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IPA蒸気による洗浄乾燥装置!デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…
■仕様 乾燥対象:6インチ 1カセット相当 シリコンウエハー、ガラス、部品等 槽構成:ステンレス製蒸気乾燥槽1層 アルミヒートブロック間接加熱方式 装置寸法(WxDxH):1,050x1,200x2,000m...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』
クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…
■装置構成 ・薬液 APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水 ・搬送状態 カセット/ドラムならびにキャリアレス(※搬送ロボットは上部/下部の2種類があります。) ・乾燥 スピンドライヤー/リンサードライヤー/IPAドライヤー(※IPAは内製品です。) ※詳しくはPDF...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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二流体、超音波、高圧、ファインバブル、ブラシ、バブリング、アルカリ、電…
◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆ ○処理:バッチ式(専用カセット) ○材料幅:無制限 ○材料厚み:無制限 ○加工面:片面or両面 ○装置構成 :LD〜洗浄処理槽〜水洗タンク〜液切り〜乾燥〜ULD ○ユーティリティ ・電源 AC200V・220V ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社NSC エンジニアリング本部
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高圧パルスジェット DP-Gun マスク・ガラス・ウェハー洗浄に
同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰…
め、同じ圧力(=衝撃)でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。 断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物(細い溝や入り組んだ形状)の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。 ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調整での捨て水が少なく...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクニカルフィット
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各種マスクやガラス、ウェハー研磨後の洗浄に!1秒間に30回のノズル開閉…
め、同じ圧力(=衝撃)でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。 断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物(細い溝や入り組んだ形状)の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。 ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調整での捨て水が少なく...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクニカルフィット
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