘッド

設計効率が大幅に向上！時間短縮と品質向上を実現できた事例をご紹介

プレスケールをCMP研磨ヘッドのあたり均一性確認を目的として活用した事例をご紹介。研磨不良の原因が不明確なまま生産を継続するため、精度が不十分であったり不良品が頻繁に発生するなどの問題がありました。 ...

メーカー・取り扱い企業：富士フイルム株式会社検査・測定

CMPパッドコンディショナー

ダイアモンド砥粒と基板の分子レベルでの強固な化学的結合を達成！CMPプ…

米Morgan Advanced Ceramics社のCMPプロセスで使用する表面がダイアモンドで覆われた独特の構造のパッドコンディショナーを提案致します。ダイアモンド砥粒をシリコン基板、あるいはセラミック基板にCVDコーティングした構造です。ダイアモンド...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

動かせない／大型ワークの粗さ・形状測定に◆ポータブル高精度測定機

【測定事例付き製品資料進呈中】■２nmの高分解能■ナノ単位3Dデー…

秒　●鏡面仕上げのワークの測定や、全数検査もスピーディー　●振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応＜実績例＞ ※粗さ、輪郭、形状、体積、平面度他　●半導体製造用 CMPパッド（粒子測定）　●車体などの塗装面　●タイヤ　●アスファルト表面　●金属ローラー　●シートメタル　●印刷用ロール ■ PDFダウンロードより測定事例／資料進呈 ■ デモ・サン...

メーカー・取り扱い企業：マール・ジャパン株式会社

全天日射計『CMP-3B』

地表に入射する太陽エネルギーを捉え日射量に比例した電流を出力！

『CMP-3B』は、全天日射計放射（300～2800nm）を測定するセンサーです。仕様はISO9060のWMO Second Class に準拠。太陽からの直射及び天空からの散乱により地表に入...

メーカー・取り扱い企業：ロイヤル機器株式会社

学習型異音判定システム『CAT-CMP』

製品の不良品を異常な音・振動で判定するライン判定システムをローコストで…

『CAT-CMP』は、統計的手法を用いて振動/騒音データに対して判定を行う学習型コンパレータソフトウェアです。作業者の感覚に頼っていた製品の異音検査・振動検査を自動化。オフラインで後解析が可能...

メーカー・取り扱い企業：キャテック株式会社

CMP研磨液分析装置の世界市場シェア2024

CMP研磨液分析装置の世界市場：メーカー、地域、タイプ、アプリケーショ…

グローバル市場調査レポート出版社であるQYResearchは「世界のCMP研磨液分析装置の供給、需要、主要メーカー、2024 ～ 2030 年レポート」レポートには、世界市場、主要地域、主要国におけるCMP研磨液分析装置の販売量と販売収益を調査しています。同時に、CMP...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

着磁電源　CMPシリーズ

とにかくサイズにこだわった驚異の省スペース着磁電源

「どこまでサイズダウン出来るか」そこにこだわって全回路を新設計。驚異の省スペース＆ハイパワーを実現しました。全幅わずか35cm、奥行57cm、驚異の省スペース。最高充電電圧2500V。小型モータの着磁ならその殆どをカバーできるハイパワー。操作パネルに高輝度カラー液晶タッチパネルを採用。【基本スペック】 ○充電電圧　1500V～2500V ○許容電流　最大30...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイエムエス

ポータブル光学表面粗さ測定機 MarSurf CM mobile

■ 2 nm の高分解能 ■ モバイル型の共焦点顕微鏡 ■大型／移動が…

　わずか数秒で測定室と同様の高解像度3Dデータを取得します。 ●様々な用途に対応　粗さ、輪郭、形状、体積、平面度他 ●従来比約７倍の測定スピード　コンフォ―カルマルチピンホール技術（CMP）を採用。　従来の共焦点顕微鏡の約７倍の速さで測定。 ●接触式測定法と99％の相関性　アメリカ国立標準技術研究所（NIST）規格SRM2460による測定結果より、　接触式と当機種の測定結果...

