エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

OPIE2024_ポジショニングEXPOに出展と製品のご紹介

PR高精度で1軸～多軸構成、高機能コントローラ、グラナイト製品などを統合し…

【OPIE 2023 ポジショニングEXPO】に出展いたします。 日時：4月24日(水)〜26日(金)　10時～17時 場所：パシフィコ横浜 ブース番号：E-32 【出展製品例】 • 6軸位置決めヘキサポッドステージ • レーザー加工や計測機などに好適なXY＋Z位置決めシステム • エアベアリング：XY軸ステージと回転ステージ • 高速高加速リニアモーターステージ • ナノメ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3Cシリーズ」

電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ　　　　　　～ …

超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。 スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレート...

メーカー・取り扱い企業： ヒーハイスト株式会社 本社・埼玉工場

アライメントステージ『SA』

X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築できる…

『SA』は、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、 低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。 直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成 としてラインアップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを ...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社

電動アクチュエータ　A/AX （精密ステージ） [THK公式］

高精度でバリエーションが豊富　さまざまな用途に対応可能

THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ　A/AX（1軸/XY）は、同じストロークの従来型と比べ高さ寸法最大約27％のコンパクト化を実現しました。鉄使用とアルミ仕様とあり、用途に合わせて選定が可能です。アルミ仕様の場合は、従来型と比べて、本体質量最大約72％の...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

アライメントテーブル『AT』

低断面設計で高剛性！高さ寸法の低いXY-θ多軸位置決め機構を構成可能

当社で取り扱う、アライメントテーブル『AT』をご紹介いたします。 リニアウェイとボールねじを組み合わせたローテータ機構を用いて、 直線運動を回転運動に変換することにより、精密な角度補正が可能な 位置決めテーブル。 高剛性な鋼製テーブルとベッドを使用し、テーブルを支える軸受に クロスローラベアリングを組み込みました。 【特長】 ■直線運動を回転運動に変換する回転位置決めテー...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社