FFU | イプロスものづくり

高清浄度空間の作成には欠かせない！ハイクラスなエアーフィルターをご紹介

トーアメック株式会社で取り扱っている「ULPAフィルター」についてご紹介いたします。様々なご要求にお応えするため、各種捕集効率や低圧力損失型などの他にも FFU用や発ガス対策用など豊富なラインアップ。ご用命の際は、お気軽に当社までお問い合わせ下さい。【ラインアップ(一部)】 ■高性能セパレータ・MMD、MMGC、ATMMG、ATMM...

メーカー・取り扱い企業：トーアメック株式会社

超薄型空気清浄機『クリーンパーテーション』／日本エアーテック

超薄型パーティションタイプの空気清浄機！

気流により、クリーン仕様と汚染除去仕様があります。室内清浄度の向上、作業台に設置しクリーンベンチとして、または排気ベンチとして、天井に取り付けFFUとして、様々な用途で利用できます。【特徴】・超薄型のクリーンユニットです。・クリーン仕様（清浄空気吹き出し型）と汚染除去仕様（吸引集塵型）があります。・様々に使用できます（ク...

メーカー・取り扱い企業：大喜産業株式会社

ディップコーター：DC300S2～昇降・傾斜2軸タイプ実験装置～

複雑形状なワークに対して昇降・傾斜機能を用いることで均一な塗工膜の実現…

運転機能搭載　・モニタ画面に現在位置、現在速度、残運転時間、残回数表示　・膜厚、引上げ速度計算機能搭載　※ウエット状態の理論計算式にて ●電源：単相100V ●オプション：風防BOX・FFU・除振台...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エコートプレシジョン

AR膜欠陥検査装置『EX2001S』

水平FFU搭載！高速クリーン検査可能！コンパクト設計のAR膜欠陥検査装…

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の AR膜欠陥検査装置を取扱っています。『EX2001S』は、ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで高速スキャン検査して欠陥検査をします。【特長および機能】 ■対象基板は最大400mm、透明基板にオートフォーカスで検査 ■検出欠陥：AR膜基盤の白異物(抜け)や黒異物...

メーカー・取り扱い企業：アローズエンジニアリング株式会社

ディップコーター：卓上型実験装置FD200

速度機能、処理ストロークも実験に充分な機能を有し、非常に手間の掛かる液…

搭載　　・モニタ画面に現在位置、現在速度、残運転時間、残回数表示　　・膜厚、引上げ速度計算機能搭載（※ウエット状態の理論値計算式）　●電源：単相100V 　●オプション：風防BOX、FFU、除振台...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エコートプレシジョン

ディップコーター：重量物塗布用卓上型実験装置FD250

あるようで無かった重い基材（10キログラムまで）に対応でき且つ精密な制…

搭載　　・モニタ画面に現在位置、現在速度、残運転時間、残回数表示　　・膜厚、引上げ速度計算機能搭載（※ウエット状態の理論値計算式）　●電源：単相100V 　●オプション：風防BOX、FFU、除振台...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エコートプレシジョン

人工透析患者・医者をウイルス感染症から守る　折畳式陰圧ブース

ブース内を陰圧に保ち、感染者からのウィルスの拡散を防止することで患者様…

参考仕様｜大型タイプ外寸：W2966×D1650×H1925mm　※FFU含内寸：W2206×D1530×H1710mm 給気風量：1.2 ? /min（72 ? /hr）排気風量：4.0 ? /min（240 ? /hr）電源・入力：AC100V 36W...

メーカー・取り扱い企業：伸榮産業株式会社本社、関東営業所

エアーブローOK、低価格循環式クリーンベンチ

激安クリーンベンチでホコリ無し。循環式が効果大しかもエアーブローに強い…

さ７１０　（前側上面がに２００mm手前に突き出ています。２、フード：帯電・ベタツキ防止ビニール３、作業台・吸気口：SUS（t=1.6）４、骨組み：パイプ構造体（スペーシア）５、FFU（光触媒機能付き）：能力４リュウベ／毎分６、アルミダクト：φ７５...

メーカー・取り扱い企業：株式会社実装応援団

プラント監視システム開発

音声合成装置・パトライト・入室禁止灯・ポケベル出力・メール送信・熱感知器・煙感知器・感震器・ガス検知器・防火スプリンクラー制御・排気ダンパー制御・空調(FFU)制御 ▼小規模向けシステムには安価な弊社製SCADAソフト”KLEC-System”もご用意しております。 ▼PLC・タッチパネル等の周辺装置プログラム開発及び電気計装工事も承ります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社関東エルエンジニアリング　（英略：KLEC）東京支店

HEPAフィルタ内蔵　大型空気清浄機『エール』

【粒子捕集率：99.97%】HEPAフィルタで室内の空気をきれい化。 …

『エール』は、HEPAフィルタを内蔵した業務用大型空気清浄機です。ユニット内部にHEPAフィルタを内蔵しており、0.3μmの微粒子を99.97%捕集することが可能です。 100Vコンセント電源なので、「オフィス」「店舗」「学校」「医療機関」「介護施設」等、さまざまな場面でご利用いただけます。【特長】 ■HEPAフィルタ内蔵　粒子捕集率：99.97%（0.3μm） ■大風量　1...

メーカー・取り扱い企業：日本ピーマック株式会社

薄型ACDCターボファンモーター　※ファンモーター基礎知識進呈中

【空気清浄機、FFU、集塵機等に】 ACDC高効率薄型ターボファンと、…

当製品は、最大風量23m3/min、最大静圧815Paで業界トップクラスの性能を実現したターボファンモーターです。ACDCコンバーターを搭載し、AC電源で直接駆動できます。大容量のDC電源が不要で、ＰＷＭコントロールにも対応。外部ＶＲや通信による風速コントロールも可能な制御基板のオプションもご用意しております。【特長】 ■ファン回転速度の可変速が容易に可能 ■ACDCコンバータ...

メーカー・取り扱い企業：大和電興株式会社

クリーンパーテーション(吹出型+吸引型)導入事例

原因箇所へ効果的にアタック！異物落下率90％減をクリーンパーテーシ…

ティション設置で局所的なクリーン環境構築。 ≪導入効果≫ 吹出・吸引型クリーンパーテーションで異物の排除し、再飛散防止異物落下率90％以上、3ｍ先でも70％以上の大幅削減。大型FFU導入よりもコストは大幅削減。 ...

メーカー・取り扱い企業： NCC株式会社

【組立・分解が容易】簡易組立式クリーンブース

生産設備のクリーン化や一時的にクリーン空間が必要な場合に好適です

■清浄度クラス：クラス1000(ISOクラス6) ■構造　・天井部：帯電防止塩ビシート(透明) 　・側面部：帯電防止塩ビシート(透明) 　・出入口：帯電防止塩ビシート(カーテン) ■FFU：UM-915KDC（915w×610D×152H) ■電源：1Φ100～240V　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：三宝電機株式会社

非接触型D/F現像機

搬送治具の精密度が高い！Knife連結部Socket Typeで分解及…

Clamp使用 ■基板Clamp時に基板有/無を感知する感知センサー設置 ■製品Loadingの時、ずれる及び非定常的な投入時にも　問題ないようにALIGN Systemを適用 ■上部FFU 2ヶ所を適用してParticle 最初化（Option） ■LD / ULD＆6軸多関節Robot PLC制御で駆動 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラットコーポレーション本社：営業部・業務部

クリーン機器　クリーンロッカー　NCL-900A

クリーンルーム内で着用するクリーン服を、つねに無塵埃状態で保管します。

部から噴出されるクリーンエアで浄化【仕様】 ○風量：約3m3/min ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97％以上 ○メインフィルタ：HEPAフィルタ ○本体：アルミ複合板 ○FFU数：NSF-03A×1 ○電源：AC100V・1Φ・50/60Hz ○消費電力：約40W ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニットー冷熱製作所

オーダーメイドのグローブボックス【アクリル・塩ビ・ステンレス等】

精密機器・化学・バイオ・製薬・医療まで幅広い分野で必要とされるグローブ…

ックスアクリル樹脂パイプを使用した耐圧グローブボックスガス置換による低露点グローブボックスボックス内の滅菌・除染が可能な密閉型グローブボックスステンレス製の防爆グローブボックス FFUを搭載したクリーングローブボックス排気ファンを搭載したドラフト型グローブボックス仕様打合せから納品まで、万全のサポート体制で対応いたします。まずはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：伸榮産業株式会社本社、関東営業所

EFEM・ソータ『TYK2102-2』

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェー…

25段(SEMI E47.1) ・300mm FOSB 25段(SEMI M31) ■電源電圧：単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% ■消費電流：4kVA(20A/200VAC)FFUを含む ■真空(元圧)：-80kPa～-90kPa ■真空(流量)：40L/min、50L/min ■正圧(元圧)：0.6MPa～0.7MPa ■正圧(流量)：20L/min、30L/mi...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

標準型クリーンブース

特注品製作可能！組立式なので容易にクリーンな空間ができます

(一部)】＜(A)CB-2-2020＞ ■清浄度：クラス100(ISOクラス5) ■外形寸法(mm) 　・幅(W)：2000 　・奥行(D)：2000 　・高さ(H)：2500 ■FFU：UM-915 ■台数(台)：4 ■風量(m3／min)：52 ■換気回数(回／h)：312 ■照明：32W×2灯 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください...

メーカー・取り扱い企業：三宝電機株式会社

パネル組立型クリーンブース

標準パネルの組み合わせでリードタイムを短縮。パネル素材を薄型化すること…

基本パネルサイズ　1150mmx2300mm オプションでFFU（高性能ファンフィルタユニット）の搭載が可能オプションで空調（家庭用エアコン）の搭載が可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレシード

組立式クリーンブース『美優風（びゅう）』

ニーズにあわせたサイズも製作可能！特殊なアルミフレームを採用し、組立容…

。【特長】 ■付属の組立要領書と工具で、簡単に組立が可能 ■3人で約3時間で設置可能（ACK4030H） ■特殊スクリーン採用によりムラのない無塵環境を提供 ■既存従来型より少ないFFU台数でクラス100を実現 ■アルミフレーム内にカーテンレールを収納し、見栄えもスッキリ ■お客様の用途で選べる2クラス6タイプを標準サイズで用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業：株式会社朝日工業社本店　エンジニアリング企画開発部

ファンタイプイオナイザー『ION BLADE M1』

【新製品】やさしい風のイオナイザーが、さまざまな課題を解決。薄型・56…

ど簡易的な構成での固定も可能です。 1年間電極の清掃をしなくても除電時間はほぼ変化せず、安定した除電能力を維持します。【特長】 ■高効率高圧電源 LIAC方式を採用しています ■FFUの様な0.6m/sのやさしい風が、均一なイオンを対象物に届けます ■クロスフローファンが均一な風をワイドに送ります ■薄型・軽量で、メンテナンスフリー ■簡易的な構成で固定も可能です ...

メーカー・取り扱い企業：フィーサ株式会社本社営業部、ダイナック事業部、北関東支社、中部支社、大阪支社

縦型　クリーンファンユニット『NWF-Vシリーズ』

移動が容易で各室内のクリーン化が可能なユニット！省エネに大きく貢献しま…

『NWF-Vシリーズ』は、1相100V低騒音送風機を採用し、従来のFFUより更に低騒音化した縦型クリーンファンユニットです。吹出口と吸込口が分割でき、キャスターや取手が標準なので持ち運び移動が簡単。状況に応じた清浄度コントロールができ、とりわけ...

メーカー・取り扱い企業：ニッタ株式会社クリーンエンジニアリング事業部

クリーンエアシステム

埃が蓄積しない凹凸が無い構造！照明は薄型フラットLED照明を採用

、壁面全てが滑らかに接合されるように設置。照明、ガラス窓などにも気を配り、埃が蓄積しない凹凸が無い構造となっており、照明は薄型フラットLED照明を採用しています。【特長】 ■FFU ・クリーンルームのきれいな空気をさらにきれいにして充填環境を守る ■チャンバー・コンベアの接続口に設け、アクティブに内部陽圧による吹き出しをコントロール ※詳しくはPDF資料をご覧...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ユウアイ

「折りたたみクリーンブースパイプ製」

広げるだけで設営！閉じるだけで収納！必要なタイミングに合わせてカン…

50×D350×H2000mm 清浄度クラス：10000 換気回数：40回清浄度面積：2.25m? 風量：3.0ｍ?/min 電気容量：AC100V1φ約40VA 重量：約28kg（FFU・シート無）様々なご要望を承りますので、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：伸榮産業株式会社本社、関東営業所

FA設備　企画・設計・製作サービス

自動組立機、自動搬送装置等のFA設備の企画・設計・製作ならお任せくださ…

クリーンルーム対応も可能です。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。【実施例】 ■リーク検査機 ■ラベル貼付機 ■異物除去装置 ■ウェイトチェッカー付き搬送装置 ■FFU付きクリーンブース　他 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エムエムディー

サファイア自動検査機

検査データファイル、欠陥画像ファイルを判定やマクロMAPで表示可能

【特長】 1. 検査データファイル、欠陥画像ファイルを判定やマクロMAPで表示できます。 2. 防振機構、安全カバー、FFU、クリーン対応です。 3. 2インチ専用、25枚対応構造でカセット to カセット戻しです。 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。　ご興味のある方はカタ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイティ・テック

【事例紹介】様々なテストに対応できる評価試験用ブース

様々なテストに対応できる評価試験用ブース

ルを使用。VOC試験ができるように、パッキン類などは全て低アウトガス仕様を選定。試験時には封じ込め対策として、ブース内を陰圧に、試験後には排気のために陽圧に管理できるよう、給気、排気それぞれのFFU（ファンフィルターユニット）をインバーター制御で、切替できるよう設計。温湿度管理は目標値を一定に保つために効率のよい循環方式を採用。ただし菌・VOC試験時には空調機への漏洩を防止するために、電...

メーカー・取り扱い企業：蒲田工業株式会社

三宝電機株式会社　『事業紹介』

三宝電機株式会社は「最適環境空間」を最新の技術でお届け致します。

、独自の品質・安全基準に基づき施工を行っています。さらに、全国ネットワーク体制により迅速に対応致します。またクリーンルームの設計施工・管理の経験を生かし、省エネ型高精度温湿調クリーンルーム、省エネFFU、エアシャワーなどのクリーン機器の開発製造から環境解析、ダストモニタリングシステムなどお客様の要求に応じたクリーン化の提案を行っています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：三宝電機株式会社

HEPAおよびULPAファンフィルターユニットのレポート2023

HEPAおよびULPAファンフィルターユニットの市場規模、2029年ま…

ンルーム、研究室、医療施設、または微環境に浄化された空気を供給するために使用されます。ユニットはシステムの天井または床グリッド内に設置されます。大規模なクリーンルームではそれに比例して多数の FFU が必要となり、場合によっては数百から数千に及ぶ場合があります。 ■レポートの詳細内容・お申込みはこちら https://www.qyresearch.co.jp/reports/620...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

DC式イオナイザバー『MODEL 453S』

ゴミの付着防止のみならず、静電気に弱いデバイスを保護するDC式イオナイ…

ります。【特長】 ■ゴミの付着を防止し、静電気に弱いデバイスを保護 ■バー寸法は300mm～2500mmまで1mm単位で製作が可能 ■個々のバー単体でのイオンバランス調整が可能 ■FFU（ファンフィルター）のダウンフローのみで除電が可能 ■放電針のクリーニング警報、高圧異常時のアラーム機能搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ヒューグルエレクトロニクス株式会社

【事例紹介】特殊薬剤の封じ込めクリーンルーム

特殊薬剤の封じ込めクリーンルーム

作業用クリーンベンチ（クラス100）を設置する二重構造としました。二重構造にすることで、空間全体をクラス100にする構造より、管理面、コスト面でメリットがあります。飛散防止対策として、給気側のFFUをインバーター制御することで、常に適切な陰圧に管理できるよう設計しました。更に排気側には、HEPAフィルターを内蔵した排気ボックスを設け薬剤を捕集できるようにし、万が一にも流出、漏洩しない構造にし...

メーカー・取り扱い企業：蒲田工業株式会社

【採用事例】宇宙ステーション・きぼう「グローブボックス」

”宇宙ステーション・きぼう”での実験設備として弊社の「グローブボックス…

ックスアクリル樹脂パイプを使用した耐圧グローブボックスガス置換による低露点グローブボックスボックス内の滅菌・除染が可能な密閉型グローブボックスステンレス製の防爆グローブボックス FFUを搭載したクリーングローブボックス排気ファンを搭載したドラフト型グローブボックス仕様打合せから納品まで、万全のサポート体制で対応いたします。まずはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：伸榮産業株式会社本社、関東営業所

クリーンブース　クラス1000/10000　NBU-3

帯電防止ビニールシートに覆われ、ブース内部は陽圧になります。

対応可能） →オールステンレス加工　など【仕様】 [NBU-3-3030] ○処理風量：約40m3/min以上 ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97％以上 ○構造：フレーム/FFU：鋼板製焼付塗装仕上周囲：ビニールカーテン（透明）　　　 ○照明灯：32W×8灯 ○電源：AC200V・3φ 50/60Hz ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニットー冷熱製作所

【解決事例】気流の好適なコントロールで集塵効率向上

粉体充填工程のクリーン化！効率的に集塵を行い、高い清浄度を実現した事例

う問題にお悩みで、充填作業エリアは温度管理もなされているのですが、吸排気のバランスが悪く、空調効率が低いことにもお悩みでした。そこで、十分な容量を持つ大型空調機を1台設置し各部屋にFFUを介して送り込む分配空調システムを提案。結果、排気量に合わせて適切な吸気が行えるように、自動連動システムを設計し、安定した室圧管理を実現しました。【問題点】 ■集塵機は設...

メーカー・取り扱い企業：蒲田工業株式会社

【用途・事例】ファンのフィルタ清掃時期を知りたい

汎用インバータの機能を使用！フィルタの目詰まりを検知し、詰まる前にお知…

安川インバータの適用で異常予兆検知を実現した事例をご紹介します。ファン(FFU,エアシャワーなど)、ポンプに対して、フィルタ清掃の定期メンテナンスを簡略化したいという課題がありました。ファンの目詰まりによりモータの電流が下がります。その電流変化を安川インバー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社安川電機インバータ事業部

【解決事例】収納式射出成型機用クリーンブース

キャスターも取付け移動可能な仕様！必要能力をしっかりと発揮しながらも簡…

イント】 ■射出機の形状、サイズに合わせた専用設計 ■ブース本体はジャバラ構造とし、金型交換時やメンテナンス、移動時にはコンパクト ■保管スペースも最小化 ■自立・キャスター付で移動可能なFFU（HEPAフィルター内蔵） ■移動して他の成形機でも使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：蒲田工業株式会社

信濃電材株式会社　事業紹介

お客様のニーズと新しい情報をもとに最適な電設資材、制御機器をご提案

　・配電盤　・電線　・照明　・電化製品　・工具　・電路資材　 ■特機営業部門　・検査用照明　・制御機器　・駆動部材　・制御用電線　・UV硬化装置　・FFU 　・制御用BOX 　・配線部材　・コネクタ　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：信濃電材株式会社本社

組立式アルミクリーンブース　標準　クラス1000/10000

組立簡単約６０分！　コストは従来のクリーンブースの約半分！

収納可能 ○大幅軽量化により移動もカンタン【仕様】 ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97％以上 ○構造：フレーム：アルミ（アルマイト処理）周囲：透明ビニールカーテン　　　　FFU：鋼板製焼付塗装仕上 ○ラインナップ →NBU-4-1515A：クラス10000 →NBU-3-2020A：クラス1000 →NBU-4-2525A：クラス10000 ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニットー冷熱製作所

【設計・製作】機械装置の開発事例（２）

各種機械装置や治具など、設計・製作からアフターサービスまでワンストップ…

るための装置です。　[概略仕様]　　　　・用力　　：ドライエア、バキューム　　・操作方法：専用ソフトによる自動運転、手動運転の2種類　　・装置構成：制御盤、ロードポート、ロボット、FFU、　　　　　　　　XYステージ　　・サイズ　：2,200 x 2,050 x 2,000 mm（重量約900kg）　　・電源　　：AC200V 3相弊社では、ものづくり...

メーカー・取り扱い企業：株式会社AGORA TECHNO

【解決事例】サニタリーホース専用　特注クリーン乾燥保管庫を製作

短納期の対応にもお応え！現地調査、採寸、設計、製作、施工（据付）、試運…

【ポイント】 ■HEPAフィルターを使用したFFU（ファン・フィルター・ユニット）と　ヒーターを組み合わせ、クリーンエアーで乾燥 ■温度制御機能、24時間タイマーを装備 ■ホースを庫内にセットするための専用金具も設計・製作 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業：蒲田工業株式会社

【事例紹介】ホコリを嫌う環境に―ダブル構造クリーンブース！

ホコリを嫌う環境に―ダブル構造クリーンブース！

ダブル構造のKAMATAアルミフレームに静電PETの組み合わせでの施工を提案しました。お客様で用意された除湿機と接続するために、弊社FFUに接続用SUS製チャンバーボックスを設置。また設置場所に一部配管が通っていた為、自由設計のKAMATAクリーンブースの特徴を活かし、段付き天井にてご提案。ポイント 1. ダブル構造のK...

メーカー・取り扱い企業：蒲田工業株式会社

【事例紹介】射出成形機の異物付着問題の解決に！

射出成形機の異物付着問題の解決に！

し、異物付着問題を解決します。 1. 射出部を重点的に蒲田工業オリジナルアルミフレームで囲う。 2. 周囲には静電防止ＰＶＣ透明材を使用し、ゴミ付着防止及びブ−ス内部が見渡せる。 3. FFUファンユニットを7台使用し、クリーン度クラス10000の環境に。 4. 業員の出入口にエアシャワーを設置し、人からの発塵を防止する。 5. 型交換用に天井部にアルミ自動シャッター設置。...

メーカー・取り扱い企業：蒲田工業株式会社

水門『簡易スルースゲート KMSL』

優れた環境を考える！農業用水路の利水、止水に好適なミエグレ水門ゲートの…

【設置例】 ■鋼製簡易スルースゲート（平巻式） ■FFU製簡易スルースゲート ■鋼製簡易スルースゲート（ベベル式） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：三重重工業株式会社本社

【事例紹介】検査工程の異物混入防止にKAMATAクリーンブース

検査工程の異物混入防止にKAMATAクリーンブース

ント 1. 床塗装の後、4000×5000×H2500のクリーンブースを設置。 2. ダブル構造にすることで、断熱性を高め、熱効率を向上させる。美観性も良くなる。 3. 天井置き型エアコンとFFUにて空調コントロール。リターンをとることで、温調効率を高める。...

メーカー・取り扱い企業：蒲田工業株式会社

ウェーハインスペクション装置　(MWL-01型)

ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です

取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送に対応します。・FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用により高クリーン環境に対応可能です。・工場HOSTとの通信対応も可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム