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メーカー・取扱い企業

ニッセン　シールドバルブリベット

PR当社国内工場で生産！従来の密封型(シールド）形状に加えて、独自の座屈形…

『シールドバルブリベット』は密封型(シールド）形状に加えて、独自設計の座屈形状により安定した接合強度を得る事ができる画期的なオールステンレスのブラインドリベットです。【特長】 ◎密封型(シールド）形状により内部マンドレルの脱落なし ◎高い水密性（JIS　C0920）IPX7に準じた試験で水漏れなし ◎独自の座屈形状により安定した接合強度を得る事ができます ◎材質はオールステンレス ...

メーカー・取り扱い企業：ニッセンリベット株式会社
ハイスピード空圧衝撃試験装置『SY11G-100』

PR高い再現性の衝撃試験を実現。基礎工事が不要で、設置も省スペース。最大3…

ハイスピード空圧衝撃試験装置『SY11G-100』は、MIL、JIS、IEC、DINなど各種規格に基づく衝撃試験を高い再現性で安全に行える製品です。最大速度変化15.6m/s、最大加速度5,000G（オプション：30,000G）、作用時間0.1～60msec、最大搭載重量100kgで、高い再現性を実現。落下の高さ、シリンダー内の圧力を調整することで、速度変化・加速度・作...

メーカー・取り扱い企業：エア・ブラウン株式会社電子機器部
PARTICLE-FREEゲートバルブ

パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ

– ショックが極小 – パーティクル発生が少ない – 真空部と機構は隔離 – Vulcanized ゲートシール - 長いライフサイクル...サイズ: DN63-250mm アクチュエータ: 圧空作動式複動シリンダーボディ材質: 15.0/15.1 アルミニウム、15.2 ステンレススチール軸シール: 15.0 O-リング軸シール、15.1/15.2 ベローズ軸シール標準フ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
SMST真空コンポーネント部品　総合カタログ

真空コンポーネント部品総合カタログ。NW・ICFやJIS VG/VF規…

『SMST真空コンポーネント部品　総合カタログ』は、NW規格フランジ・ICF規格フランジ・JIS VG/VF規格フランジなどの真空部品を掲載したカタログです。半導体製造装置・液晶製造装置・有機EL製造装置において欠くことのできない真空配管、ガス配管などの製品も掲載しております。【掲載製品】 ○NW規格（NW Standard） ○ICF規格（ICF Standard） ○アダプタ...

メーカー・取り扱い企業：湘南丸八エステック株式会社
流速・流量計測機器　L型ピトー管 LK-

JIS B 8330準拠のピトー管です。指向性の良い形状をしたピトー管…

測定速度が良く、流速測定などの基準器として使用されます。...【製品の特長】 ○ダクトの大きさによっと、元管部の長さを選定、流体の種類や温度に基づき材質を選定します。 ○設置が簡単で、安価です。 ○低温から高温まで対応できます。 ○圧力損失が低く抑えられます。 ○低速から高速まで計測できます。 ○粉体含有ガスの流速にも対応できます。 ●その他機能や特長については、カタログを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社岡野製作所
大口径Ｏリング　（真空装置用）

半導体・有機ＥＬ製造装置・真空チャンバー・大型タンクのふっ素ゴム製のJ…

送り焼きとは・・・従来金型のないOリング等は押出しゴム紐などを接着剤などでつなぎ使用されていました。この方法では接着部分の強度・耐熱性・耐油性・耐薬品性やシール性能に問題がありました。送り焼きOリングとはプレス加硫によって成型を致しますので、接着剤等は一切使用しません。よって通常の成型製品と同様の性能を有しております。送り焼き成型は、JIS規格、AS規格にない特別寸法を成型する技術であ...

メーカー・取り扱い企業：湘南丸八エステック株式会社
製品案内　真空部品

主に超高真空以上の領域の真空容器や継ぎ手等に使用されているICFフラン…

北野精機株式会社では、国際標準規格に準じた品質及び寸法のICF規格品や、 JIS規格品などの真空部品を取り扱っています。「ICFフランジ」をはじめ、「ビューイングポート」や、「ガスケット」など幅広いラインアップをご用意しています。【特長】 ≪ICF フランジ≫ ■取り扱いフランジの材質は通常SUS304L ■サイズは、ICF-34 からICF-306 までは標準在庫 ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
コントロールゲートバルブ　Series 64.2

