フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

熱CVD装置

反応ガスの流れが均一！反応室内にガスが淀むことがない熱CVD装置

『熱CVD装置』は、試料装填後、真空に排気した反応管内で気相成長を 行うための装置です。 石英製反応室、基板加熱系、真空排気系、ガス導入系及び制御系からなり、 基板上に成膜が出来ます。 本装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本シード研究所

金型標準部品コーティング

金型標準部品コーティングの各プロセスの特長などをご紹介！

『金型標準部品コーティング』では、 コーティングの特性や概要などについて ご紹介しています。 CVD（化学蒸着）プロセスは、 1000℃の高温雰囲気中にガスを充満し 化学反応させるため、品物全周に均一にコーティングされるので、 複雑形状品にも適用可能です。 PVD（物理蒸着）プロセスは...

メーカー・取り扱い企業： オネストン株式会社 本社

ビューポートシャッター　SFシリーズ

ビューポートシャッター　SFシリーズ

蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス 有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止 【特徴】 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 　各種超高真空装置に使用可能 ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

光学用のボールレンズの全面コート

光学用のボールレンズの全面コート

も小さくて扱いが難しいのでボール全面にコーティングするのにはハイレベルな技術がないとできません。また、全面コーティングのため膜厚はムラがありません。 コーティングはPVD（物理気相成長法）とCVD（化学気相成長法）を使用しています。光通信で使用される波長帯は830−850nm, 850-1300nm, 1270-1310nm, 1500-1600nmが主流となっています。 全面コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューマニティ

ソリッドSiC

肉厚や大口径、複雑な形状など、さまざまな用途に対応！CVD法で製作した…

『ソリッドSiC』は当社独自のCVD技術を応用し開発されました。 高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、 幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮。 半導体装置に最適化された当製品は半導体の可能性を拡げ...

メーカー・取り扱い企業： 東海ファインカーボン株式会社

[BSE]機械加工部品

機械加工部品

[事業＆製品] ・半導体DRAMとフラッシュメモリ生産に必要な設備 ・CVD(LPCVD、MOCVD)、Ether装備(設備)に装着される加工品 ・精密な穴加工; 半導体装備/ディスプレイ装備に所要される精密加工部分品 [主要納入先] SAMSUNG、 SK HYNIX...

メーカー・取り扱い企業： 大韓貿易投資振興公社(KOTRA)

石英ガラス加工製品・再生石英材料

最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。

【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリンク

石英製品

チューブ、ボート等！当社の加工技術で高度な要望に応えて更に応用分野を拡…

と耐熱性が必要とされる半導体製造プロセスは、石英ガラスの 重要な応用分野の一つです。近年、この分野ではプロセスの自動化が進み、 ますます高精度な製品が求められるようになってきています。 CVD工程や酸化・拡散工程に不可欠なチューブ、ボート等、 当社の加工技術で高度な要望に応えて更に応用分野を拡大しています。 【石英ガラス素材】 ■石英ファイバースリーブ材 ■耐熱/耐高温クロ...

メーカー・取り扱い企業： USTRON株式会社

切削加工『表面処理・熱処理の加工サービス』

コストダウンを成功へ！コーティングなどの熱処理、加工、表面処理最終加工…

(白・黒・カラー・ツヤ消し)・無電解ニッケルメッキ(カニゼン) ■熱処理(高温焼入焼戻し)各種窒化処理(タフトライド) 　高周波、浸炭、サブゼロ、真空焼入れ ■コーティング（TiN・PVD・CVD・DLC等日本で対応） ■その他、特殊処理についても相談可 　・各種環境に対応した表面処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社WTM

特殊炭素製品「半導体製造用　CZ装置」

各種熱処理用パーツの加工などに対応！先端産業向けに広く貢献しております…

【加工部品】 ■シリコン単結晶、多結晶用引揚炉用部品 →ヒーター・坩堝・カーボン断熱材 　カーボンフェルト・C/Cコンポジット部品　他各種部品 ■プラズマCVD用部品 【特殊炭素製品ラインナップ】 ○半導体向け ○熱処理用 ○溶解炉用 ○ガラス向け ○冶金向け ○歯科用 ○ホットプレス ○燃料電池向け ○電解用 ○放電加工用 ...

メーカー・取り扱い企業： 穴織カーボン株式会社

ダイヤモンド加工サービス

硬く寿命が長い高精度な工具をご提供します！

【設備】 ■CVDダイヤ合成装置 ■社内加工設備 ■楕円振動切削装置 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山下合金ダイス研究所

産業機械部品　カタログ

各種産業機械部品に関する特長や利点などを詳しく解説！

【産業機械向けコーティングラインアップ】 ■PVD窒化膜 ・硬度 HV0.05：2000-3500 ■PVD炭素膜 ・硬度 HV0.05：1200-5000 ■PVD/PACVD ・硬度 HV0.05：1200-2800 ■CVD ・硬度 HV0.05：2000-4000 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IHI Ionbond JAPAN 横浜エンジニアリングセンター（1・2号館）