フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

独自技術を採用したガラス加工用レーザー装置

PR高速かつ正確なガラス微細加工が可能。加工時の応力を抑えて、マイクロクラ…

『LPKF Vitrion M 5000 Gen2』は、独自に開発した「LIDEプロセス」を採用し、±5μm以下の高精度でガラス微細加工が可能なレーザーシステムです。 加工時の応力を最小限に抑え、チッピングやマイクロクラックの発生を防止。 アドバンストパッケージングで標準使用される150×150mmから 510×515mmまでの大型パネルに対応し、基板のサイズや 形状に合わせて柔軟に対...

メーカー・取り扱い企業： LPKF Laser&Electronics株式会社

一般工業ガス用圧力調整器『マスターVI LP』

溶断器用LPガス調整器の定番！押し込み表示機能付きハンドルにより、誤操…

【仕様（一部）】 ■常用流量（m3/h（nor））：4（P2＝0.05MPa、LPG） ■使用温度範囲（℃）：-10～40 ■材質（本体）：C3771 ■バルブ：なし ■排出弁：なし ■重量（Kg）：1.2 ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

分析用ガス圧力調整器『S-LABOII LAB2シリーズ』

小流量・出口側の安定供給を実現！二段減圧式調整機能を装備した圧力調整器

A株式会社の『S-LABOII LAB2シリーズ』は、真鍮製の 標準ガス、高純度ガス用圧力調整器です。 二段減圧式構造により、一次圧が変化しても二次圧の変動はほとんどなく、 0.2L/min(nor)以下の小流量供給にも最適です。 ● 標準ガス、ゼロガス、高純度ガスでの使用に最適 　　- 外部リーク量低減と純度維持のためステンレス製ダイアフラムを採用 　　- 内部リーク低減の...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

ジボラン専用圧力調整器『S-TORRV1900シリーズ』

接ガス部のネジ構造を排除！パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調…

【性能】 ■入口側最高使用圧：15MPa ■出口側最高使用圧：0.6MPa ■最大流量：30L/min(nor)(P1=10MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS） ■使用温度：-5～40℃ ■重量：1.2kg(2ポート)、1.6kg(3ポート) ■内蔵フィルター濾過度：20μm ■接ガス...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-150シリーズ』

一次側低圧用中流量機種！組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンル…

【性能】 ■入口側最高使用圧：2.0MPa ■出口側最高使用圧：0.6MPa ■最大流量：2、400L/min（nor)（P1=1.5MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS） ■使用温度：-5～40℃ ■重量：3.7kg ■出入口ポート口径：1/2" ■外部リーク量：1.3×10^-8Pa・m3/...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

一般工業ガス用圧力調整器『NT50B・NT50S』

各種ガス供給設備・装置に幅広く対応！フィルターを内蔵し、内部リークトラ…

【仕様（一部）】 ■入口継手：選択可能 ■出口継手：選択可能 ■重量：2.4kg ■使用温度範囲：-5～40℃ ■常用流量　m3/h（nor）N2ガス：50　P1=3MPa、P2=0.99MPaの時 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

標準ガス・高純度ガス用圧力調整器『ATR』

低リークでローデッドスペース！大気観測、環境測定、高純度ガス用小型圧力…

『ATR』は、ステンレス製の標準ガス・高純度ガス用圧力調整器です。 重さは約700gと超軽量コンパクト。入口継手はボディに溶接済みで、 有害大気汚染物質測定に対応しています。 メタルダイヤフラムを採用し、優れた純度維持能力を有しています。 【特長】 ■重さは約700gと超軽量コンパクト ■低リークでローデッドスペース ■入口継手はボディに溶接済み ■メタルダイヤフラムを...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

一般工業ガス用圧力調整器『JET-Sc』

内部リークトラブルを低減！容器圧力から減圧済み圧力まで幅広く使用可能

【仕様】 ■参考流量：330L/min P1=3MPa P2=0.99 （N2） ■使用温度範囲：-5～40℃ ■本体：C3604 ■ダイヤフラム：CR、テフロンカバー ■フィルター：SUS焼結 ■その他接ガス部：C3604、...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-800シリーズ』

半導体ガス用圧力調整器の代名詞！Heリークテストを含め、出荷検査を全数…

【性能】 ■入口側最高使用圧：1.0MPa ■出口側最高使用圧：0.6MPa ■最大流量 ・800G：280m3/h（nor）（P1=0.7MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS） ・800M：500m3/h（nor）（P1=0.9MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS） ■使用温度：-5～40℃ ■重量：...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