メーカー・取り扱い企業：マール・ジャパン株式会社

【プロセス分析計技術資料】CMT工程の過酸化水素を全自動で測定

プロセス分析計 / オンライン分析計でCMT工程における過酸化水素の濃…

ケミカル・メカニカル・ポリシャ«CMP»は、シリコンウェハ表面を滑らかにしたり研磨したりするために使用される主要な技術の1つです。一般的には、この工程では、脱イオン水、CMPスラリー(コロイド状シリコンやアルミナ液体分散体)、およ...

メーカー・取り扱い企業：メトロームジャパン株式会社

【Lufft】複合気象計『SE-WSシリーズ』

Lufft複合気象計ウェザーパックWSシリーズ”は低価格でありながらa…

ンベル等各種ロガーに対応しています。※オプションでアナログ変換器仕様も可能。設置からデータ回収まで容易に行えます。風向風速計は超音波式、雨量計はドップラー・転倒ます、日射計はkipp&Zonen CMP10 ,CMP3等を採用しています。気圧計、温湿度計が標準装備されています。（WS200・WS100を除く）...

メーカー・取り扱い企業：株式会社セネコム

半導体材料の純度試験微量元素分析の前処理装置

スパッタリングターゲット、CMPスラリーなど、微量不純物分析の前処理に…

・横幅：50 cm 高さ：47 cm 奥行：79 cm ・温度：最大300℃ 、圧力：最大199bar、出力：最大2000W ・最大サンプル数:28 CMPスラリー：研磨剤、酸化剤（酸化性物質）、キレート剤、腐食抑制剤スパッタリングターゲット：アルミニウム、銅、ステンレス、タンタル、ニッケル ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アントンパール・ジャパン

プロセス用濃度計、液体濃度センサー　自動化、生産性向上、DX

プロセスコントロール用。音速、密度、屈折率センサー等を用いた連続式濃度…

□■用途■□■ 濃度計としては、下記用途/実績例欄を参照その他、Brix（糖、アルコールなど）、正極/負極材、ガソリン/軽油/ジェット燃料、潤滑/研磨/切削/圧延油、めっき/酸洗槽、CMPスラリー、レジスト/エッチング液、活性炭、モノマー/ポリマー、固形分濃度/ノンボラ値（NV値）　などの測定、管理・制御、モニター、終点検出、製品判別用として ■□■アプリケーション■□■ ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アントンパール・ジャパン

用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

CMPスラリーに最適なバルブのご提案

CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら,流量を最大化する構造を持ち,研磨性スラリーを安全に運びます。このアプリケーションには,GEMÜよりPFA製のダイアフラムバルブ,グローブバルブ,計測器,フィッティングチューブをご提案できます。...

メーカー・取り扱い企業：ゲミュージャパン株式会社

燃料アンモニア計プロセス用濃度計、濃度センサー

プロセスコントロール用。アントンパールの長年の密度測定技術を用い、アン…

□■用途■□■ 濃度計としては、下記用途/実績例欄を参照その他、Brix（糖、アルコールなど）、正極/負極材、ガソリン/軽油/ジェット燃料、潤滑/研磨/切削/圧延油、めっき/酸洗槽、CMPスラリー、レジスト/エッチング液、活性炭、モノマー/ポリマー、固形分濃度/ノンボラ値（NV値）　などの測定、管理・制御、モニター、終点検出、製品判別用として ■□■アプリケーション■□■ ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アントンパール・ジャパン

原子間力顕微鏡『Park NX-Wafer』

自動欠陥検査機能、低ノイズ、高スループット！正確な原子間力顕微鏡をご紹…

ark NX-Wafer』は、欠陥のイメージングと解析を完全自動で行う AFM計測手法により、欠陥検査における生産性を1,000％向上する原子間力顕微鏡です。正確でハイスループットのCMPプロファイル測定のための低ノイズ原子間力プロファイラー。サブÅの表面粗さを極めて正確に測定し、チップ間のバラツキを最小化します。【特長】 ■欠陥のイメージングと解析を完全自動...

メーカー・取り扱い企業：パーク・システムズ・ジャパン株式会社

株式会社小松製作所取扱製品カタログ

当社で取り扱いのある各種気象機器を多数掲載！

　・デジタル気圧計 PTB210　他 ■温度・湿度　・温湿度計 HMP155 　・温度計感部 KET-2 　・自然通風筒 KNVS-XX　他 ■日照・日射・その他　・全天日射計 CMP-6E 　・全天日射計 CMP-6F 　・バイメタル日照計 KBM-723 ■システム　・総合気象観測表示システム　・広域気象観測システム　・総合気象観測システム　他 ※詳...

メーカー・取り扱い企業：株式会社小松製作所

レンズ測定：光学式3D形状粗さ測定機MarSurf CMシリーズ

レンズを高速かつ高精度に解析出来る共焦点顕微鏡■車載用マイクロレンズ■…

の特長 ◆大型・移動できない測定物を直接測定（カットサンプル不要） ◆セッティングの手間・時間を削減＜高速測定＞従来比約７倍の測定スピード！コンフォ―カルマルチピンホール技術（CMP）の採用により、従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで画像測定が可能となります。＜多用途＞粗さ、輪郭、形状、体積、平面度の計測が可能です。測定室でのnメーター精度や、自動検出を使用...

メーカー・取り扱い企業：マール・ジャパン株式会社

液体濃度計測の最高峰！インライン式屈折計 Polaris

「こんな液体や条件でも計測できるんですか！」：独自のデジタルイメージ方…

主な導入目的 • 化学：腐食性薬液計測（硫酸など）、反応終点の検知 ... • 半導体：CMPスラリー、洗浄薬液など品質管理 ... • 食品：製品品質の担保、CIP/SIP洗浄の省資源化 ... • 製薬：品質の担保、反応終点の検知 ... • 紙・パルプ：黒液／緑液の濃度管理、パ...

メーカー・取り扱い企業：ヴァイサラ株式会社

小型メモリー光量子計 COMPACT-LW　レンタル

分光感度特性、コサイン特定とも優れた性能を有しています。

【仕様】 ○モデル名 ALW-CMP ○測定項目光量子 ○センサタイプフォトダイオード ○測定範囲 0～5、000μmol/（m2・s） ○時定数 0.1秒 ○精度 ±4%FS（0～2、000μmol/（m2・s）） ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レックス

MarSurf CM シリーズ_コンフォーカル顕微鏡

高速かつ高精度に解析が可能な３D形状・粗さ測定機

彩なラインナップ卓上タイプ、カスタマイズ可能なタイプ、ポータブルタイプなど、お客様のニーズに合わせて選定頂けます。・高速測定（従来比約７倍の測定スピード）コンフォ―カルマルチピンホール技術（CMP）の採用により、従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで画像測定が可能となります。・様々な用途に対応粗さ、輪郭、形状、体積、平面度の計測が可能です。測定室でのnメーター精度や、自動検出を使用した製造...

メーカー・取り扱い企業：マール・ジャパン株式会社

【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価

Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出

Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。（クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。）...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】300mmウエハ最表面の異物の評価

異物検査装置との座標リンケージ機能で特定異物の評価が可能

異物検査装置で確認された異物の成分をクリーンルーム設置のTOF-SIMSで特定することが可能です。 CMP洗浄後の異物を評価し、着目の異物から、Cuと炭化水素成分を検出しました。異物周辺には、広範囲で同じ成分が分布していました。このことから、この異物はパーティクルというよりはむしろ、ウォーターマーク状...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

CAN・LIN対応データーロガーシリーズ

プラグ＆プレイのコンパクトで、パワフルなCAN・LINデータロガー…

ーマット(CVS, ASC等)に変換 FL3X-System XSシリーズ • バスおよび設定ポートでの時間同期の PTP / IEEE1588v2 サポート • 測定用の ASAM CMP 1.0 および PLP • CAN-HSおよびCAN-FDのウェイクアップ/スリープモードのサポート • RJ-45 経由の 1 Gbit/s イーサネット構成および測定インターフェイス ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シェルパ

Prestige エッチング加工製品、半導体外観検査装置カタログ

半導体の欠陥、ムラ、シミの検査を同一の検査工程で一度に行うことが可能。…

半導体の各製造工程、成膜、レジスト塗布、リソグラフィー、エッチング、CMPなど、ウェア上の各ダイに均一な製造工程を行いたいもの。しかし、現実には異物混入、パターン欠陥や膜厚などのばらつきにより、ウェハー上にムラが発生します。その各工程に自動化した検査装置を入...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

自動検査装置『BMWシリーズ』

歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置

『BMWシリーズ』は、デバイス製造プロセスにおいてウェーハ裏面に発生する微小凹凸欠陥を高感度・高速に検出し、露光・CMP等の後続プロセスでの歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置です。また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補欠陥に対して、レーザー顕微鏡による...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/

【デモ動画あり】電池式で持ち運びOK！横から測れるスピードメータ

用途募集につきデモ機貸出可能!!センサーの前を通過する物の速度を計測す…

スピードメータは、センサの前を通過する物の速度を計測する機器です。車のドアを閉めた時の速度計測などに使われています。単三型電池4個で使えて重さも１kgと持ち運びもラクラク！詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。＊デモ機希望の方はお問い合せより御連絡ください。...【仕様】 ○外形　170mm×125mm×50mm ○重量　720g以下(充電地を含まない場合は60...

メーカー・取り扱い企業：株式会社広洋電子

検査ツール『BMW-1200R』

デバイスプロセスの安定化を強力にサポートする必須の検査ツール！

『BMW-1200R』は、デバイス工程中、ウェーハ裏面に発生する微小凹凸欠陥（チャック痕・放電痕・打痕・接触痕等）を高感度・高速に検出する検査ツールです。露光・CMP等の後続プロセスでの歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化します。また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補ウェーハ内の個別欠陥に対し、レーザー顕微鏡による...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/

試験研究用試薬・電子工業用薬品

試験研究用試薬・電子工業用薬品・理化学機器のことなら当社にお任せ下さい…

【その他取扱製品】 ■高純度薬品/酸・アルカリ類 ■高純度薬品/各種溶剤類 ■高機能薬品　・各種洗浄液　・ドライエッチング残渣除去液　他 ■CMP用スラリー・研磨パッド ■各種レジスト　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：中国ケミー株式会社

熱電対コネクタ

熱電対補償導線の中継・延長用の接続コネクタ。コネクタの接続端子が熱電対…

）一般型：高温用（セラミック）CSC 　熱電対種類：Ｋ、J、T 　耐熱温度：900℃ 　本体色：K（黄）、J（黄）、T（黄）※全タイプ黄色となりますミニチュア型（ポリアミド）CMP 　熱電対種類：Ｋ、J、T 　耐熱温度：120℃ 　本体色：K（黄）、J（黒）、T（青）ミニチュア型：高温用（ライトン）CMR 　熱電対種類：Ｋ　耐熱温度：220℃ 　本体色...

メーカー・取り扱い企業：理化工業株式会社

表面インテンシティコンパレータ測定システム

モータのライン検査など暗騒音レベルの高い生産ラインでの「音を用いた…

表面インテンシティセンサ（マイクロホンと振動加速度ピックアップを一体化したもの）と多チャンネル分析処理器SA-02を使用して、暗騒音レベルの高い生産ラインで音を用いた良否判定を行うことが可能なシステムです。また、防音設備（無響室や無響箱）を使用しないで測定できるため、安価で効率的なライン検査システムが構築できます。...表面インテンシティは音響放射面近傍の音響インテンシティです。粒子速度を...

メーカー・取り扱い企業：リオン株式会社

【分析事例】Cu表面の酸化状態の定量

Cuスペクトルの複合解析

Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。以下、各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。（クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ロードセル

薄型精密圧縮用ロードセルで、オールステンレス製です。メーカーリンク先 http://www.minebea-mcd.com/product/loadcell/compression/cmp1.html...薄型精密圧縮用ロードセルで、オールステンレス製です。メーカーリンク先 http://www.minebea-mcd.com/product/loadcell/compress...

メーカー・取り扱い企業：三友電子工業株式会社

スラリー供給装置用『ロードセル』

超薄型20ｍｍから製作可能。～500kgfまで測定可能なスラリー供給装…

CMPスラリー供給装置における、希釈タンク、調整タンク、供給タンク用に色々な定格、形状のロードセルを用意出来ます。【掲載内容】・防水型低床台式ロードセル　 →定格　20kgf～500kgf / 形状　220□～600□ ・ローラー付き低床台式ロードセル・高精度タイプシングルロードセル →タップ加工も申し付け下さい。0.02％/定格荷重。但し大きさ、荷重によります。・ドーナツ型ロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テンサーセンサーシステム事業部