【定量ポンプ・塗布装置・粘度計・環境装置】展示会出展のお知らせ

PR2024年5月8日~10日開催 サステナブルマテリアル展＠インテック…

2024年5月8日(水)~10日(金)の3日間、インテックス大阪にて開催される 『高機能素材Week2024』のサステナブルマテリアル展に出展致します。 ＜会場＞ インテックス大阪　5号館 小間番号　→　【　10-37　】 ＜出展製品の詳細＞ ■精密ギヤポンプ ・精密加工により高精度な定量送液が可能な定量ポンプ ■ギヤポンプ式塗布装置 ・高粘度/高圧/高精度/高耐久の定...

メーカー・取り扱い企業： 協和ファインテック株式会社

GMP仕様対応可能 解砕・分散分級が実現！ 『FSハイシフター』

PR驚異の縦振幅を実現し、解砕・分散分級！超音波発生装置が不要で、微粉・油…

「粉体が目詰まりしてしまう...」「振動で解砕も同時にできれば目詰まりしないのに...」「超音波発生装置は高いし...」こんなお困りごとはございませんか？ 『FSハイシフター』は波動運動によりスクリーン上の材料が激しく跳ね上げられスクリーンに衝突、材料の凝集は解砕・分散され分級効果が増大します ナイロン網による分級の為、ランニングコストが低減！ 網たたきも不要な事からコンタミのリスクを低...

メーカー・取り扱い企業： 日東機器ファインテック株式会社

高速・高精度な厚み測定！プレシテック社　非接触センサ

従来の色収差共焦点法・分光干渉法に加え、レーザー加熱を利用した厚み測定…

れています。幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも使用されています。また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。 Enovasense社のセンサは、航空関係の部品の塗膜、コーティング厚みでの実績もござい...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高速カメラ『CHRomatic Vision Camera』

インライン向けの高速で、高精度な外観検査用のラインカメラです。ウエハ検…

深度が最大3mmと広いタイプです。 焦点合わせが不要となり、フラットでない凹凸面でも高コントラストな画像が取得できます。２次元画像が得られます。また、最大140kHzの高速スキャンにより、インラインでの外観検査（クラック、スクラッチなどの形状欠陥、異物検査）が可能です。 【特長】 　■高分解能 　　　XY 0.9um~2.9um(焦点深度3mmタイプは、2.9um) 　■多種の...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高速・高精度な厚み測定、形状測定に！プレシテック社　非接触センサ

色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・…

います。幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に 対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも 使用されています。また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても 利用されています。 【アプリケーション】 ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィル...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサ

インライン検査に。70,000ポイント/秒のスキャンに対応。膜厚も測定…

センサも幅広く取り揃えており、 要求される測定範囲や精度に合わせて選択できます。 【FSSの特長】 ■高精度：Z方向分解能最小5nm ■高速スキャン：70,000ポイント/秒 ■インライン測定に好適 ■測定範囲内なら自由に部分測定可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高精度非接触厚さ測定器【半導体用ウエハー】

高分解能の形状測定を実現。センサプローブの種類が豊富。平坦度や厚みのイ…

当社は色収差共焦点・干渉を原理とした非接触タイプの測定器を取り扱っています。 膜厚測定、形状測定、粗さ測定、変位測定、外観検査に適用でき、加工中の インプロセス測定やインラインでの高速検査、オフライン測定が可能です。 各種インターフェースを用意しており、組み込み用途にも対応。 高分解能（最小XY分解能1μm～、最小Z分解能0.02μm～）で測定が行え、 製品...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

３次元形状測定用ラインセンサCHROCODILE CLS2.0

非接触ラインセンサCLS第二世代。高精度・高速・広範囲の３次元形状測定…

ワイヤボンダ、マイクロバンプ測定に適した高NA、光量アップなど大幅に改善。形状、表面粗さ、ステップハイト（厚み）、平坦度、ＴＴＶなど使い道は多数。卓上機だけでなく、In-Situ/モニタリング/インラインでの装置組込み用センサとしての使用にも適しています。 【特長】 　■広範囲エリアの３次元形状測定 　　　最大11.9mmのライン幅 　■広い許容角度 　　　反射面で±50° エッジや急...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

厚み測定-光学センサ『CHRocodile 2LR ver2』

非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用…

ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。前回の『CHRocodile 2LR』と異なる新ディテクタを採用し、約２倍の厚み測定範囲、かつより高精度に測定できるようになりました。インラインでも適用可能で、CHRocodile 2LRは多くのお客様へ実績があります。Si等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

CHRocodile 2 SX 光学式広範囲厚み測定センサ

光学式センサで、Si0.5~200umの広範囲の厚み測定。5kHzの高…

られる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。 新製品『CHRocodile 2 SX』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。最大5kHzと高速サンプリングが可能なため、インラインでも適用できます。Si等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。特に、ウエハグラインディング中に厚みモニタリングしたい場合には、Siウエハで20...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