極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

-優れた圧力制御能力 -リミットスイッチ付き -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） ...サイズ: DN63-400mm アクチュエータ: 搭載型コントローラボディ材質: ステンレススチール軸シール: 回転軸シール標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS シール技術: VATLOCK リーク量:...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 -極めて短い制御応答時間 -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用)...サイズ: DN 100 – 400 mm (4“ – 16“) アクチュエータ: 搭載型コントローラボディ材質アルミニウム: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工軸シール: 回転軸シール標準フランジ: ISO-F、JI...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
振子式高真空バルブ　Series 16.2

コンパクトな真空封止用バルブ

-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない -ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 -分解、クリーニング後の調整不要...サイズ: DN 200-550mm (8“ – 22“) アクチュエータ圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC） 3位置圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC）ボディ材質: アルミニウム軸シ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
UHVゲートバルブ　SERIES 10.8

開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態…

-潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易　...サイズ: DN 63-320mm (2 ½“ – 12“) アクチュエータ: クランクハンドルによる手動式、圧空作動式複動シリンダー、3位置圧空作動式複動シリンダーボディ材質: ステンレススチール軸シール: ベローズ標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-L...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
均等排気バルブ　SERIES 67.0

均等なガスフローで高度なプロセスに最適

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer (CPA)とソフトウェアの接続用）...サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施ボディ材質: アルミニウムまたは硬質...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
均等排気バルブ　SERIES 67.0

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封…

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用） ...サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
振子式コントロールバルブ　SERIES 65.5

過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適

-高速、パーティクルフリーな動作 -正確な圧力制御 -サービスポート装備（PC接続用とCPAソフトウェア用）...サイズ: DN 250mm アクチュエータ: サーボドライブ付き圧力コントローラ搭載ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム標準フランジ: ISO-F、JIS...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
真空部品・真空規格部品総合カタログ

【カタログサンプル配布あり】真空規格部品販売開始！真空メーカーだから出…

真空装置に使用する部品類の販売を開始しました。 JIS規格、ISO-KF･LF規格、ICF規格の各規格に準拠した各種部品を短納期でお届けいたします。また、規格品だけでなく、オーダーメイドにも対応可能です。弊社の真空技術スタッフが対応いたしますので、販売商品以外についてもお気軽にご相談ください。【主な製品】・フランジ類　ブランクフランジ　溶接フランジ　回転フランジ・...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス
製品案内　装置

表面分析用チャンバーや蒸着用チャンバーのご紹介

北野精機株式会社では、表面分析用チャンバー（極・超高真空）もしくは蒸着用チャンバー（超・高真空）を製作しております。材質は、ステンレス鋼もしくはアルミが標準となるほか、非磁性等の材料も選定可能。フランジには、ICF規格・ISO規格・JIS規格を基本的に使用しております。また、特型の指定フランジも接続可能な設計製作を承ります。使用真空度に合わせて、表面処理はGBB処理・バ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
成形ベローズ VG-VF 『CEV-10000』

真空配管用成形ベローズです。JIS規格真空フランジ付きです。

『CEV-10000』は、中日技研工業株式会社が取り扱う、真空配管用成形ベローズです。真空用の柔軟なベローズにJIS規格の真空フランジ（VG･VF）が付いた製品です。真空配管の寸法調整や誤差吸収、及び振動吸収用として使用できます。【特長】 ■バネ定数の小さい柔軟なベローズ ■製作口径：20A～300A ■製作全長（ L ）はご指示ください。 ■繰り返し耐久寿命が...

メーカー・取り扱い企業：中日技研工業株式会社
成形ベローズ（IF規格品）

成形ベローズ（IF規格品）

JIS真空フランジ付ベローズベローズ：SUS316L フランジ：SUS304 ...JIS真空フランジ付ベローズベローズ：SUS316L フランジ：SUS304 ...

メーカー・取り扱い企業：入江工研株式会社
真空装置のプロが作った技術資料『真空基礎知識』※ダウンロード進呈

用語集、単位換算表、記号の意味、計算事例など、現場で使える知識を１冊に…

真空の総合メーカーとして、60年以上にわたり培った当社のノウハウを、 1冊に凝縮した技術資料『真空基礎知識』を、ただいま無料進呈中です！真空関連装置に関わる方であれば必須の「用語集」や「記号の使い方」など、現場でスグに活用できる知識解説や資料が満載です！【資料の概要】 ■単位換算表 ■真空用語 ■真空関係シンボルマーク ■気体の性質 ■コンダクタンスと排気時間の計算...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.