ジェーイーエル　ソーターシステム6インチ

装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

ソーターシステム6インチは、カセット2個を2段（計4個）に配置することで幅方向はインラインタイプの50％に縮小します。装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載しております。多軸型GCRタイプを搭載することによ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

石英ガラスウエハ移載装置

オートドアFOSB、FOUPなどのキャリアに対応！自動的に枚葉で移載を…

")石英ガラスウエハを、ステージ1～ステージ2の キャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 タクトタイム・移載時間は6分30秒/25枚以下。 ウエハ移載仕様について、基本はカセット下部は取出、上段は収納です。 【各部仕様(抜粋)】 ■ステージ1(ローダー) ・装置正面左側ステージ ・対応キャリア：オートドアFOSB(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚) 　FO...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

液晶・ガラス関連設備のご紹介

大型総合ガラス基板搬送設備など液晶・ガラス関連設備の製品ラインアップを…

、バッファ装置、基板旋回装置などで構成されるクリーンルームでの 大型ガラス基板搬送ラインです。 そのほか、「ガラスパッカー・アンパッカー」をはじめ、「エアー浮上搬送装置」や、 「ワイヤーカセットバッファ装置」などをラインアップしています。 【ラインアップ】 ■大型総合ガラス基板搬送設備 ■ガラスパッカー・アンパッカー ■エアー浮上搬送装置 ■ワイヤーカセットバッファ装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンテック

HIWIN ウエハロードポート

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。

HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。 8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。 ...

メーカー・取り扱い企業： ハイウィン株式会社

炭素繊維強化プラスチック(CFRP)用途例【産業用ロポット】

炭素繊維強化プラスチック(CFRP)の特性を活かした産業用ロボット分野…

高精度で搬送可能 　・10世代の大型ガラス基板用、250℃の高温環境にも対応可能 　・低アウトガス仕様により、真空環境下でも使用可能 ■シリコンウエハ搬送アーム 　・たわみが軽減され、カセットへの干渉を防止 　・搬送動作中の振動収束までの時間が短縮、タクトタイムの短縮につながります 　・300～450mmにも対応可能 　・低アウトガス仕様により、真空環境下でも使用可能 ■パ...

メーカー・取り扱い企業： TIPcomposite株式会社

無人搬送車『Intelligent AGV』

作業エリアのマッピングをもとに自律走行できる無人搬送車！

1,760mm（参考値） ■移載機能：マニピュレータロボット搭載（可搬重量10kg） ■搬送対象：FOUPまたはSMIF（2ロット） 　　　　　　その他：マガジン、BOX、レチクル、トレイ、カセット ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： ユースエンジニアリング株式会社

半導体工場向け！精密な無人搬送車（AGV）24時間連続稼働が可能

作業エリアのマッピングをもとに自律走行できる無人搬送車（AGV）！非接…

約60m/min（前後進）、横行30m/min ■誘導方式：自立走行方式（前進・後退・横行・スピンターン） ■停止精度：走行±10mm（走行単体）、移載±5mm以下（補正後） ■外形寸法：1,100×550×1,760mm（参考値） ■移載機能：マニピュレータロボット搭載（可搬重量10kg） ■搬送対象：FOUPまたはSMIF（2ロット） 　　　　　　その他：マガジン、BOX、レチクル、トレイ、カセット

メーカー・取り扱い企業： ユースエンジニアリング株式会社

基板振分収納装置（BTS-03型）

既存コンベア上を移動するご指定基板を別のコンベアに移載、もしくは専用カ…

・非接触 P&P方式により同時に3枚の基板を搬送します。 ・ワークサイズはご相談下さい。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム