カセット | イプロスものづくり

ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、…

度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、これらの問題をクリアーするソリューションの一つにコンタミネーションコントロールが最重要課題として位置付けられています。テクノビジョンが提供するカセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、この様な高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウが凝縮されています。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社

スプレーカセット洗浄機

【特許出願中】鋳造課長も大喜び！スプレーカセットの洗浄機がついに登場！…

ダイカスト工場で大活躍！今までカセットノズルが汚れた状態のまま放置されていたものをこれを使えば、数時間後には本来のスプレーカセットへ！【特徴】 ○エアー/ポンプの力で銅管の中まで洗浄可能！ ○セットしておくだけなので無駄な...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ＫＨプラン

PDP向けカセット洗浄装置

カセットに合わせ設計・製作！純水高圧洗浄＋温風乾燥を行う自動洗浄装置 …

当社が取り扱う、『PDP向けカセット洗浄装置』をご紹介します。 PDP用基板を搬送するカセットを温水高圧シャワー⇒液切り⇒温風乾燥させる自動洗浄装置で、カセットに合わせ設計・製作致します。処理方法は純水高圧洗浄＋温...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学

基板・フォトマスク洗浄用治具『特注カセット・ビーカー』

各種基板サイズに対応！ご要望のサイズ、形状、スロット数で設計・製作可能

『洗浄用カセット』は、基板やフォトマスクの洗浄用途で使用可能な耐薬液及び耐摩耗性に優れたPTFE製カセットです。ご要望の基板サイズ・形状・スロット数で製作が可能なほか、着脱可能なハンドルも製作いた...

メーカー・取り扱い企業：ナガセテクノエンジニアリング株式会社横浜センター

カセット蓋自動洗浄乾燥装置『TH-9823』

クリーンルームクラス100,000対応！設置スペースをとらない小型タイ…

『TH-9823』は、ハードディスクの専用カセット蓋を水洗浄、水切り熱風乾燥の連続処理装置です。小型のため設置スペースをとりません。 カセットサイズ切り替えは冶具交換により簡単にできます。【特長】 ■小型 ■クリーンルー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トーテック城岡工場

カセット洗浄装置

USメックの洗浄装置は、オーダーメイドからOEMまで対応。

精密機器・工業機器・レンズ・医療（施設・機器）・レストラン業等の、各業界で活躍しています。ウェハ用・液晶基板用等カセット専用洗浄装置です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社USメック

キャリア（カセット）ボックス洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種キャリア（カセット）の洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能出です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

フラン瓶洗浄装置『FWS-1000』

ラックをセットするだけで、フラン瓶の排水から洗浄を完全自動化！

『FWS-1000』は、フラン瓶を収納したカセットラックをセットするだけで、自動でフラン瓶を洗浄する装置です。洗浄ノズルを直接フラン瓶へ差し込み洗浄する事により、 1本1本の汚れを確実に洗い流します。自動でカセットラックから...

メーカー・取り扱い企業：ラボテック株式会社

両面同時スクラブ洗浄装置（超音波併用）　DSS-320

特徴■□■ ■スクラブを水中で行う事で、ブラシへの汚染の蓄積を防止 ■基板に汚れが再付着しない浸漬スクラブ方式 ■0.1mm〜1mmまで段取替不要 ■スクラブ＋超音波のダブル洗浄 ■カセットtoカセット方式採用 ■適応ワーク　 Φ3”〜6”Φ、0.1mm〜1mm角、丸 ■その他機能や詳細については、カタログダウンロード　もしくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：スピードファムクリーンシステム株式会社

蒸気洗浄装置『ASTE（アステ）』

金属汚染のない半導体用の洗浄装置！単式蒸気噴射音速ノズル搭載

ル ■アルキメデス制御方式 ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ ■ウエハ口径：150,200mm対応 ■カセット数：2カセット ■用力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：1100（W）× 1800（D）× 2000（H） ※詳しくは、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

低温レジスト剥離装置『AURORA（オーロラ）』

薬液洗浄工程をなくすことでウエットベンチの設置面積を削減可能！

置 ■高濃度オゾン水発生装置 ■加熱ユニット【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ（プラズマ処理1チャンバ、オゾン水1チャンバ） ■ウエハ口径：150, 200, 300mm対応 ■カセット数：2カセット ■用力：DIW、N2、O2、CO2、CDA ■本体外形寸法：1100（W）× 2050（D）× 2000（H） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

