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収納枚数とガラス基板の大型化にも対応可能!
従来のノーマルカセットと比べ収納枚数が格段にアップしています。 ガラス基板の大型化にも問題なく対応可能です。 また、さまざまなサイズの基板を同一カセット内に収納可能です。 ■基板サイズ実績:G3.5 ~ G1...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社岩崎製作所
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ガラス基板を基盤収納棚(ワイヤーカセット)へ自動で収納
昇降機能とコンベヤ搬送でガラス基板をワイヤーカセットへ収納・搬出する装置です。 ワイヤーカセットはストッカーシステムにて交換されます。 ■基板サイズ実績:G4.5 ~ G8...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社岩崎製作所
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