蓄電池・バッテリーの測定をサブミクロン分解能で高速高精度で測定

高温環境での平坦度測定や製造工程中の異物検査、ボタン電池のエッジ形状検…

当社は色収差共焦点・干渉を原理とした非接触タイプの測定器を取り扱っています。 膜厚測定、形状測定、粗さ測定、変位測定、外観検査に適用でき、加工中のインプロセス測定やインラインでの高速検査、オフライン測定が可能です。 各種インターフェースを用意しており、組み込み用途にも対応。 高分解能（最小XY分解能1μm～、最小Z分解能0.02μm～）で測定が行え、製品品質...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』

多種多様な材料の厚み測定、広い測定レンジから加工中と加工前後を1台で対…

す。 稼働ステージによるスキャンをせずに、面での測定が可能なエリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムの厚みモニタリング/In-Situ/インライン検査でも使用されています。 また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。 【アプリケーション】 ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

画像センサ『CHRomatic Vision Camera』

振動の影響不要！環境に依存せず簡単な操作性を実現します！ウエハ検査用途…

ンパクトで組込みシステムをコンセプト(外部光源不要)で chromatic対物レンズは用途やレンジによって交換可能。 ラインセンサーのすべての利点を採用し、エリア内を高速スキャン及び インライン検査などが容易に行えます。 【特長】 ■フラットでないワークでも鮮明なイメージ ■振動の影響不要 ■全ての材料に対して高いコントラスト ■最大取込データ：100kHz (200MP...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

小型光学式厚み/距離測定用センサ『CHRocodile C』

コスト重視におすすめな安価なタイプ。厚み測定、距離測定用センサ。ウエハ…

ナップと変わらず、nm分解能の距離測定　最大4表面、3層厚みを同時測定できる厚みセンサとして使用できます。また、プローブと本体が一体の手のひらサイズとコンパクトで、組込み時に省スペースを実現し、インラインでの使用もお勧めです。粗面、鏡面、色付き材料など全ての表面に対応し、測定レンジの範囲も広いセンサーです。また、グラファイトコーティングの厚み測定にも使用が可能です。　 【特長】 　■幅広...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

測定技術を次のレベルへ

ハイエンド色収差共焦点センサーによる工程と品質保証の改善

生産工程の高速化ニーズに応えるには、超高速のインライン測定による データが不可欠です。 そのような技術には非接触、高精度のほか、堅牢性、高信頼性、高分解能の 3Dイメージングが求められます。 当社の「色収差共焦点センサー」なら、こう...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応

『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア、Si、SiC等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応してい...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高速かつフレキシブルなガラス肉厚測定

高い柔軟性と効率性！測定点は最大12.5 mmの長さを持つライン上に広…

なども可能です。 【特長】 ■ラインプローブごとのデータ収集レートは4.5 kHz ■CHRocodile MPS 2Lによる毎秒108,000点の測定 ■移動速度の速いサンプルでもインライン検査が可能 ■使用するチャネル数を減らすことでサンプリングレートが増大 ■CHRocodile MPS 2Lは最大24個の独立したチャネルの測定、プローブの 　ラインに沿った測定点の選択機...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

【資料】コンシューマー向けエレクトロニクス製造プロセス向け製品

コンシューマー向け！色収差ラインセンサーによる形状及び厚み検査などを掲…

測定をはじめ、FSSによる平坦度、厚み、形状、縦と横の層と 部品配置の測定などについてご紹介しています。 ぜひご一読ください。 【掲載内容（抜粋）】 ■アプリケーション及び製品（インライン検査向けにデザイン） 　・光学シングルポイントセンサー＆プローブを使用した変位及び厚み測定 　・測定したいエリアをスキャン厚み、平坦度、形状 　・色収差ラインセンサーによる形状及び厚み検査...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

プレシテック社　非接触センサメーカーのご紹介

色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・…

います。 幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも使用されています。 また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。 【アプリケーション】 ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム、...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

３次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』

サブミクロン精度で高速・広範囲を３次元形状測定。エッジや斜面にも対応で…

は、100万ポイント/秒で高速3次元形状測定を実現できます。分解能も最大XY 1um, Z 0.02umと、非常に高精度な測定が可能。レンジ幅、分解能、精度から最大6種類の測定ヘッドをご用意し、インラインへの適用も可能です。 【特長】 　■広範囲エリアの非接触３次元形状測定 　　　最大8.3mmのライン幅 　■広い許容角度 　　　反射面で±45° エッジや急斜面に対応可能 　■開...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』

XYステージ不要！分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定が可能！ウエ…

『Flying Spot Scanner』は、分光干渉測定技術と高速スキャン システムを結合したスキャナです。 80mm径を高速スキャンしオフライン、インライン、品質管理に対応。 定義可能なスキャン形状とフィルタによる簡単な対象領域の検査ができます。 また、反射面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 ■超高速光学スキャン ■...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社