各種製造装置

半導体製造装置やLED・OLED等の洗浄装置、空気清浄装置など幅広くラ…

た洗浄技術・清浄技術・計測技術を核とする製品を提供しております。半導体、FPD、乾燥炉、真空、精密洗浄、その他装置まで各種製造装置を取り扱っています。 5、6、8 ” ウェハカセット洗浄装置、CF用処理装置、真空乾燥装置 R to R熱処理連続乾燥炉、精密部品洗浄装置、エアーシャワー等幅広くラインナップしています。また、空中搬送洗浄装置や非接触搬送洗浄装置も新た...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学

バイアル自動洗浄機『VLW-100』

独立型タッチパネル式コントローラーを採用！洗浄工程や時間をカスタムでき…

立型タッチパネル式コントローラーを採用しており、洗浄工程や時間をカスタム可能。金属部はSUS316、配管部はサニタリー配管仕様で、85℃迄の耐熱性能を有します。また、1種の標準装備カセットに加え、オプションカセットを用意する事で複数種のバイアルの洗浄が可能です。(標準装備は6カセット) 【特長】 ■一回あたりの洗浄可能バイアル本数 220本/1set ■金属部はSUS...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケミカル・リード社

トレー専用洗浄乾燥装置

USメックの洗浄装置は、オーダーメイドからOEMまで対応。

●洗浄液洗浄液としましては、純水（洗剤は使用しません）を使用していますので、廃水処理の心配もありません。 ●使用方法専用カセットに、トレーを入れていただき、ローダーにセットして、いただければ、アンローダーのカセットにトレーが出てきますので、終了後カセットからトレーをを出していただければOKです。【洗浄工程】・ロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社USメック

ハードディスクの洗浄サービス

社の『ハードディスクの洗浄サービス』 ■□■洗浄工程■□■ 【1】研磨後の洗浄【2】強化ガラス処理前後の洗浄【3】スパッタ前の洗浄【4】テクスチュアリング後の洗浄【5】カセットの洗浄 ■□■洗浄方法■□■ ■流水スクラブ(PAT.PEND) ■流水超音波洗浄（PAT.） ■超音波併用・4面オーバーフロー洗浄 ■シャワー洗浄付ＱＤＲ（クイック・ダンプ・リ...

メーカー・取り扱い企業：スピードファムクリーンシステム株式会社

有機溶剤洗浄装置

装置本体とポンプユニットと制御盤で構成！薬液供給方法はCCSS方式の有…

当社が取り扱う、『有機溶剤洗浄装置』をご紹介します。 6″ウェハカセット用の自動エッチング洗浄装置で、制御方式はPLC。装置本体とポンプユニットと制御盤からなっています。洗浄プロセスはバッチ洗浄、流れ方向は左→右の3機ロボット搬送です。ご用命の際はお気...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学

高圧パルスジェット DP-Gun　マスク・ガラス・ウェハー洗浄に

同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰…

のため、同じ圧力（＝衝撃）でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物（細い溝や入り組んだ形状）の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調整での捨て水が少なく安定...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

対象物の材質やサイズ、汚染物質などに合わせてご提案！【洗浄装置】

多様な洗浄方法！ノズルカスタムにより様々な洗浄方法へと発展も可能です

【その他の特長】＜縦置きタイプ（スクラブ＋薬液＋MSシャワー・洗浄タイプ）＞ ■枚様式では無く、カセット枚数へと対応が可能 ■1カセット（25枚分）の洗浄時間の削減が可能 ■縦置きスピン乾燥機を取り付けることにより縦型で一連の洗浄プロセスを終え、乾燥まで行うことが可能 ※詳しくは外部リンク...

