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洗浄装置|ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」
ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、…
度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、これらの問題をクリアーするソリューションの一つにコンタミネーションコントロールが最重要課題として位置付けられています。 テクノビジョンが提供するカセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、この様な高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウが凝縮されています。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノビジョン 本社
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PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトッ…
ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄~ウェーハ剥離~ウェーハ枚葉洗浄~乾燥~カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。 剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄~スクラブ...
メーカー・取り扱い企業: PHT株式会社
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【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ
2インチから18インチのウエハ及び300mm口基板をローダーより多関節ロボットを使用し各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理する「枚葉式ウエハ処理装置」の総合カタログを無料配布中です! デモも随時ご相談受付ておりますので、ぜひお気軽にお問合せ下さい! ※詳しくはカタログをダウンロードもしくはお問合...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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IPA蒸気による洗浄乾燥装置!デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…
■仕様 乾燥対象:6インチ 1カセット相当 シリコンウエハー、ガラス、部品等 槽構成:ステンレス製蒸気乾燥槽1層 アルミヒートブロック間接加熱方式 装置寸法(WxDxH):1,050x1,200x2,000m...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』
クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…
■装置構成 ・薬液 APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水 ・搬送状態 カセット/ドラムならびにキャリアレス(※搬送ロボットは上部/下部の2種類があります。) ・乾燥 スピンドライヤー/リンサードライヤー/IPAドライヤー(※IPAは内製品です。) ※詳しくはPDF...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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InnoLas Semiconductor社はドイツのミュンヘンに本社…
・対応ウェーハ:2インチ~200mm ・光源(レーザー)を変えることにより多種類の素材に印字可能 ・4つのカセットステーションで高スループットを実現 ・吸着式又はエッジハンドリングによるウェーハのロボット搬送 ・精度の高いアライナーによる高い印字位置精度 ・印字後、印字文字の読取及び位置計測(オプション...
メーカー・取り扱い企業: 兼松PWS株式会社
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開発から量産へ!効率的なウエハ運搬や迅速正確な位置合わせにより生産性ア…
ペースな完全自動化装置です。 効率的なウエハ運搬装置での流れ作業をはじめ、迅速正確な位置合わせや ブレード磨耗予告アルゴリズムで高さ測定時間を短縮し、生産性を高めます。 専用のドレスカセットで自動ブレード研磨が行えるほか、 タッチパネルディスプレーで操作性にも優れています。 【特長】 ■効率的なウエハ運搬装置による流れ作業 ■連続的なデジタル画像拡大装置で迅速正確な位置合...
メーカー・取り扱い企業: 日本技術産業株式会社
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アズスライス、アズラップ、エッチドウエーハや低抵抗、高抵抗ウエーハも対…
ハの製作 ・異形、特殊サイズ(Max Φ450mm)のウエーハ製作 ・厚さの薄いウエーハ、厚いウエーハの製作 ・ザグリ、切り抜き、穴あけ、溝入れ、サイズダウン加工等 ・ウエーハの再生 ・カセット洗浄 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 大村技研株式会社
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溶液をスピンコートにより塗布する装置です
・操作盤はハンディタイプで、本装置の各作業面四方向へ取り回し可能です。 ・ローダ側、アンローダ側のカセットは各2個セット可能です。 ・スピン部は最高回転数6,000rpmで、プログラムによる3段階の回転数制御を行います。 ・ベークは近赤外ランプ式で行います。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム
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高平坦度なウェーハ加工を実現!当社が取り扱うシリコンウェーハ用装置を多…
ご紹介しています。 φ300mmシリコンウェーハ用の両面同時鏡面研磨のためのポリッシング装置 「DSM20B-5P-4D-AL」や、ドライイン-ドライアウト構造の「EP-300-X」、 カセットtoカセット、スロットtoスロットのウェーハ搬送が可能な 「EP-200-XW-II」などを掲載。 製品の選定に是非、ご活用ください。 【掲載内容】 ■DSM20B-5P-4D-A...
メーカー・取り扱い企業: スピードファム株式会社
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