分析用ガス圧力調整器『S-LABOII LABLシリーズ』

低圧配管、アウトレットパネルなどに好適な圧力調整器！

【仕様】 ■接ガス主要部材質 ・本体：C3604 ・ダイヤフラム：SUS316L ・他：C3604、フッ素樹脂 ■重量：約1.2kg ■常用流量(L/min(nor))N2ガス：260 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

分析用高圧ガス圧力調整器『S-LABOII LAB1シリーズ』

純度保持性能に優れた標準ガス、高純度ガス用圧力調整器！

【仕様】 ■接ガス主要部材質 ・本体：C3604 ・ダイヤフラム：SUS316L ・他：C3604、フッ素樹脂 ■重量：約1.4kg ■常用流量(L/min(nor))N2ガス：250 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-2300シリーズ』

内部リーク発生を低減！一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備…

【性能】 ■入口側最高使用圧：20MPa ■出口側最高使用圧：1.0MPa ■最大流量：1、400L/min（nor)（P1=8MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS） ■使用温度：-5～40℃ ■重量：1.8kg（4ポート) ■内蔵フィルター濾過度：20μm ■出入口ポート口径：1/4" ■...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-1300シリーズ』

一次側高圧用標準機種！電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整…

【性能】 ■入口側最高使用圧：15MPa ■出口側最高使用圧：1.0MPa ■最大流量：550L/min（nor)（P1=10MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS） ■使用温度：-5～40℃ ■重量：1.3kg（4ポート) ■内蔵フィルター濾過度：5μm ■出入口ポート口径：1/4" ■...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』

一次室の流路にフィルターを内蔵！減圧後の設備に幅広く使用可能な圧力調整…

【性能】 ■入口側最高使用圧：5MPa ■出口側最高使用圧：1.0MPa ■最大流量：300L/min（nor)（P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS） ■使用温度：-5～40℃ ■重量：1.1kg ■内蔵フィルター濾過度：20μm ■出入口ポート口径：1/4" ■外部リー...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-350シリーズ』

一次側低圧用大流量機種！"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧…

【性能】 ■入口側最高使用圧：1.5MPa ■出口側最高使用圧：0.6MPa ■最大流量：230m3/h（nor)（P1=1.5MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS） ■使用温度：-5～40℃ ■重量：10kg ■出入口ポート口径：1/2" ■外部リーク量 ・1.3×10^-6Pa・m3/s...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-2500シリーズ』

出荷検査を全数に実施！一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生…

【性能】 ■入口側最高使用圧：15MPa ■出口側最高使用圧：1.0MPa ■最大流量：180m3/h（nor)（P1=8MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS） ■使用温度：-5～40℃ ■重量：4.9kg ■出入口ポート口径：3/8" ■外部リーク量：1.3×10^-6Pa・m3/sec以...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

一般工業ガス用圧力調整器『NT100B・NT100S』

ガスの入口方向が選択可能！配管・管接続タイプの中流量用圧力調整器

【仕様（一部）】 ■入口継手：選択可能 ■出口継手：選択可能 ■使用温度範囲：-5～40℃ ■常用流量　m3/h（nor）N2ガス：100　P1=3MPa、P2=0.99MPaの時 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

一般工業ガス用圧力調整器『JET-Hc』

ピストン機構を採用することで、高い安全性を実現！耐圧、気密試験に！

『JET-Hc』は、容器直結・高圧供給タイプの一般工業ガス用圧力調整器です。 フィルターを内蔵し、内部リークトラブルを軽減しているほか、 ピストン機構を採用することで、高い安全性を実現。 最大20MPaまでの圧力調整が可能で、各種高圧ガス試験、実験などで 高い圧力が必要な場合に適しています。 【特長】 ■最大20MPaまでの圧力調整が可能 ■ピストン機構を採用、高い安全性...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高腐食性ガス対応圧力調整器『S-LABO M1シリーズ』

耐食性に優れたモネル製！SUSでも対応できない高腐食性ガスに最適な圧力…

【仕様】 ■接ガス主要部材質 ・本体：NCu ・ダイヤフラム：SUS316L ・他：NCu、フッ素樹脂 ■重量：約1.6kg ■常用流量(L/min(nor))N2ガス：170 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

高腐食性ガス対応圧力調整器『S-LABO MLシリーズ』

耐食性に優れたモネル製！SUSでも対応できない高腐食性ガスに最適な圧力…

【仕様】 ■接ガス主要部材質 ・本体：NCu ・ダイヤフラム：SUS316L ・他：NCu、フッ素樹脂 ■重量：約1.5kg ■常用流量(L/min(nor))N2ガス：200 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部