メーカー・取り扱い企業：フロントラインテクノロジー株式会社

電子部品用洗浄装置

電子部品（磁気ヘッド、プリント基板、HDケース等）様洗浄装置

専用バスケット又はガラスカセットを、ローダーにセットしていただければアンローダーまで自動搬送いたします。バスケット又はガラスカセットを出していただければOKです。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社USメック

WETプロセス装置　枚葉スピンプロセッサー

装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現可能です。

イズ：160W×170L以下～730W×920L以下【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

マスク洗浄機｜全自動マスク洗浄装置「TWC-200A」

マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去

去する点にあります。特にレジスト除去に関しては大手薬品メーカーと共同で専用洗浄剤を開発し、除去効果を大幅に向上させるとともに安全性や地球環境にも配慮しました。オペレーターはマスクを装填したカセットを乗せるだけ。危険な薬品に曝される事も無く安全性を高め、露光プロセスの品質向上と歩留まり向上に大きく貢献いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社

全自動バッチ処理装置（基板再生・エッチング・RCA洗浄等）

高スループット　高信頼性　低コストなバッチ式処理装置

■カセットタイプのバッチ式処理装置です。 ■APM/MS、SPM、HPM、DHF等のRCAプロセスに対応したバッチ処理に最適 ■有機剥離やPoly-Si再生等の基板再生処理にも対応します。 ■MEMS...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

洗浄装置【精密部品】| NSCEng

二流体、超音波、高圧、ファインバブル、ブラシ、バブリング、アルカリ、電…

◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆ ○処理：バッチ式（専用カセット） ○材料幅：無制限 ○材料厚み：無制限 ○加工面：片面or両面 ○装置構成：LD〜洗浄処理槽〜水洗タンク〜液切り〜乾燥〜ULD ○ユーティリティ　・電源　AC200V・220V ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社NSC エンジニアリング本部

高圧パルスジェット DP-Gun　マスク・ガラス・ウェハー洗浄に

同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰…

め、同じ圧力（＝衝撃）でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物（細い溝や入り組んだ形状）の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調整での捨て水が少なく...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

精密洗浄システム「水系・準水系洗浄システム」

シャワー洗浄や超音波洗浄をはじめとして、あらゆる技術に対応します。

【分野別洗浄システム例】 ○金属部品用超音波自動洗浄装置 ○プリント基板用縦型カセット搬送式自動シャワー洗浄装置 ○光学部品用シャワー超音波併用式自動洗浄装置 ○電子部品用ネット搬送式純水シャワー自動洗浄装置 ○精密金属部品用超音波自動洗浄装置 ○液晶ガラス用毎葉式シ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プリス

マスクガラス洗浄装置

passlineは400mm！SPMと中性洗剤＋USにより洗浄し、温水…

当社が取り扱う、『マスクガラス洗浄装置』をご紹介します。マスクガラスをオリジナルカセットに収納しSPMと中性洗剤＋USにより洗浄し、温水引き上げで乾燥。工程は、LD → 水中 → SPM → Rinse → Rinse → 中性洗剤+US → Rinse＋US →Ri...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学

洗浄装置「スピンドライヤースピン洗浄機」

洗浄から乾燥まで対応！レシピ選択が可能な洗浄機

用途によりレシピ選択が可能で、また、溶剤により防爆仕様に対応します。各ワークに対応するサイズをご用意しています。【特徴】 ○エアシリンダによる自動開閉フタ ○各種安全対策 ○専用カセット製作詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：ヴァリアス株式会社

バッチ式　ウェハー洗浄装置

大掛かりな改造も時間の短縮が可能

○オートハンドラーによる枚数ロット同時処理 ○各槽温度コントロール機能付き ○鏡面反転機構 ○ハーフピッチ処理対応 ○ファイナル槽に比抵抗値モニタリング ○ウェーハマッピング機能 ○カセットストッカーが可能 ○様々な追加機能をご用意 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧いただくか、お問い合わせください ...

メーカー・取り扱い企業：セファテクノロジー株式会社京都事業所

器具洗浄機

複雑な形状、様々なサイズの器具の洗浄にも対応！多彩なKITノズルやカセ…

サイズやスペックなど、お客様のご要望に合った器具洗浄機を製作します。【特徴】 ■洗浄バリエーションに合わせたカートリッジ ■お客様のご要望に合わせたフィルター処理 ■GMP対応 ■導電率計導入で洗浄水を安全で最大限に循環使用 ...□その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社KIT(キット）

『トーコーの各種洗浄装置カタログ』

様々な業界で多数の使用実績を誇る東光技研工業株式会社の洗浄機をラインア…

ンテナ洗浄乾燥機　他 ■超高圧分野用洗浄装置　・スクリーン印刷原版剥離装置　・全自動鋸歯バリ取り装置　他 ■電気・半導体分野用洗浄装置　・ガラスケース洗浄機　・ハードディスク・カセット洗浄乾燥機　他 ■製鉄・機械用洗浄装置　・圧延ロール洗浄装置　・金型部品ブラシ洗浄装置　他 ■自動車業界用洗浄装置　・自動ライン用部品洗浄乾燥装置　・自動ライン精密部品ミクロン...

メーカー・取り扱い企業：東光技研工業株式会社

株式会社エイブルジャパン　取扱製品総合カタログ

フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。

置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプの「マスク洗浄装置（自動タイプ）」や、投入された基板に自動で塗布～乾燥まで行う装置「オートスピンコーター」、ウェハーの洗浄を行う装置「スピンクリーナー」、カセット内の基板受渡しを行う装置「LD／ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、多数掲載しています。【掲載製品】 ○マスク洗浄装置 ○スピンナー ○マニュアルスピンコーター ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイブルジャパン

株式会社USメック　事業紹介

先進の洗浄装置を製造する専門メーカー。

れ装置 ○マスク洗浄装置 ○APR版洗浄装置 ○PI前洗浄装置 ○ラビング後洗浄装置 ○成膜後洗浄装置 ○LCトレイ洗浄装置 ○液晶封止後洗浄装置 ○偏向板張り付け前洗浄装置 ○カセット洗浄装置 [レンズ] ○組み立て前洗浄装置 ○剥離前洗浄装置 ○コート前洗浄装置 ○仕上げ洗浄装置 [HDD] ○HDD洗浄装置 ○HGA洗浄装置 ○HSA洗浄装置 ○スライダ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社USメック

『他社とのコラボによる複合装置の新規展開-1』

カレット・粘着物を強力除去！パネル反転機構を設置したテープ研磨付き洗浄…

シ等の消耗部品のメンテナンスが容易です。【特長】 ■2流体、高圧シャワー、特殊ブラシ等を組合せる事も可能 ■アンローダーにより、偏光板貼付装置とのドッキングが可能 ■ローダーにより、カセット・トレイからの自動供給が可能 ■確かな技術力かつ低コストを実現 ■デモ機によるテストが可能詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ＩＣＭ株式会社

『他社とのコラボによる複合装置の新規展開-2』

パネル製造工程の保護フィルム剥離と洗浄の一体化による効率化とコスト低減…

、様々な方式の洗浄ツールを組合せることもできます。【特長】 ■人件費を削減 ■洗浄装置との連結により作業効率（生産能力）の向上 ■様々な方式の洗浄ツールを組合せることも可能 ■カセット・トレイからの自動供給・収納が可能 ■デモ機によるテストが可能詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ＩＣＭ株式会社

洗浄装置　樹脂凸版用自動製版装置

電気制御は、コンピューターにより省エネ対策機能があります。

【特徴】 ○カセット式ブラシ交換方法で、メーカーが異なった樹脂版にも対応可能 ○独自の完全平行動作方式のフラットブラシ ○現像ムラが無く解像性、再現性、現像処理能力に秀逸 ○リンス装置により版表面は美しく均一な...

メーカー・取り扱い企業：日本電子精機株式会社

WETプロセス装置　LCDカセット洗浄装置

圧縮エアーとスピン回転の併用により高レベル乾燥を実現しました。

WETプロセス装置 LCDカセット洗浄装置は、LCD等のカセットを高圧温純水スプレーにて洗浄後、HOTエアーブロー及びトルネードスピン回転により乾燥を行います。株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

高圧断続スプレー「DP-Gun」

各種マスクやガラス、ウェハー研磨後の洗浄に！1秒間に30回のノズル開閉…

のため、同じ圧力（＝衝撃）でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物（細い溝や入り組んだ形状）の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調整での捨て水が少なく安定...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

WETプロセス装置　LCDマスク洗浄装置

マスクをブラシ・USスプレーで洗浄、高速スピン回転で乾燥します。

ーにて洗浄し、　高速スピン回転により乾燥を行なう【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

WETプロセス装置　枚葉基板洗浄装置

基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。

ワースプレー洗浄、　超音波洗浄、乾燥処理を行なう【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

高圧断続スプレー「DP-Gun」

各種マスクやガラス、ウェハー研磨後の洗浄に！1秒間に30回のノズル開閉…

め、同じ圧力（＝衝撃）でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物（細い溝や入り組んだ形状）の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調整での捨て水が少なく...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット